【課題】軸ぶれをキャンセルでき、かつトルクセンサと回転角センサ両方の機能を有する回転角・トルクセンサを提供する。
【解決手段】回転角・トルクセンサ１００において、それぞれ回転軸に対して固定された第１乃至第４の磁気センサ１０〜１３と、第１のシャフト４の回転に応じて、第１及び第３の磁気センサ１０，１２の位置に第１周期数の周期的な第１の磁界を生成する磁石ローター１と、第２のシャフト５の回転に応じて、第２及び第４の磁気センサ１１，１３の位置に第２周期数の周期的な第１の磁界を生成する磁石ローター２と、第１及び第３の磁界センサ１０，１２の出力に第１の演算を施すことにより得られる演算出力と、第２及び第４の磁界センサ１１，１３の出力に第２の演算を施すことにより得られる演算出力とに基づいてステアリングの操舵角とトルクとを算出する演算回路３０とを備え、第１周期数と前記第２周期数とは互いに異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出コイル及び制御基板を水や油、異物等から保護可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】上面に長孔１２１ａが形成されたセンサ収納部１１Ａ及び前面が開口した基板収納部１１Ｂが挿通孔１１３ｃを有する内壁１１３によって隔てられる中空箱型のケース１と、前後方向に巻回される検出コイル２１を有してセンサ収納部１１Ａに配設されるコイルブロック２と、筒状に形成されてコイルブロック２が挿通し、前端が挿通孔１１３ｃ周縁に気密接合されるコイルホルダー３と、導電性材料から筒状に形成されてコイルホルダー３が挿通するスライドパイプ４１を有し、検知対象物の変位に応じて前後方向へ移動自在に配置されるスライダー本体４と、基板収納部１１Ｂに配設されて検出コイル２１と接続され、検出コイル２１のインダクタンス変化に基づく信号を出力する制御基板５と、基板収納部１１Ｂの開口に覆設されて密閉する蓋部材１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロッドの強度に悪影響をもたらさず、磁気的に符号化された信号が消去されることのないピストンロッド感知システムを提供する。
【解決手段】ピストンロッド上の磁気的硬質層の領域の複数のトラック上に情報が磁気的に記録されている。磁場センサーが、磁気的に記録された領域の複数トラックに配置されている。複数トラックに配置された各磁場センサーは、ピストンロッドがシリンダに対して動く間、同一の磁化領域を感知する。別の磁場センサーは、同相除去を実施する際に使用する周囲場を感知することができる。書込みヘッドが、磁場センサーによって検出された損傷または消去された領域を動的に修復することができる。磁気的に記録された情報は相対符号化されている。バッテリーバックアップ電源によって活性化されて、磁場センサーと関係する回路は、機械装置がオフの間に引き続いてピストンロッドの動きを追跡することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出コイルとテーパ状の複数のスケールの組合わせにより簡単な構成で高性能の直線検出を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明によるリニアセンサは、長手状磁性部材(40)の上に貼り合わせた第１、第２、第３スケール(40A,40B,40C)と、前記各スケール(40A,40B,40C)に対応する第１〜第３突出歯部(32〜33)を有するＥ型の検出ステータ(30)と、を備え、前記第１、第３スケール(40Z,40C)の第１、第３スケール幅(B1,B3)は長手方向(A)に沿ってテーパ状に変化し、長手方向の位置を第１、第２検出コイル(2,2A)で検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】高速且つ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１センサと第３センサ、第２センサと第４センサが、一対の光学基板２の対向面の重心を結んだ線を軸として対称となる位置に配置され、第１〜４アクチュエータの各々が、一対の光学基板２の対向面の重心から第１〜４センサの各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置された可変分光素子であって、第１〜４センサの信号から、一対の光学基板２の対向面の重心同士の間隔ｘを算出し、第１センサの信号と第３センサの信号から、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度θを算出し、第２センサの信号と第４センサの信号から、重心を結んだ線に垂直な面と移動させる光学基板の対向面がなす第２の角度φを算出し、重心同士の間隔ｘ、第１の角度θ及び第２の角度φに基づいて第１〜４アクチュエータを駆動する制御部を備えている。 （もっと読む）

