【課題】位置検出の精度の高い位置検出装置、駆動機構、及び内視鏡装置を提供すること。
【解決手段】駆動部材１５に対して直線移動する被駆動部材１７の位置を検出する位置検出装置３０であって、駆動部材１５に対して位置決めして設けられた固定子３１と、被駆動部材１７に設けられた移動子３４と、被駆動部材１７と移動子３４とを連結し、被駆動部材１７の直線移動方向における被駆動部材１７に対する移動子３４の進退移動を規制する弾性体２０と、を備え、弾性体２０は、移動子３４が固定されているとともに移動子３４を固定子３１へ向けて付勢する軸部２３を有し、軸部２３は、移動子３４を固定子３１に接触させ、且つ、駆動部材１５に対して被駆動部材１７が直線移動されたときに、固定子３１に対する移動子３４の位置を、固定子３１の外面形状に沿って追従させる。 （もっと読む）

【課題】障害者、人型ロボットの身体挙動を検知するシステムに使用される引張変形検知布において、編物又は織物の伸縮を静電容量の変化として検出することにより、検知システムとしての消費電力を抑制する。
【解決手段】複数の導電糸１１を含んで構成された織物１０を一方向に伸縮自在にすると共に、その伸縮に伴って導電糸１１の隣接するもの同士の間隔が変化し、その隣接する導電糸同士間は絶縁状態が維持されるように構成され、隣接する各導電糸１１の端部が静電容量を測定するための一対の電極１３，１４とされている。織物１０の伸縮を静電容量として検出するため、導電糸１１には電圧は印加されても電流は流れず、この部分での消費電力はゼロとすることができ、検知システム全体としての消費電力を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】十分な異物の検知精度を維持しつつ、製造コストの抑制を図る。
【解決手段】長尺センサ２１は、乗降口４を開閉可能なスライドドア２の金属製の縁部に取着される取付基部２２と、取付基部２２から膨出し、内部に中空部２４を有する表皮カバー部２３と、可撓性を有するとともに、中空部２４に挿設された絶縁体２５と、取付基部２２に対向するとともに、少なくとも一部が絶縁体２５に埋設された板状の電極２６とを備える。中空部２４において、電極２６と取付基部２２との間に間隙部２７を設けるとともに、電極２６をプラス極、取付基部２２をアースとしてのマイナス極として、電極２６とアースマイナス極との間の静電容量の変化に基づき、異物の表皮カバー部２３への近接及び／又は接触を検知する。 （もっと読む）

近接して配置された物体表面に信号を送信するよう構成されたほぼ平行な複数の駆動ラインと、駆動ラインにほぼ垂直に配置され、誘電体によってピックアップラインから分離され、駆動ラインとピックアップラインのクロスオーバー位置のそれぞれにおいてインピーダンスを感知できる固有の電極対を形成する、ほぼ平行な複数のピックアップラインとを有する、新規なインピーダンスセンサが提供される。 （もっと読む）

２つ以上の静電容量センサ(３０ａ、３０ｂ)と、静電容量センサにエネルギを与える１つ以上のＡＣ電力源（３０６ａ、３０６ｂ）と、静電容量センサからの信号を処理する信号処理回路とを具備する、静電容量感知システム。センサは、ペアで配置されている。１つ以上のＡＣ電力源は、センサのペアのうちの第１のセンサに、センサのペアのうちの第２のセンサの電流又は電圧に対して位相が１８０度ずれている交流電流（３０７）又は電圧で、エネルギを与えるように構成されている。センサのペアは、１つの測定距離値に対する測定ユニットを備えている。信号処理回路は、ペアのうちの各センサから出力信号を受信し、ペアのセンサとターゲット（９）との間の平均の距離に関係する測定値を生成する。 （もっと読む）

【課題】力・モーメントを独立検出する装置の薄型化を図る。
【解決手段】変位基板１０側に電極Ｅ１１，Ｅ１２、固定基板２０側に電極Ｅ２１，Ｅ２２を設け、両基板をバネ３１〜３４で接続する。Ｅ１１，Ｅ２１は、γ軸を中心とした円形電極で、αβ平面上へ投影すると、Ｅ２１はＥ１１内に包含される。Ｅ１２，Ｅ２２は、α軸方向にオフセット配置された矩形電極で、Ｅ１２のβ軸方向幅は、Ｅ２２のβ軸方向幅内に包含される。Ｅ１１，Ｅ２１間の容量値Ｃ１は、変位Ｄγの情報のみを示し、Ｅ１２，Ｅ２２間の容量値Ｃ２は、変位ＤαおよびＤγの合成情報を示すので、両者を用いて、変位Ｄα，Ｄγを独立検出できる。より広い基板の複数Ｎ箇所にローカル原点Ｑを設定し、それぞれ所定の向きにαβγローカル座標系を定め、それぞれに同様の電極を配置する。各原点Ｑについての検出値Ｄα，Ｄγを統合して、基板全体に作用した力・モーメントを検出する。 （もっと読む）

