【課題】 被検面が傾いていても測定精度を悪化させることのない多波長干渉計を提供する。
【解決手段】 波長が互いに異なる少なくとも２つの光束を参照光と被検光とに分割し、分割された参照光の周波数と被検光の周波数とを異ならせ、被検光と参照光とを干渉させる干渉計において、干渉光を複数の光束に分割する分割部を有し、分割された複数の光束を各波長について検出する。 （もっと読む）

【課題】ノイズの少ない方法で、容易には測定できない位相特性を測定し、また、振幅特性を強調された方法で
測定する。
【解決手段】振幅及び位相を有する分析対象波面に対して、フーリエ変換処理を行い、該分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、該複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、該複数の強度マップを用いて該分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する。 （もっと読む）

【課題】調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】撮像素子が受光した全体領域から第１および第２部分領域を抽出し、抽出された第１および第２各部分領域で受光した干渉光の強度を複数の時刻で取得し、各時刻における前記強度のうちの一方および他方をそれぞれX座標値およびY座標値としたときのY座標値の最大値と最小値との差分を第１差分Aとして算出し、X座標値およびY座標値の組み合わせのデータを一次関数で近似した場合の傾きαを算出し、この傾きがゼロとなるようにXY座標系を回転し、回転後のXY座標系におけるY座標値の最大値と最小値との差分を第２差分B’として算出し、δ＝asin{(B’/cosα)/A}で表される角度δを算出し、当該角度δを干渉光の位相分布の均一性を示す指標として決定する。 （もっと読む）

【課題】装置を小型化し、かつ非干渉成分の影響を受けず、光パルスの波長分散測定を確実かつ高安定に行う波長分散測定装置等を提供する。
【解決手段】出射する伝搬光の波長が可変な光源と、伝搬光を第1及び第2伝搬光に分離し、出射する際に第1及び第2伝搬光の間に波長差を発生させる光分岐結合部と、偏波保持特性を有するプローブ及び参照光ファイバと、これらの光ファイバのいずれかに設けられ、光伝搬光の位相α_ｉを周期的に変化させる光位相シフタと、プローブ光ファイバに設けられた試料測定部内の試料を透過あるいは反射した第1伝搬光と、参照光ファイバを伝搬する第2伝搬光とを合波し、合波光の位相α_ｉのα_ｉ光成分の干渉要素を干渉信号とする光検出部と、前記光源での波長掃引に同期し、サンプリングクロックを出力する制御部と、サンプリングクロックに同期して第ｉ光成分に対応する干渉信号を時系列に取得するデータ取得部とを有する。 （もっと読む）

