【課題】本発明は、静電容量を利用して簡易な構成で計測対象の変位を計測する。
【解決手段】本発明は、固定部に対して平面内を相対的に移動する移動ステージを有する平面ステージを提供する。本平面ステージは、移動ステージの位置を計測する位置センサであって、所定の間隔で相互に対向している第１の固定対向電極対と第２の固定対向電極対とを有する固定電極部と、第１の固定対向電極対の間に部分的に挿入されている第１の可動電極と、第２の固定対向電極対の間に部分的に挿入されている第２の可動電極５０とを有する可動電極部とを有する第１のセンサを備える。第１の固定対向電極対は第１の可動電極５０の挿入状態に応じて変化する第１の静電容量を有し、第２の固定対向電極対は第２の可動電極５０の挿入状態に応じて変化する第２の静電容量を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電容量を利用して簡易な構成で計測対象の変位を計測する。
【解決手段】本発明は、移動ステージの位置を計測する位置センサ１００を提供する。位置センサ１００は、第１の固定対向電極対１１１，１２１の間に部分的に挿入されている第１の可動電極１３１と、第２の固定対向電極対１１２，１２２の間に部分的に挿入されている第２の可動電極１３２と、第３の固定対向電極対１１３，１２３に部分的に挿入されている第３の可動電極１３３とを備える。第１の対向電極は、第２の対向電極に対して第１の方向にシフトした位置に配置され、第３の対向電極は、第１の対向電極に対して第２の方向にシフトした位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】主に自動車のブレーキペダル等の回転角度検出に用いられる回転角度検出装置に関し、簡易な構成で、確実な回転角度の検出とストップランプの消点灯等が可能なものを提供することを目的とする。
【解決手段】磁石１６の回転中心に対して所定角度間隔で、複数の磁気検出素子１８Ａと１８Ｂを対向配置すると共に、磁気検出素子１８Ａと１８Ｂからの検出信号Ｌ１とＬ２を加算または減算して回転角度を検出する第一の制御回路１９と、検出信号Ｌ１とＬ２を除算した後、逆関数に変換して回転体１２の回転角度を検出する第二の制御回路２１と、印加された電圧に応じて、第一の制御回路１９と第二の制御回路２１のいずれを動作させるか切換えるスイッチング回路２４を備えることによって、簡易な構成で、確実な回転角度の検出とストップランプの消点灯等が可能な回転角度検出装置２７を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】主に自動車のブレーキペダル等の回転角度検出に用いられる回転角度検出装置に関し、簡易な構成で、確実な回転角度の検出とストップランプの消点灯等が可能なものを提供することを目的とする。
【解決手段】回転体１２に装着された磁石１６の回転中心に対して、所定角度間隔で複数の磁気検出素子１８Ａと１８Ｂを対向配置すると共に、制御回路１９が複数の磁気検出素子１８Ａと１８Ｂからの検出信号Ｌ１とＭ１を加算または減算し、演算信号Ｎ１やＰ１から回転体１２の回転角度を検出することによって、高精度な回転角度の検出が行えると共に、簡易な構成で、確実な回転角度の検出と、ストップランプの消点灯等が可能な回転角度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】軸ぶれをキャンセルでき、かつトルクセンサと回転角センサ両方の機能を有する回転角・トルクセンサを提供する。
【解決手段】回転角・トルクセンサ１００において、それぞれ回転軸に対して固定された第１乃至第４の磁気センサ１０〜１３と、第１のシャフト４の回転に応じて、第１及び第３の磁気センサ１０，１２の位置に第１周期数の周期的な第１の磁界を生成する磁石ローター１と、第２のシャフト５の回転に応じて、第２及び第４の磁気センサ１１，１３の位置に第２周期数の周期的な第１の磁界を生成する磁石ローター２と、第１及び第３の磁界センサ１０，１２の出力に第１の演算を施すことにより得られる演算出力と、第２及び第４の磁界センサ１１，１３の出力に第２の演算を施すことにより得られる演算出力とに基づいてステアリングの操舵角とトルクとを算出する演算回路３０とを備え、第１周期数と前記第２周期数とは互いに異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】必要な部品点数が少なく、車両の省スペース化を実現できる回転角・トルクセンサを提供する。
【解決手段】回転角・トルクセンサ１００において、それぞれ回転軸に対して固定された第１及び第２の磁気センサ１０，１１と、第１のシャフト４の回転に応じて、第１の磁気センサ１０の位置に第１周期数の周期的な第１の磁界を生成する磁石ローター１と、第２のシャフト５の回転に応じて、第２の磁気センサ１１の位置に第２周期数の周期的な第１の磁界を生成する磁石ローター２と、第１及び第２の磁気センサ１０，１１の出力に基づいて第１及び第２のシャフト４，５それぞれの機械角を算出するとともに、算出した第１及び第２のシャフトそれぞれの機械角に基づいて第１のシャフト５にかかるトルクを算出する演算回路３０とを備え、第１周期数と第２周期数とは互いに異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出コイルとテーパ状の複数のスケールの組合わせにより簡単な構成で高性能の直線検出を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明によるリニアセンサは、長手状磁性部材(40)の上に貼り合わせた第１、第２、第３スケール(40A,40B,40C)と、前記各スケール(40A,40B,40C)に対応する第１〜第３突出歯部(32〜33)を有するＥ型の検出ステータ(30)と、を備え、前記第１、第３スケール(40Z,40C)の第１、第３スケール幅(B1,B3)は長手方向(A)に沿ってテーパ状に変化し、長手方向の位置を第１、第２検出コイル(2,2A)で検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】ノイズに強く、アプリケーションに応じて接触検出器の数の増減が容易で、接触位置も特定可能な接触検出装置を提供する。
【解決手段】 ２接点スイッチと抵抗値のそれぞれ異なる抵抗器から構成される複数の接触検出器を、リファレンス電源線、アース線および信号線からなる接続ケーブルで信号処理部に接続する。信号線には接触有無と接触時のその位置を表す信号が検出され、この信号から信号処理部で接触状態と接触位置を判別し検出する。また、この接触検出装置をロボットの腕、胴、頭など各部位に装着しその接触状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は電磁ポインターの傾斜角検知方法を提供する。
【解決手段】まず、電磁ポインターをＸ／Ｙ軸上にあるＸ_n／Ｙ_nアンテナの上に提供する。次は、Ｘ_n／Ｙ_nアンテナを中心として、両側に位置されている複数のアンテナがスキャンされる。次に、スキャンされた両側のアンテナの誘導信号の分布に基づいて、両側で必要とするサンプルのアンテナ数ａが決められる。次は決められたアンテナ数ａに基づき、中心の両側に位置されるａ個のアンテナがオンされ、電磁ポインターの信号が取り込まれる。最後に両側に位置されるアンテナのサンプル信号に基づき、電磁ポインターの傾斜角が判断される。 （もっと読む）