【課題】ノイズレベルの大きな環境においても位置検出が安定して行える、高精度かつ信頼性の高い位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の電極を並列に配置した第１の電極３及びこの第１の電極３と交差して設けられ、複数の電極を並列に配置した第２の電極４とが形成された支持体１１と、支持体１１の一の面に対向して設けられ、所定の位置指示部材が当接される保護層（表面部材）１２と、支持体１１の他方の面に対向して設けられた補強材（背面部材）１３とを積層して備え、支持体１１、保護層（表面部材）１２、補強材（背面部材）１３の少なくとも１つの、第１の電極３の間又は第２の電極４の間に対応する位置に気体層（空間部）１５を設け、静電容量Ｃを増加させる電気的な結合経路を遮断する。 （もっと読む）

【課題】小口径シリンダゲージにも適用可能で、構成が単純で且つ高精度な内側寸法測定を可能にする。
【解決手段】被測定物に接触する複数の接触部１１０と、該複数の接触部１１０の内側に配置されて自身の内側に空間１３６を有すると共に、該複数の接触部１１０間の距離の変化で変形する空間１３６を内部に有する有底筒状部材１２０と、該空間１３６を密閉するように有底筒状部材１２０の開口部１２０Ａに取付けられると共に、該空間１３６の変形で生じる自身の撓み量を検出する変位センサ１４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型光学機器で狭いスペースに組み込まれた複数のレンズを位置または変位を正確に計測できる実用性の高い静電型エンコーダ、これを備えた内視鏡を提供する。
【解決手段】静電型エンコーダは、位置計測方向に配置された電位検出電極１３を有する固定子１１と、各々が、交流信号ＴＸが供給される電位発生電極１７Ａ，１７Ｂを有し、固定子との相対的位置が変化するように設けられた２つの移動子１２Ａ，１２Ｂと、２つの移動子のいずれか１つに選択的に交流信号を供給する交流信号供給手段２１，２５と、固定子の電位検出電極から出力された信号に基づいて２つの移動子のいずれか１つの変位信号を生成する信号処理装置２０とを備える。静電型エンコーダは時分割で２つの移動子の変位を独立して計測する。 （もっと読む）

【課題】車両の座席に着座した乗員およびその姿勢を正確に検知する。
【解決手段】乗員姿勢検知装置１００は、車両１のインストルメントパネル２に配置された第１静電容量センサ部１０と、車室天井部３に配置された第２静電容量センサ部２０と、回路部３０とを備え、各静電容量センサ部１０，２０は、センサ電極１１の検知面がそれぞれ検知領域ＤＺに向くように配置されている。第１および第２静電容量センサ部１０，２０は、センサ電極１１、シールド電極１２および補助電極１３を備える。センサ電極１１のみで検出された第１の静電容量値Ｃ１とセンサ電極１１および補助電極１３で検出された第２の静電容量値Ｃ２とを用いて指向性を設定し、インストルメントパネル２および車室天井部３の表面上に検知範囲Ｚ１，Ｚ２を形成して検知領域ＤＺ内に乗員の体幹部４８や頭部４９があるか否かを検出して着座姿勢を判定する。 （もっと読む）

【課題】自動車等の車両に対する障害物を正確かつ確実に検出する。
【解決手段】車両用障害物検出装置は、車両１のフロントバンパー２に配置された静電容量センサ部１０〜３０と、回路部５０とを備える。歩行者保護用エアバッグ展開制御装置は、制御部６０、歩行者保護装置７０および歩行者保護用エアバッグ８１〜８３を備える。歩行者保護用エアバッグ８１〜８３は各静電容量センサ部１０〜３０と対応する位置のボンネット３の後端側を跳ね上げ可能に配置されている。各静電容量センサ部１０〜３０は、センサ電極１１、シールド電極１２および補助電極１３を備える。センサ電極１１のみで検出された第１の静電容量値Ｃ１とセンサ電極１１および補助電極１３で検出された第２の静電容量値Ｃ２とを用いて指向性を設定し、各静電容量センサ部１０〜３０の表面上に検知範囲Ｚ１〜Ｚ３を形成して障害物を検知する。 （もっと読む）

【課題】被測定体の表面形状を取得する半導体装置において、表面形状の高解像度化を図る。
【解決手段】被測定体６０と各電極２８、３７との間の静電容量を検出するための各素子２９、３８が設けられた第１容量検出回路層２０および第２容量検出回路層３０を積層にし、各素子２９、３８の各電極２８、３７を各トレンチ２６、３５によって保護膜５０まで引き伸ばす。これにより、容量検出回路層が一層の場合よりも一定面積当たりに配置できる素子２９、３８を増加させ、被測定体６０の表面形状を高解像度で検出する。 （もっと読む）