【課題】光学試験表面の誤差と適合光学系の誤差とを分離することを可能にする方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学試験表面１４の形状を判定する方法は、測定ビーム３０の波面を適合光学系２０により光学試験表面１４の所望の形状に適合させ、光学試験表面１４の形状を適合済測定ビームにより干渉測定するステップと、適合済測定ビームを光学試験表面に種々の入射角で照射し、測定ビームの波面を光学試験表面１４との相互作用後にそれぞれ測定するステップと、個々の入射角ごとに測定された波面からの干渉測定結果に対する適合光学系２０の影響を確定するステップと、光学試験表面の形状を、適合光学系２０の確定された影響を干渉測定結果から除去することにより判定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の位置を高精度に測定する測定装置を低コストで提供する。
【解決手段】変調部によって第１周波数で変調された基準光からデジタル基準信号を取得し、前記第１周波数で変調された光が照射された測定対象物から反射された測定光からデジタル測定信号を取得し、前記デジタル基準信号と前記デジタル測定信号とを処理して前記測定対象物の位置を測定する装置は、前記デジタル測定信号に前記デジタル基準信号と同期したサイン信号又はコサイン信号を乗算して、第２周波数および高調波の成分を有する信号をそれぞれ出力する第１および第２同期検波部と、前記第１又は第２同期検波部から出力された信号をデシメーション周波数でフィルタリングして前記高調波の成分を減衰させる第１および第２デシメーションフィルタと、前記第１および第２デシメーションフィルタから出力された信号に基づいて前記測定対象物の位置を演算する演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、構成が単純であり、正確な絶対距離測定結果を経済的に提供できる固定波長絶対距離干渉計の提供。
【解決手段】第１の光源と波面半径検出器と波面半径検出器における測定結果から低解像度絶対光路長Ｒを求める第１の固定波長絶対距離干渉計と、合成測定波長Λを有する第２の干渉計光ビームを送出するビーム送出手段と前記第２の干渉計光ビームを参照ビームと測定ビームとに分割するとともに、戻ってきた参照ビームと測定ビームとを重ね合わせるビーム分割／重ね合わせ手段と記重ね合わせビームを受光して位相φを示す信号を発生する第２の干渉計検出器と前記重ね合わせビームの波数Ｎ_Λ、波長Λ、および位相φに基づいて中解像度絶対光路長測定値Ｚ_Ｍを求めるように構成された第２の光路長計算部を備える第２の干渉計と、を有する固定波長絶対距離干渉計。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広い演算器が不要な干渉型光ファイバーセンサーシステムを提供する。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバー１１ａおよびリファレンスファイバーを有する干渉計と、前記物理量の測定信号３を含む干渉光３２ａを、電気信号に変換するＯ／Ｅ変換器３３と、前記電気信号から、正弦波成分および余弦波成分を抽出するＡＭ復調器５１ａ、５１ｂと、該正弦波成分および該余弦波成分を用いて逆正接演算を行い、前記測定信号を含む信号を出力する逆正接演算器５３と、前記逆正接演算器から出力された信号の所定時間毎の差分を算出し、該差分信号を出力する差分器６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】画像処理装置および干渉計測定システムにおいて、干渉計の画像表示のための装置構成を簡素化し、干渉縞計測の作業性を向上することができることができるようにする。
【解決手段】画像処理装置１は、アライメント用画像を撮影するアライメントカメラ６と、干渉縞画像を撮影する干渉縞カメラ７とを接続し、これらから送信される画像データを伝送する接続端子部４と、伝送された画像データのうち、アライメント用画像および干渉縞画像のいずれかを選択するカメラ切替スイッチ３Ｂと、選択された画像データによる画像を表示する表示部２と、干渉縞画像の画像データを解析する画像処理部と、カメラ切替スイッチ３Ｂによって干渉縞画像の画像データが選択されたときに、画像処理部によって解析された解析結果を干渉縞画像とともに表示部２に表示する装置制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位置精度性能が向上した、改善されたリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】基準構造に対してある方向に移動可能である支持部と、第１の周波数範囲内で上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す第１測定信号を提供するように構成される第１位置測定システムと、第２の周波数範囲内で上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す第２測定信号を提供するように構成される第２位置測定システムと、（ａ）第２周波数範囲内の周波数を有する信号成分を減衰させるように第１測定信号をフィルタリングし、（ｂ）第１周波数範囲内の周波数を有する信号成分を減衰させるように第２測定信号をフィルタリングし、（ｃ）フィルタリング後の第１測定信号とフィルタリング後の第２測定信号とを結合して、上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す結合測定信号を生成するように構成されるプロセッサと、を備える。 （もっと読む）