【課題】磁界発生部品Ｙからの外乱による影響を少なくすることができる位置検出システム、及び搭載製品の設計の自由度を向上させ、また、搭載製品の小型化を図ることができる多方向入力装置を提供すること。
【解決手段】位置検出システム１は、基板１１上に実装された第１〜第３の磁気検出素子１２Ａ〜１２Ｃと、基板１１に配設され、基板１１に対して移動可能な磁石１３と、第１の磁気検出素子１２Ａ及び第２の磁気検出素子１２Ｂの出力差で第１方向の出力を求め、第２の磁気検出素子１２Ｂ及び第３の磁気検出素子１２Ｃの出力差で第２方向の出力を求める制御手段と、を具備し、第１の磁気検出素子１２Ａ及び第３の磁気検出素子１２Ｃは、磁石１３を中心に対称な位置に配置され、第２の磁気検出素子１２Ｂは、第１の磁気検出素子１２Ａ、第２の磁気検出素子１２Ｂ及び第３の磁気検出素子１２Ｃを結ぶ仮想円弧における中点位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】故障検出を、故障検出専用の回路などを別に設けることなく行うことができる技術を提供する。
【解決手段】第２の歯車の回転角度を検出する第１の回転角度センサと、第３の歯車の回転角度を検出する第２の回転角度センサと、第１の回転角度センサが検出した第２の歯車の回転角度と第２の回転角度センサが検出した第３の歯車の回転角度との角度差に基づいて第２の回転軸の回転角度を演算する演算手段とを備える回転角度を検出する検出装置の故障を診断する故障診断装置であって、第１の回転角度センサが検出した第２の歯車の回転角度と第２の回転角度センサが検出した第３の歯車の回転角度とに基づいて、第２の歯車の回転角度と第３の歯車の回転角度との角度差が零となる交差角θＫを算出し（Ｓ９０６）、交差角θＫに基づいて故障を診断する（Ｓ９０７〜Ｓ９１０）。 （もっと読む）

【課題】従来のリニア位置センサは、複雑な構造が必要となり、信頼性が低くなっている。
【解決手段】本発明によるリニア位置センサでは、スケール方向３に沿う第１位置２６での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせが、スケール方向３に沿う第２位置２７での第１スケール内ギャップ２４の幅と第２スケール内ギャップ２５の幅との組み合わせと異なるように第１〜第３スケール部材２１〜２３が配置されており、演算部３１が、第１検出コイル１５からの信号１５ａと第２検出コイル１６からの信号１６ａとに基づいて、スケール方向３に沿う検出ステータ１とスケール体２との相対的な位置を検出する構成である。 （もっと読む）

近接して配置された物体表面に信号を送信するよう構成されたほぼ平行な複数の駆動ラインと、駆動ラインにほぼ垂直に配置され、誘電体によってピックアップラインから分離され、駆動ラインとピックアップラインのクロスオーバー位置のそれぞれにおいてインピーダンスを感知できる固有の電極対を形成する、ほぼ平行な複数のピックアップラインとを有する、新規なインピーダンスセンサが提供される。 （もっと読む）

【課題】２重系の位置検出系統を１つの被検出体で実現し、かつ、小型化することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置１は、シフトレバー３の操作に応じて第１〜第３の移動線ｙ_１、ｙ_２、ｘに沿って移動するマグネット２０と、第１の移動線ｙ_１に対しｄ_１だけ離間する第１のＭＲ回路１１と、第１及び第２の移動線ｙ_１、ｙ_２の中間位置に配置される第２のＭＲ回路１２と、第２の移動線ｙ_２に対し第１の移動線ｙ_１とは反対側にｄ_１だけ離間する第３のＭＲ回路１３と、位置判定部４０とを備える。この位置判定部４０は、第１及び第２のＭＲ回路１１、１２の出力に基づいて第１の移動線ｙ_１上のマグネット２０の位置を判定し、第２及び第３のＭＲ回路１２、１３の出力に基づいて第２の移動線ｙ_２上のマグネット２０の位置を判定する。これにより、１つのマグネットで２重系の位置検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】２重系の位置検出系統を１つの被検出体で実現し、かつ、小型化することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置１は、シフトレバー３の操作に応じて第１〜第３の移動線ｙ_１、ｙ_２、ｘに沿って移動するマグネット２０と、第１の移動線ｙ_１に対しｄ_１だけ離間する第１のＭＲ回路１１と、第１の移動線ｙ_１の直下に配置される第２のＭＲ回路１２と、第２の移動線ｙ_２の直下に配置される第３のＭＲ回路１３と、第２の移動線ｙ_２に対し第２のＭＲ回路１２とは反対側でｄ_１だけ離間する第４のＭＲ回路１４と、位置判定部４０とを備える。この位置判定部４０は、第１及び第３のＭＲ回路１１、１３の出力に基づいて第１の移動線ｙ_１上のマグネット２０の位置を判定し、第２及び第４のＭＲ回路１２、１４の出力に基づいて第２の移動線ｙ_２上のマグネット２０の位置を判定する。これにより、１つのマグネットで２重系の位置検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】モータ等の回転機におけるロータの回転速度が変化しても現時点のロータ回転角を正確に推定できる回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ホールセンサによるロータ回転角の離散的な検出結果から現時点のロータ回転角を示す回転角推定値θｒｅを次のようにして求める。ロータ回転角が検出される毎にその前の検出時点ｔ_i-1から今回の検出時点ｔ_iまでの期間での平均的な角速度を示す角速度算出値ωｃ（ｉ）を求める（ｉ＝０，１，２，…）。ロータ回転の加減速を考慮すべく、現時点の直前の検出時点ｔ_kで得られた角速度算出値ωｃ（ｋ）を、その角速度算出値ωｃ（ｋ）と更に前の検出時点ｔ_k-1で得られた角速度算出値ωｃ（ｋ−１）との比に応じて補正することにより、角速度推定値ωｅを求める。当該直前の検出時点ｔ_kから次の検出時点ｔ_k+1まで、この角速度推定値ωｅを用いて回転角推定値θｒｅを算出する。 （もっと読む）

