【課題】コスト増加を伴わずにモータの回転角を安定的かつ高精度で検出することができる角度検出装置を提供する。
【解決手段】角度検出装置は、モータの回転子の回転角度に応じて正弦波状に変化する正弦波信号であって、互いの配置位置により位相の異なる正弦波信号を出力する複数のセンサ（１５）と、少なくとも２つの前記正弦波信号同士を相互演算した結果により表されるベクトルを生成するベクトル生成手段（３０）と、前記ベクトルと複数の位相を有する基準正弦波とを演算することにより、前記ベクトルを回転させるベクトル回転手段（４０）と、前記ベクトル回転手段を用いて、前記ベクトルが所定位相になるまで前記ベクトルを順次回転させ、回転前の前記ベクトルと当該所定位相のなす角度をモータの回転子の回転角度として検出する角度探索手段（５０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】長尺材のうねり（変位量）を簡易かつ正確に測定することができる長尺材の変位量測定装置を提供する。
【解決手段】変位量測定装置は、定速走行部1と、架台2と、加速度計3と、記録計4とを備える。定速走行部1は、上下方向に伸びる長尺材（ガイドレールR）に沿って定速で走行する。架台2は、この定速走行部1と共に長尺材に沿って移動される。加速度計3は、架台2の平面方向の加速度を計測する加速度計であって、長尺材のうねりに応じて傾いた架台2の平面方向に生じる重力の加速度成分を計測する。記録計4は、加速度計3の計測結果を記録する。この計測結果と定速走行部1の走行速度とを利用することで、長尺体の変位量を演算により求めることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で多回転の回転角度及びトルク検出ができるとともに、搭載スペース及びコストを低減できる回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】第１のメインギヤ１はステアリングシャフト１０６の入力軸５に、第２のメインギヤ２は出力軸６に嵌合して連結された多回転可能な歯車を持つ回転体であり、トーションバー７は入力軸５と出力軸６の間の同心軸上に配置されている。第１，第２の検出ギヤ３，４はそれぞれメインギヤ１，２の歯車に係合するように設けられた回転体であり、中央部には磁石８，９が配置されている。磁気式角度センサ１０，１１は検出ギヤ３と検出ギヤ４との間に設けられた基板１２上に配置され、対向する磁石８，９の磁界方向を検出し、これらの出力信号に基づいて回転角度演算手段１３によって検出ギヤ３，４の多回転の回転角度θm1，θm2が算出され、メインギヤ１，２の多回転の回転角度θmが検出できる。 （もっと読む）

【課題】圃場に埋設された複数のセンサユニットの位置を設置後に収集可能な多地点測定データ取得装置および多地点測定システムおよび多地点測定データ取得方法を提供する。
【解決手段】１本の伝送路に固定された複数のセンサユニットそれぞれによって前記伝送路を介して返される応答から、前記各センサユニットが固定された位置から前記伝送路の一端までの伝送路長と前記各センサユニットの固定位置における前記伝送路の屈曲方向に関する情報とを含む情報を抽出する情報抽出部と、前記情報抽出部で抽出された情報に基づいて、前記複数のセンサユニットの配置を推定する配置推定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易であり、生産コストを低減することができる変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 検出対象物２１が角変位することによって、検出対象物２１と第１および第２検出用コイル２５ａ，２５ｂとの相対距離が変化すると、第１および第２検出用コイル２５ａ，２５ｂのインダクタンスが変化し、第１および第２検出用コイル２５ａ，２５ｂのインダクタンスが変化して、発振回路２２の発振周波数が変化する。各発振回路２２の発振周波数に基づいて、信号処理部２３が参照用の電気信号を検出対象物２１の変位量に相当する電気信号に変換して出力するので、変位する部分にコイルを巻回する必要がなくなり、製造に高度な加工技術が必要としないので、製造が容易となり、また生産コストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 環境因子の影響を受けずに検出対象物の変位量を検出することができる変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 発振回路２は、検出対象物４との相対距離の変化に応じてインダクタンスが変化するコイル５を備え、前記コイル５のインダクタンスに依存する周波数の信号を出力する。信号処理部３は、各コイル５と検出対象物４との相対距離をそれぞれ独立変数として、各発振回路２の発振周波数を予め定める次数の多項式でそれぞれ近似し、この近似した複数の多項式を用いて前記多項式の係数を消去することによって求められる各発振回路２の発振周波数と検出対象物４の変位量ｙとの関係に基づいて、検出対象物４の変位量ｙに相当する電気信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】故障などにより異常となった出力信号を特定可能な回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ブリッジ回路１１、１２は、被検出部８７の回転に応じて変化する回転磁界によりインピーダンスが変化するセンサ素子２１〜２８により構成されるハーフブリッジ１４〜１７を有する。信号取得手段は、ハーフブリッジ１４〜１７の中点３１〜３４から出力される出力信号をハーフブリッジ１４〜１７ごとに取得する。回転角算出手段は、信号取得手段により取得された出力信号に基づき、被検出の回転角度θを算出する。異常特定手段は、信号取得手段によって取得される少なくとも４つの出力信号に基づく値である演算値が所定の範囲から外れた場合、当該演算値に対応する出力信号を異常出力信号として特定する。これにより、故障などによりどの出力信号が異常となったかを特定することができる。 （もっと読む）