【課題】従来のリニア位置センサは、複雑な構造が必要となり、信頼性が低くなっている。
【解決手段】本発明によるリニア位置センサでは、スケール方向３に沿う第１位置２６での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせが、スケール方向３に沿う第２位置２７での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせと異なるように第１〜第３スケール部材２１〜２３が配置されており、演算部３１が、第１検出コイル１５からの信号１５ａと第２検出コイル１６からの信号１６ａとに基づいて、スケール方向３に沿う検出ステータ１とスケール体２との相対的な位置を検出する構成である。 （もっと読む）

近接して配置された物体表面に信号を送信するよう構成されたほぼ平行な複数の駆動ラインと、駆動ラインにほぼ垂直に配置され、誘電体によってピックアップラインから分離され、駆動ラインとピックアップラインのクロスオーバー位置のそれぞれにおいてインピーダンスを感知できる固有の電極対を形成する、ほぼ平行な複数のピックアップラインとを有する、新規なインピーダンスセンサが提供される。 （もっと読む）

【課題】故障などにより異常となった出力信号を特定可能な回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ブリッジ回路１１、１２は、被検出部８７の回転に応じて変化する回転磁界によりインピーダンスが変化するセンサ素子２１〜２８により構成されるハーフブリッジ１４〜１７を有する。信号取得手段は、ハーフブリッジ１４〜１７の中点３１〜３４から出力される出力信号をハーフブリッジ１４〜１７ごとに取得する。回転角算出手段は、信号取得手段により取得された出力信号に基づき、被検出の回転角度θを算出する。異常特定手段は、信号取得手段によって取得される少なくとも４つの出力信号に基づく値である演算値が所定の範囲から外れた場合、当該演算値に対応する出力信号を異常出力信号として特定する。これにより、故障などによりどの出力信号が異常となったかを特定することができる。 （もっと読む）