【課題】故障などにより異常となった出力信号を特定可能な回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ブリッジ回路１１、１２は、被検出部８７の回転に応じて変化する回転磁界によりインピーダンスが変化するセンサ素子２１〜２８により構成されるハーフブリッジ１４〜１７を有する。信号取得手段は、ハーフブリッジ１４〜１７の中点３１〜３４から出力される出力信号をハーフブリッジ１４〜１７ごとに取得する。回転角算出手段は、信号取得手段により取得された出力信号に基づき、被検出の回転角度θを算出する。異常特定手段は、信号取得手段によって取得される少なくとも４つの出力信号に基づく値である演算値が所定の範囲から外れた場合、当該演算値に対応する出力信号を異常出力信号として特定する。これにより、故障などによりどの出力信号が異常となったかを特定することができる。 （もっと読む）

【課題】回転体の軸線直交方向への変位量を測定するための専用のセンサーを設けることなく、回転体の回転量と軸線直交方向への変位量とを測定する。
【解決手段】回転体の回転軸部材と同期して自らも回転する被検部材と、これの特性を検知するセンサーとの組合せとして、被検部材が１回転する毎に、センサーが１周期分の正弦波を出力し、且つ被検部材が回転体とともに軸線直交方向に移動するのに伴って、センサーが正弦波の振幅を変化させるもの、を用いた。かかる組合せの一例としては、図１に示す被検部材５１０と距離センサー（５１１、５１２）との組合せを挙げることができる。このような組合せのセンサーから出力される正弦波に基づいて回転体の回転量を算出しつつ、正弦波の振幅の変化量に基づいて回転体の軸線直交方向の変位量を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】磁気飽和が生じることにより、コイルのインダクタンスが等しくプランジャとステータの底とのエアギャップが異なる２点が存在しても、プランジャの位置を正確に検出できる電磁アクチュエータの可動子の位置検出方法およびその検出装置を提供する。
【解決手段】コイル５に変動電圧を印加する第１工程と、変動電圧の印加によって生じるコイル５に流れる電流の立ち上がりまたは立ち下がりの状態を、立ち上がりまたは立ち下がりの間に複数回測定を行う第２工程と、第２工程で得られた複数の測定値と、基準となる測定値または計算値とをそれぞれ比較して可動子６の位置を求める第３工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】刃物類等の凶器類等を隠し持った人が接近したことを察知することができる凶器類判別装置を提供する。
【解決手段】判別装置ＫＳは、鉄類からなる金属類が凶器類に該当するか否かを判別することができる。判別装置ＫＳは、金属類が形成する残留磁化をピコテスラオーダーの検出分解能で検出できるＭＩセンサＳＳを備えている。判別装置ＫＳの制御装置ＣＰは、ＭＩセンサＳＳが検出した残留磁化による磁場分布を判別することで、凶器類になりえるか否かを推定することができる。制御装置ＣＰはこの推定結果を報知することができる。 （もっと読む）

【課題】回転子の軸心位置と固定子の中心とのずれを高価な測定装置を用いず簡単な構成で、高精度かつ短時間に測定することができる回転電機の回転子軸心位置測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】固定子１においては互いに対向する固定子巻線１５ａ、１５ｂを有し、固定子１内には所定のエアギャップ５を介して回転子２が配置され、交流電圧源Ｖａｃによって固定子巻線１５ａ、１５ｂに電流を流し、固定子巻線１５ａ、１５ｂに流れる電流値の差を電流測定手段６によって測定することにより、回転子２の軸心の固定子１の中心軸に対する位置ずれの方向と大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】基準電圧に起因する位置検出誤差をなくし、より高精度な位置検出結果を得ることができる位置検出回路及びぶれ補正装置を提供する。
【解決手段】バイアス出力生成部203a、203bは、ホール素子201a、201bから出力された信号に対して、基準電圧生成部202が生成する基準電圧に基づくバイアスをかけた信号を出力する。位置演算部200は、バイアス出力生成部203a、203bから出力された信号に基づいて、磁界発生部とホール素子201a、201bとの相対的な位置関係を示す信号であって、基準電圧に由来する成分を除去した信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】媒体の厚さを検出する期間が短い場合でも、厚さの検出精度を向上させること。
【解決手段】媒体Ｓに接触している接触回転体３の１回転以上の期間における接触回転体３の厚さ方向の移動量の履歴情報に基づいて、媒体有り移動量Ｖ２を演算する媒体有り移動量演算手段と、媒体Ｓに接触していない接触回転体３の１回転未満の期間Ｔ１における接触回転体３の厚さ方向の移動量の履歴情報と、媒体有り時の１回転以上の期間Ｔ２における履歴情報に基づいて導出された補正情報と、に基づいて、媒体無し移動量Ｖ１を演算する媒体無し移動量演算手段と、媒体有り移動量Ｖ２と媒体無し移動量Ｖ１と、に基づいて、媒体の厚さを検知する媒体厚検知手段と、を備えた媒体厚検出装置。 （もっと読む）