【課題】回転子の軸心位置と固定子の中心とのずれを高価な測定装置を用いず簡単な構成で、高精度かつ短時間に測定することができる回転電機の回転子軸心位置測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】固定子１においては互いに対向する固定子巻線１５ａ、１５ｂを有し、固定子１内には所定のエアギャップ５を介して回転子２が配置され、交流電圧源Ｖａｃによって固定子巻線１５ａ、１５ｂに電流を流し、固定子巻線１５ａ、１５ｂに流れる電流値の差を電流測定手段６によって測定することにより、回転子２の軸心の固定子１の中心軸に対する位置ずれの方向と大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】安価に構成できると共に位置検出精度を向上した位置検出装置を提供する。
【解決手段】電磁誘導型位置検出装置の、コイル基板の直下に配される磁路シートを、磁性リボンを斜めに重ね合わせて構成した。このように磁路シートを構成することにより、磁性リボンの繋ぎ目近傍における、センサコイルの感度の変動を抑制することができる。したがって、位置指示器検出感度が高く、位置検出精度が高く、且つノイズに強い、高性能な位置検出装置を実現できる。 （もっと読む）

【課題】移動体と電極との間の静電容量が、アクチュエータ組み立て後に異なる値を示すようになっても、適切な値に修正することができ、これにより移動体の絶対位置を確実かつ正確に算出することのできる慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】移動体電極と振動基板電極とが対向する部分の静電容量を、一方及び他方の移動限界位置において検出する静電容量検出ステップと、静電容量検出ステップにおいて検出された、一方及び他方の移動限界位置での静電容量を記憶する静電容量記憶ステップと、静電容量記憶ステップにおいて記憶された一方及び他方の移動限界位置での静電容量と、一方及び他方の移動限界位置間の移動限界距離と、の比率を算出する比率算出ステップと、算出した比率を用いて、一方及び他方の移動限界位置間における移動体の絶対位置を算出する絶対位置算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】誤検出の虞を少なくしたセンサ信号検出装置を提供する。
【解決手段】ローパスフィルタ２１は、高周波のノイズ成分Ｓ２及び直流レベル変動成分Ｓ３を遮断し、直流オフセット分Ｓ０及び低周波の状態変動成分Ｓ１を通過させる。変換回路２２は、信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）（Ｋは定数）を出力する。選択回路２３は、トリガ信号ＴＧに従い、信号Ｒ１（＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１））、又は変換回路２５から得られる信号Ｒ２のいずれか一方を基準信号Ｒとして選択する。比較回路２４は、信号Ｓと基準信号Ｒとを比較し、Ｓ＜Ｒとなったらトリガ信号ＴＧを立ち上げ、Ｓ＞Ｒとなったらトリガ信号ＴＧを立ち下げる。変換回路２５は、時刻ｔ１でトリガ信号ＴＧの立ち上がりを検知した場合、その時刻ｔ１での基準信号Ｒのサンプリング値Ｒｔ１を比較回路２４から取り込み、係数ｍを乗算した信号Ｒ２＝ｍ・Ｒｔ１を出力する。 （もっと読む）

【課題】磁石の位置を正確に測定することが可能な磁石位置測定方法を提供する。
【解決手段】この磁石位置測定方法は、対象領域に適正な磁場を発生するように所定位置に配設される一対の略円筒状の超電導マグネット１Ａ，１Ｂを備えたＳｉ単結晶育成装置１００における超電導マグネット１Ａ，１Ｂの所定位置からのずれ量を求める方法である。そして、磁石位置測定方法は、Ｓｉ単結晶育成装置１００を作動させて、超電導マグネット１Ａ，１Ｂの磁場強度を測定し、その実測データを取得する工程と、磁場強度の実測データと、超電導マグネット１Ａ，１Ｂの所定位置からのずれ量として規定された未知数を含む磁場強度の２次関数式から得られる磁場強度のシミュレーションデータとから、未知数を求める工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 物体の接近を電極の静電容量により検出近接センサーにおいて、比較的簡単な構成で、ノイズの影響を除去し、正確な位置検出を行うことの出来る近接検出装置を提供する。
【解決手段】 検出電極の充放電波形から基本発振成分と低周波ノイズ成分を除去して容量変化成分のみを抽出し、抽出された容量変化成分を内部発振に加えて、容量変化に依存した安定なの発振波形の周期から静電容量あるいはその変化を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】 位置測定装置を構成する送信系コイルと受信系コイルのうち、送信系コイルを小さくする。
【解決手段】 位置測定装置は、第一の地点に配置された一軸の励磁コイル１４と、該励磁コイルに交流信号を供給して励磁するための信号発生回路と、中心軸が互いに直交するようにして第二の地点に配置された第一、第二、第三の検出コイル２１−１、２１−２、２１−３と、前記第一、第二、第三の検出コイルの出力から電圧信号を得る回路とを含む。前記励磁コイルを励磁した時に前記第一、第二、第三の検出コイルに誘起される誘起電圧を用いて予め定められた演算を行うことにより、前記検出コイルの座標系に対し前記励磁コイルの中心軸方向が既知であるとき前記第二の地点から前記第一の地点までの方位と距離を算出する。 （もっと読む）