【課題】基準電圧に起因する位置検出誤差をなくし、より高精度な位置検出結果を得ることができる位置検出回路及びぶれ補正装置を提供する。
【解決手段】バイアス出力生成部203a、203bは、ホール素子201a、201bから出力された信号に対して、基準電圧生成部202が生成する基準電圧に基づくバイアスをかけた信号を出力する。位置演算部200は、バイアス出力生成部203a、203bから出力された信号に基づいて、磁界発生部とホール素子201a、201bとの相対的な位置関係を示す信号であって、基準電圧に由来する成分を除去した信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】磁石及び磁気センサの特性のバラツキや組立精度の影響を抑えながら、回路規模が小さく、低消費電流による駆動を実現する。
【解決手段】位置検出装置は、２個の磁気センサ１１ａ，１１ｂが互いに離間されて配置される少なくとも１つの磁気センサ対と、磁気センサ対に対して移動自在又は傾斜自在に配設される磁石１０と、各磁気センサ１１ａ，１１ｂの出力電圧を電流に変換するＶ／Ｉ変換回路１２と、Ｖ／Ｉ変換回路１２が変換した各電流Ｉ１，Ｉ２を基に、差電流（Ｉ１−Ｉ２）を生成する減算回路１３と、Ｖ／Ｉ変換回路１２が変換した各電流Ｉ１，Ｉ２を基に、和電流（Ｉ１＋Ｉ２）を生成する加算回路１４と、差電流（Ｉ１−Ｉ２）を和電流（Ｉ１＋Ｉ２）で除算する電流除算回路１５と、電流除算回路１５が除算して得た値を位置信号Ｖｏとして出力する出力回路１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】磁気検出素子の出力にバラツキがある場合でも、検出精度を向上させ、高精度を有するエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダが、第１の絶対位置エンコーダから入力された第１の検出信号に基づいて入力軸の角度位置を示す第１の位置データを検出する第１の位置データ検出回路と、第２の絶対位置エンコーダから入力された第２の検出信号に基づいて出力軸の角度位置を示す第２の位置データを検出する第２の位置データ検出回路と、第１の位置データと第２の位置データとを合成して、入力軸の多回転量とともに１回転内の角度位置を示す合成位置データを生成する位置データ合成回路と、を備え、前記第１の絶対位置エンコーダまたは前記第２の絶対位置エンコーダは、前記入力軸又は前記出力軸の回転にともない回転する回転子と前記回転子の周囲に配置される複数の磁気検出素子とを有する磁気式エンコーダである。 （もっと読む）

【課題】小型化、液密構造に適し、温度ドリフト補償に優れ、検出信号の伝送路のインピーダンス変化の影響を受けにくい回転位置検出装置を備えたサーボモータ装置を提供する。
【解決手段】サーボモータ１と共に液密にケーシング４内に収納されたセンサ１０は、サーボモータ回転子から生じる漏洩磁束を検知する複数のコイルを備え、各コイルに対応して高透磁率磁性体がそれぞれ近接配置され、該高透磁率磁性体においては回転位置に対応する漏洩磁束の変化に応じて磁気飽和が生ぜしめられる。各コイルは磁気飽和の変化特性に応じて、回転位置に対応した振幅関数を持つ交流信号を出力する。正弦関数的振幅特性の２つのコイルは漏洩磁束の変化に対して互いに逆相となるように配置され、余弦関数的振幅特性の別の２つのコイルも同様に互いに逆相となるように配置される。この出力交流信号を合成して、電気的位相によって回転位置を示す検出信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】装置全体の小型化を図りながら、部品点数の削減によるコストの低減化を図ることができる硬貨識別装置を提供すること。
【解決手段】投入された硬貨（Ｃ）が通過する硬貨通路（１）の近傍に配置され、硬貨通路を通過する硬貨の識別を行う硬貨識別装置において、硬貨通路に磁界を生じさせる環状励磁コイル１１と、環状励磁コイル１１の内部に配設され、かつ硬貨通路を硬貨が通過するときの磁界変化を検出する第１検出コイル１３及び第２検出コイル１４と、第１検出コイル１３及び第２検出コイル１４のそれぞれが検出した磁界変化に応じた信号の和により、硬貨の厚みを検出する材厚検出部３１３と、第１検出コイル１３の検出した磁界変化に応じた信号により硬貨の材質を検出する材質検出部３１２と、第１検出コイル１３及び第２検出コイル１４のそれぞれが検出した磁界変化に応じた信号の差により硬貨の凹凸を検出する凹凸検出部３１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】開閉体を有する開口部における障害物の存在及び開閉体の位置を良好に検出可能な静電容量式障害物センサを提供する。
【解決手段】異なる周波数の交流信号を出力する複数の交流信号源１５，１６と、開閉体端部と枠体端部との何れか一方に設けられて開閉体端部と枠体端部との間に存在する障害物９との間の静電容量Ｃｓを検出する検出電極５と、開閉体端部及び枠体端部の他方に設けられた遮蔽電極７と、検出電極５及び遮蔽電極７に印加される交流成分ｆ１，Ｖ１に基づいて、検出電極５と障害物９との間の静電容量Ｃｓを求め、障害物９が存在するか否かを判定すると共に、遮蔽電極７に印加されず検出電極５に印加される交流成分ｆ２，Ｖ２に基づいて、検出電極５と遮蔽電極７との間の静電容量を求め、開閉体端部と枠体端部との距離を判定する制御部２０とを有する。 （もっと読む）