【課題】センサを構成する金属部材の形成装置の種類を少なくすること。
【解決手段】半導体基板の表面に層間絶縁膜を介して第１および第２導電配線をスパッタ法で形成し、第１および第２導電配線と層間絶縁膜を第１絶縁膜で覆い、第１絶縁膜の上に第２絶縁膜を積層し、第１導電配線上の第１および第２絶縁膜を除去し、それによって第２絶縁膜表面から第１導電配線に達する溝を形成し、第２絶縁膜と溝の側壁および底とを覆う導電膜をスパッタ法で形成し、前記導電膜の上から溝幅より広いレジスト膜で溝を覆い、レジスト膜をマスクとして前記導電膜と第２絶縁膜とを除去して第１絶縁膜を露出させ、レジスト膜を除去した後、第３絶縁膜をその表面が前記導電膜の表面と同一表面になるように第１絶縁膜上に形成する表面形状認証用センサの製造方法。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用でもパッシベーション膜に劣化が発生し難い指紋センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に互いに間隔をおいて形成された検出電極膜４４ａ及び接地電極膜４４ｂと、層間絶縁膜４０、検出電極膜４４ａ、及び接地電極膜４４ｂのそれぞれ上に形成され、該接地電極膜４４ｂが露出する開口５１ａを備えた保護絶縁膜５１と、保護絶縁膜５１の上に形成され、検出電極膜４４ａと開口５１ａに重なる窓５５ａを備えたパッシベーション膜５５とを有し、窓５５ａの開口端が面取りされたことを特徴とする表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】損耗部材の残存厚みを高精度に測定することのできる損耗部材の残存厚み測定方法の提供。
【解決手段】損耗部材１３の残存厚みを測定する損耗部材１３の残存厚み測定方法は、損耗部材１３の損耗により厚みが減少する方向に沿って延びる一対の電極２２を形成し、一対の電極２２間に絶縁体２１を介在させてコンデンサを形成する手順と、このコンデンサの静電容量の変化を検出し、検出された静電容量の変化に基づいて、損耗部材１３の残存厚みを算出する手順とを備えている。 （もっと読む）

【課題】残留指紋の発生、及び視認性の高いキズの発生を抑制することができる表面形状認識用センサを提供する。
【解決手段】本発明の表面形状認識用センサは、半導体基板上に各々が絶縁分離されて配置された複数のセンサ電極と、前記センサ電極を覆う絶縁膜とを備え、前記絶縁膜は、前記絶縁膜に共有結合する有機シラン薄膜によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】表面引っ掻きに対する強度が高められた表面形状認識用センサを提供する
【解決手段】本発明の表面形状認識用センサは、半導体基板上に電源供給配線を有する下地回路層と、下地回路層上に下層絶縁膜と、下層絶縁膜上にセンサ電極及びアース下部電極と、センサ電極及びアース下部電極を覆うパシベーション膜と、表面が露出するようにパシベーション膜に埋め込まれたアース上部電極と、アース下部電極とアース上部電極とを電気的に接続する接続電極とを備え、アース下部電極は、平面的に見たときに電源供給配線に重ならないように配置され、アース上部電極は、表面が平坦であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インタポーザを用いずに、センサ面の押圧による湾曲が小さな指紋センサ用半導体装置を提供する。また、曲げによる破損が少なく信頼性の高い指紋センサ用半導体装置を提供する。
【解決手段】上面にセンサ面１ａが、下面に外部端子４が形成された半導体基板１の下面に、窪み８（例えば溝８ａ）を形成し、この窪み８を埋め込み下面を封止する第２封止樹脂７を設ける。窪み８の深さ分、硬い第２封止樹脂７が厚くなるので、センサ用半導体装置１００の曲げ剛性が大きくなる。他の構成は、第２封止樹脂７の下面に弾性体の補強プレートを設けて、曲げ剛性を大きくする。さらなる他の構成は、半導体基板の周縁に沿って枠状の溝を設ける。 （もっと読む）

【課題】 検出感度を向上させつつ、静電容量検出装置を静電破壊から保護できるようにする。
【解決手段】 補助電極３１がマトリクス状に配置されるとともに、行方向に延伸された静電気保護電極３２が補助電極３１間に形成された静電容量検出装置において、静電気保護電極３２上に配置された突出電極３３を設ける。 （もっと読む）

【構成】多様な形態の電極（１２）を使用した乗員センサーシステムが開示されている。電極（１２）はエアバッグ噴出口（４４）に隣接して設置でき、それぞれの電極は乗員の近接度に対応する信号を提供する。このシステムは１信号の場合よりも適切な決定を下すことができるように複数の信号を比較するコンパレータをさらに含んでいる。電極（１２）を誘電基材（１６）上に形成し、電極間をブロックするように提供された接地領域（１４）で分離することができる。電極（１２）を、片面に導電コーティングを施した誘電材料に取り付けられた導電材料で形成することができる。電極（１２）を内装体内に接地導電材料と隣接させて埋設し、１電極にＤＣ電圧を印加して第２電極への導電通路を形成することができる。その導電通路は湿気で提供される。ドライブ電極（２２）とレシーブ電極（２６）は車の窓と一体的に形成することができる。
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