【課題】機械構成部品の近接度を測定する方法の提供。
【解決手段】マイクロ波センサ組立体１１０は、少なくとも１つのマイクロ波信号を生成するための信号ジェネレータ２１８と、前記信号ジェネレータに結合された放射源２０６と、を含む。放射源は、少なくとも１つのマイクロ波信号から電磁場を生成するように構成され、負荷信号が生成されるように物体が電磁場内に配置されたとき、放射源は離調する。マイクロ波センサ組立体は、放射源と信号ジェネレータとに結合された検出器２１４も含む。検出器は、放射源までの物体の近接度を測定するうえで使用するために負荷信号の一次周波数における負荷信号の振幅、位相、および電力の少なくとも１つを算出するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】レゾルバ方式の位置検出機能を適切に組み合わせて異なる２方向の検出機能を実現する。
【解決手段】スケール部１０側に異なる２方向の位置検出を行うための固定側インダクトシン基板３，４を重畳させるなどして配置し、スケール部１０側に給電するように構成した上で、検出対象に付随するスライダ部２０に２方向への位置検出を行う可動側インダクトシン基板５，６を設けて位置検出を行うようにしたので、コイルパターンを小さくして分解能を容易に高めることができ、スライダ部２０側も軽量にして検出対象である作動体等の負荷となることも回避して、コンパクトかつ低コストで高性能の平面位置検出機能を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】磁石に対する着磁パターン等を含む構成の簡素化を図りつつ、位置検出に対する信頼性を確保することができる位置検出装置及びシフト装置を提供する。
【解決手段】各磁気センサ１６ａ〜１６ｇにおいて生成される二値信号の組合せがハミング符号をなすように磁石１５の着磁パターン及び当該磁石１５に対する各磁気センサ１６ａ〜１６ｇの相対的な位置関係が調節されている。このため、シフト装置では、１つの磁気センサに何らかの異常が発生した場合であれ、当該磁気センサにおいて生成される二値信号を含む誤った二値信号の組合せを訂正し、正しい二値信号の組合せとすることができる。さらに、２つの磁気センサに何らかの異常が発生した場合にも、その異常の発生を検知することができる。 （もっと読む）

【課題】非接触で電源オフ時に回転体が回転された場合でも正確に絶対回転角を検出することができる回転角検出装置を提供する。
【解決手段】回転自在に支持された回転体に円周方向に少なくとも１組のＮ極及びＳ極を有する硬磁性体を配設し、該硬磁性体に対向して、当該硬磁性体によって互いに磁気的に９０度の位相差を有するパルス電圧を発生する４個の発電型磁気検出部ＧＭａ〜ＧＭｄと所定数の磁気検出部ＭＤ１，ＭＤ２とを配設し、少なくとも電源オフ時に各発電型磁気検出部ＧＭａ〜ＧＭｄで発生されるパルス電圧によって駆動されてパルス電圧数を回転方向に基づいて加減算計数して回転領域に応じた計数値を生成して記憶する計数手段１４ｃと、電源オン時に前記計数手段１４ｃに記憶されている計数値に基づく回転領域と前記磁気検出部から出力される磁気的周期とに基づいて絶対回転角を検出する回転角検出部１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】非接触で電源オフ時に回転体が回転された場合でも正確に絶対回転角を検出することができる回転角検出装置を提供する。
【解決手段】回転体に配設した硬磁性体に対向して、該硬磁性体により磁気的に１８０度の位相差を有するパルス電圧を発生する発電型磁気検出部ＧＭ１、ＧＭ２と、これらの一方と同位相を有する磁気検出部ＭＤ１と、これらと磁気的に９０度の位相差を有する磁気検出部ＭＤ２とを配設し、電源オフ時に発電型磁気検出部ＧＭ１、ＧＭ２で発生されるパルス電圧によって駆動され、磁気検出部ＭＤ１、ＭＤ２の磁気検出信号から特定した回転方向に応じてパルス電圧数を加減算計数しその計数値を記憶する計数手段１４ｂと、電源オン時に前記計数値に基づく回転領域と磁気検出部ＭＤ１、ＭＤ２からの磁気検出信号に基づく磁気的周期とから絶対回転角を検出する回転角検出部１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】非接触で電源オフ時に回転体が回転された場合でも正確に絶対回転角を検出することができる回転角検出装置を提供する。
【解決手段】回転体に配設した硬磁性体に対向して、該硬磁性体により磁気的に１８０度の位相差を有するパルス電圧を発生する発電型磁気検出部ＧＭ１、ＧＭ２と、これらの一方と磁気的に同位相及びこれらと９０度の位相差を有する磁気検出信号Ｓ１、Ｓ２を出力する磁気検出部ＭＤ１、ＭＤ２とを配設し、電源オフ時に発電型磁気検出部ＧＭ１、ＧＭ２で発生されるパルス電圧により駆動され、パルス電圧が発生したときの磁気検出信号Ｓ１、Ｓ２から特定した回転方向に応じてパルス電圧数を加減算計数しその計数値を記憶する計数手段１４ｂと、電源オン時に前記計数値に基づく回転領域と磁気的周期検出部ＭＳからの磁気的周期とに基づいて絶対回転角を検出する回転角検出部１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
位置出し用の目印の場所が電流経路に限定されるという制約をなくし、位置出しの精度を向上する。
【解決手段】
試料とレーザ光とを相対的に移動させて前記試料を走査し前記試料からの磁気をSQUID磁気検出器で検出し、走査位置に対応し且つ検出結果に応じた値の集りからなる像を取得し、取得された像のうち少なくとも一つの領域について、前記試料における位置の目印として、前記像の値に関する前記領域内でのピーク位置又は重心位置を求める。 （もっと読む）