【課題】導電性膜の位置及び特性を特定可能な、導電性膜センサを提供する。
【解決手段】周波数が異なる第１及び第２の磁界を放射する磁界放射器１と、導電性膜に第１の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、導電性膜の位置及び特性の第１の関係と、第２の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、導電性膜の位置及び特性の第２の関係と、を保存する記憶装置４０１と、測定対象導電性膜２に第１の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第１の関係に基づき、導電性膜の位置及び特性の第３の関係を算出し、測定対象導電性膜２に第２の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第２の関係に基づき、導電性膜の位置及び特性の第４の関係を算出する算出部３０１と、第３及び第４の関係に共通する、導電性膜の位置及び特性の組み合わせを特定する特定部３０３と、を備える導電性膜センサ。 （もっと読む）

【課題】少なくとも２つの導電体のそれぞれの位置を特定可能なセンサを提供する。
【解決手段】第１及び第２の磁界を放射する磁界放射器１と、第１及び第２の導電体に第１の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、第１及び第２の導電体の位置の第１の関係と、第２の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、第１及び第２の導電体の位置の第２の関係と、を保存する記憶装置４０１と、第１の測定対象導電体２及び第２の第１の測定対象導電体２に第１の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第１の関係に基づき算出された、第１及び第２の導電体の位置の第３の関係と、第２の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第２の関係に基づき算出された、第１及び第２の導電体の位置の第４の関係と、に共通する、第１及び第２の導電体の位置を特定する特定部３０３と、を備える導電体センサ。 （もっと読む）

【課題】レゾルバの角度データを必要とするタイミングでレゾルバの励磁を行うことで、省電力化したレゾルバの駆動を可能とする。
【解決手段】励磁パルス出力回路１０５は、角度検出の要求信号を受けて励磁パルス信号を出力する。ここで、励磁パルス出力回路１０５は、角度検出の要求信号を受け付けた場合のみに励磁パルス信号を出力するので、常時励磁パルス信号を出力する場合に比較して、励磁に要する消費電力を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】PWM信号で駆動される電磁アクチュエータの変位位置を、簡単な構造及び簡単な検出手段で検出できる装置を提供する。
【解決手段】電磁アクチュエータ１は、可動コア１１ａ、駆動コイル１２、検出コイル１３を有する。駆動回路２２は、PWM信号に従い、駆動コイル１２に駆動電流を供給する。検出コイル１３は、可動コア１１ａの変位位置に応じて駆動コイル１２との相互結合係数が変化する位置に配置される。サンプリング信号発生回路３１は、PWM信号発生回路２１が出力するPWM信号に同期してサンプリング信号のタイミングを生成し、同期サンプリング回路３２は、このサンプリング信号に同期して検出コイル１３の出力電圧をサンプリングし、変位位置検出データを出力する。補正部３３は、PWM信号のデューティ比に応じてこれを補正する。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動で高ダイナミックレンジの検出を高速で実現する近接検出装置および方法の提供。
【解決手段】検出領域２における２つの次元のうち一方の次元に対応する複数の送信電極３と、他方の次元に対応する受信電極４と、送信電極３の少なくとも二つ以上の電極に周期的な交流電圧を同時に印加するマルチライン駆動手段５と、電流測定手段６と、演算手段と、制御手段９ａとにより構成され、演算手段は、電流測定手段６で測定した電流値あるいは蓄積された電荷量を線形演算し送信電極３と受信電極４の各交点の静電容量に対応した値に変換する線形演算手段７と、線形演算手段７の出力から検出領域２への物体の接近判定或いは接近位置を求める近接演算手段８とにより構成され、線形演算手段７は、検算の途中結果を記憶する記憶手段１５を備える。 （もっと読む）

【課題】明るい環境下でも簡易な構造で回転の検出を行うことが可能な回転検出装置、回転数検出装置および回転体姿勢検出装置を提供する。
【解決手段】送信アンテナ２と受信アンテナ３とは、互いに離間し、かつ、各々の長手方向が互いに略直交する位置関係にて配置されている。送信アンテナ２と受信アンテナ３との間に円盤状の回転体６が位置している。この回転体６の面６２に被検出体としてのアンテナ部４が取り付けられている。受信アンテナ３の受信内容に基づいて、回転体６と共にアンテナ部４が回転していることを検出できる。また、回転数や回転体の向きも同様に検出できる。 （もっと読む）