コントローラと、可動部と搬送経路とを有し前記コントローラと連通するワークピース搬送機と、前記可動部に固着した少なくとも１つの界生成プラテンと、搬送経路に沿って配置されコントローラと連通する少なくとも１つのセンサ群とを含み、前記界生成プラテンが位置計測とともに可動部を推進させるように構成される多次元測位装置とを備える装置であって、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサは、少なくとも１つの界生成プラテンで発生させる検知界内の単軸に沿ったばらつきに対応する１つのみの出力信号を提供するように構成され、前記コントローラは、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサに隣接した前記可動部の多次元位置を、前記の少なくとも１つのセンサ群内の少なくとも１つのセンサの前記１つのみの出力信号に基づいて、多次元位置には、少なくとも平面位置と、ワークピース搬送機と少なくとも１つの前記センサ群との間のギャップとを含めて算出するよう構成されている装置。
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【課題】実装ズレがあった場合に磁気検出の誤差を低減する、２次元平面上での磁気検出方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る磁気検出方法の実施形態では、ｘ軸上の１対のホール素子３０１、３０２の出力信号から算出される検出信号を、磁石のｘ座標の関数として直線補間して、傾きａ、切片ｂを求める。次に、ｙ軸上の１対のホール素子３０３、３０４の出力信号から算出される検出信号を、磁石のｘ座標の関数として直線補間して、傾きｃ、切片ｄを求める。次に、１対のホール素子３０１、３０２の出力信号から算出される検出信号を、磁石のｙ座標の関数として直線補間して、傾きｅ、切片ｆを求める。次に、１対のホール素子３０３、３０４の出力信号から算出される検出信号を、磁石のｙ座標の関数として直線補間して、傾きｇ、切片ｈを求める。これらのパラメータを用いて、予め定めた数式により磁石の検出位置を算出して磁気検出を行う。 （もっと読む）

【課題】変位体の変位に対する出力信号の直線性を向上させる。
【解決手段】発振回路３が、変位検出用コイル１のインダクタンス（Ｌ）に対応した周波数を有する発振信号を出力する。発振周期計測回路４が、発振回路３から出力された発振信号の周期を計測し、計測された周期に対応する信号を出力する。二乗回路５が、発振周期計測回路４から出力された信号の二乗値を演算出力する。発振信号の周期の二乗値を演算出力することにより、インダクタンス（Ｌ）成分と容量（Ｃ）成分の平方根成分がなくなり、出力信号は変位体の変位に対し直線的な関係で変化する信号となる。 （もっと読む）

【課題】二つ以上の相対角センサの検出信号を利用し、簡単かつ高精度に回転軸の絶対回転角を検出する。
【解決手段】回転軸１２の二つの相対角センサ２０Ｐ、２０Ｑ及び電動モータ２２の相対角センサ２４から得られる電気角信号Ｓｐ、Ｓｑ、Ｓｒに基づき、角度信号平滑化手段３２において、絶対回転角信号Ａｂを求める。この際、角度信号平滑化手段３２で得られる絶対回転角信号の所望の周期的変動数Ｓと、減速機２６の減速比ａ：ｂと、二つの相対角センサ２０Ｐ、２０Ｑの軸倍角ｐ、ｑと、電動モータ２２の相対角センサ２４の軸倍角ｒと、回転軸１２の許容回転数Ｎとが、各相対角センサの軸倍角の如何に関わらず、Ｓ＝｜（ｐ＋ｑ）×Ｎ−ｒ×Ｎ×（ａ／ｂ）｜＝１の関係を満たすように各値を設定することで、絶対回転角信号Ａｂは回転軸１２の絶対回転角と一対一の対応となる。 （もっと読む）