【課題】偏心量の測定精度の向上を図ることができる回転体の偏心量測定装置を得る。
【解決手段】回転軸７と対向配置される渦電流変位センサ１９からの電気信号Ｖｉｎに、回転軸の材質的不均一や傷により電気信号Ｖｉｎの波形が受ける影響を補償するランナウト補償信号設定回路１５からの補償信号Ｖｃを加算器１６にて加えて、補償電気信号を出力する。第１のサンプルホールド回路５ａは補償電気信号の波形の振幅値Ｖｄを保持し、第２のサンプルホールド回路９ａはサンプルホールド信号発生器８からサンプルホールド信号を受けたときにサンプルホールド回路５ａに保持されている電気信号の波形の振幅値を保持する。低位選択回路１４は、第１及び第２のサンプルホールド回路５ａ，９ａの保持する振幅値のうち小さい方を選んで出力し、この小さい方の値に基づき回転軸の偏心量を求める。ランナウト補償信号設定回路１５を設けたので測定精度の向上が可能である。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構成で高精度の荷重検出を行うことができる荷重センサを提供する。
【解決手段】荷重センサ１は、固定側に取り付けられる基部３，及び基部３に対して弾性変形する起歪部４により両端部が支持され、印加される荷重に応じて基部３に対する相対位置が変位する可動部５を有してなる本体２と、ＶＲセンサ部１８との組み合わせで構成する。具体的には、１次コイル２０及び２次コイル２１を備えたステータコア１９を基部３側、可動コア２２を可動部５側にそれぞれ配置し、可動部５に荷重が加わり変位が生じるとステータコア１９側のコイル２０及び２１と可動コア２２との位置関係を変化させ、１次コイル２０が発生した磁束に対して作用する磁気抵抗を変化させる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡素な回路構成で、高速な走査を実行できる、静電式の位置検出装置を提供する。
【解決手段】交流信号のゼロクロスのタイミングで、複数の電極子とそれらの電極子と直交する複数の電極子の交点に形成されるコンデンサに順次印加する。これらのコンデンサに流れる電流変化を、直交する電極子で捉え、従来技術の積分器に代えて、ＬＰＦで包絡線検波を行い、電流の変化を検出する。 （もっと読む）

本発明は、センサ装置、及び該装置に対する四肢、特に使用者の手の空間的位置、及び／又は動きを表す電子信号を生成する装置と方法とに関する。かかる電子信号は、データ処理装置、通信装置、及び他の電気機器で入力処理を実行するのに使用できる。本発明によるセンサ装置は、送信電極部と、交流電圧を送信電極に印可する電圧発生器と、第１、第２、第３の受信電極部と、を備え、前記第１、第２、第３の受信電極部は、高抵抗の読み出しシステムに接続される。好ましくは、前記第１、第２、第３の受信電極部は、インピーダンス変換システムの高抵抗入力部に接続され、各インピーダンス変換部の出力部に生じる電気的事象間の違いに基づいて、場所又は動きを示す情報が取得される。 （もっと読む）

【課題】ターボチャージャなどの回転数や導電体との位置関係を検出する渦電流式導電体検出装置において、温度変化による出力変動を低減し高精度に導電体を検出すること。
【解決手段】渦電流式導電体検出装置のＬＣ並列接続回路から出力される信号電圧に基づいてコイルに対する導電体の位置情報を検出する信号処理回路を備える渦電流式導電体検出装置において、出力の高温時と低温時の出力差が周波数軸上にて２つの一致点をもち、かつ、これら２つの一致点の周波数において低温時にも高温時にも相当に大きな出力差を確保できることを見出した。これら２つの一致点のどちらかの周波数をもつ交流電流をこのＬＣ並列接続回路に与えれば、少なくとも上記所定の低温時の上記所定の高温時とでの出力変動をキャンセルすることができ、温度変動による出力誤差を解消でき、温度変化にもかかわらず回転数を高精度に検出できる。 （もっと読む）

電流搬送導体を検出するための検出器(1)は、専用の信号送信機によって導体に誘導される主電源または電磁信号の一方または双方の結果として電流搬送導体によって生成される電磁放射を検出するために、垂直の間隔を置いた一対のアンテナ(3，5)を具備する。検出器(1)は、埋設導体の深さを継続的に計算し、埋設導体が所定の最小深さの上にある場合は、聴覚および/または視覚アラームをトリガする。アンテナ(3，5)の感度を低下させることによって、アラームが鳴る横方向へのオフセット範囲が縮小され、埋設導体の位置を判定することができる。
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大きさが異なる金属の複数の異物サンプルをそれぞれ交番磁界中に通過させたときに検波部２６から出力される信号のデータと各異物サンプルの大きさを示すデータとを予め記憶しているメモリ３３を備え、設定手段３２は、その異物サンプルのデータに基づいて、判定手段３１によって検出可能な金属の大きさを表示器３６に表示させる。また、混入金属表示手段３４は、判定手段３１で被検査体に金属が異物していると判定されたとき、その混入金属の大きさを表示器３６に表示する。検出可能な金属の大きさや被検査体に混入している金属の大きさをユーザが直観的に把握できる。
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【課題】 地磁気や外部磁界の影響を受けないで発信出力を受信することができる。
【解決手段】 基準部位に取付けられ交番電流により交番磁束を発生させる送信コイル３と、動作部位に取付けられ上記交番磁束を検知する受信コイル４と、上記交番電流を発生させる発振器１の発振波形と上記交番磁束を検知する受信コイル４の受信波形との同期検波を行う同期検波回路６とを有する。また、送信コイル３に対し異なる動作部位に複数の受信コイル４を備え、この複数の受信コイル４を切り替えるマルチプレクサ１０を備える。 （もっと読む）

【課題】 ビデオ信号を伝送するのに用いる伝送ラインのライン長さを測定し、伝送ラインが少なくとも三本のサブラインを有するライン長さ測定装置を提供する。
【解決手段】 ライン長さ測定装置１００は、信号合成回路１０２、信号変換回路１０６およびライン長さ計算回路１０８を少なくとも備える。ビデオ信号の垂直同期信号が有効なとき、信号合成回路１０２には電気信号がサブラインの一つへ重ねて入力される。信号変換回路２０６はサブラインにより伝送された後の電気信号を数値へ変換する。ライン長さ計算回路１０８は、数値を基にして伝送ライン１０４のライン長さを算出する。 （もっと読む）