【課題】データ範囲の有限性などに起因するリップル状の解析誤差を抑える。
【解決手段】フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形に含まれる特定成分を算出する本解析手順（Ｓ１１）と、算出した特定成分を含む基礎データに対して平滑化処理を施すことにより、前記入力波形のモデルであるモデル波形を作成するモデル作成手順（Ｓ１４）と、前記モデル作成手順で作成したモデル波形へ前記解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形に含まれる特定成分を算出するテスト解析手順（Ｓ１６）と、前記テスト解析手順が算出した特定成分と前記モデル波形に実際に含まれる特定成分との差異を、前記テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順（Ｓ１７）と、前記誤差算出手順で算出した解析誤差に基づき前記本解析手順で算出した特定成分を補正する補正手順（Ｓ２１）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 干渉計と波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの量子化誤差に起因する計測誤差を低減した位置計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 移動体の位置を計測する干渉計と、前記干渉計の計測光の光路における気体の状態に起因する前記計測光の波長変動を補償する波長補償器と、前記干渉計と前記波長補償器の出力に応じた位置計測値を出力する制御器と、を備える位置計測装置であって、前記制御器は前記干渉計および前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換器を含み、前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの分解能が、前記干渉計の出力をデジタル信号に変換するときの分解能よりも高い。 （もっと読む）

【課題】 被検面と参照面間の距離制約無く合成波長を用いた距離計測を簡易に実現可能な光波干渉計測装置を提供すること。
【解決手段】 光波干渉計測装置は、多波長光源１、偏光光学素子５、参照面６、被検面７、分光光学素子８、位相検出器９ａ、解析装置１０を備える。多波長光源１は複数の狭帯域なスペクトルを持つ。偏光光学素子５は多波長光源１からの光束を直交する２つの偏光に分離する。参照面６は偏光光学素子５からの第１の光束を反射する。被検面７は偏光光学素子５からの第２の光束を反射する。分光光学素子８は参照面６で反射した第１の光束および被検面７で反射した第２の光束のそれぞれを分光する。複数の位相検出器９ａは分光された第１，第２の光束のスペクトル毎の干渉信号の位相を検出する。解析装置１０は複数の位相検出器９ａからの信号に基づいて多波長光源１の合成波長の範囲で参照面６と被検面７との間の光路長差を算出する。 （もっと読む）

【課題】光波干渉光学機器の使用者の作業効率を向上させることができるようにする。
【解決手段】温度検出部１０１は、温度センサ６１_１ないし６１_５のそれぞれから供給される検出信号に対応する温度、湿度、気圧等の環境パラメータを検出し、比較演算部１０２は、環境パラメータに基づいて、光波干渉光学系内の空気が揺らいでいるか否かを判定する。装置制御部１０３は、空気が揺らいでいると判定された場合であって、標本画像の取得ができないと判定された場合、CCDカメラ１４による標本の撮像を停止させるとともに、表示部１０４に、「ＮＧ」である文字列を表示させる。本発明は、光波干渉光学系を有する顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、被検物等の検査を容易に行うことができる干渉計を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計は、ワークＷの表面形状によって形成される干渉縞を撮像するＣＣＤ３１を有する干渉計本体と、ＣＣＤ３１により撮像された干渉縞の画像を表示する表示部７０と、表示部７０に表示された干渉縞の評価基準となる基準線を含むチャートを表示させるパソコン６０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】
本発明の信号処理装置は、被計測物の位置を計測する計測装置に用いられる信号処理装置１であって、被計測物の位置に応じた信号の位相を時間に対して回帰することにより、被計測物の速度を算出する回帰演算器１９と、第１のサンプリング時における被計測物の位置に回帰演算器１９で算出された速度を加算することにより、第２のサンプリング時における被計測物の予測位置を求める予測演算手段（加算器２２）と、位相演算手段で求められた第２のサンプリング時の計測位相から予測位置を減算して予測誤差を求める誤差演算手段（減算器２３）と、桁拡張した予測誤差を予測位置に加算することにより、第２のサンプリング時における被計測物の位置を求める位置演算手段（加算器２１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】移動体の正確な速度を取得可能とする干渉計システム、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】移動体に固定され、第１光屈折率を有する第１導波部と、前記移動体に固定され、前記第１光屈折率とは異なる第２光屈折率を有する第２導波部と、前記第１導波部を通過した第１電磁波と、当該第１電磁波と同一波長を有し前記第２導波部を通過した第２電磁波とを干渉させる干渉部と、前記干渉部で生じる干渉波を用いて前記第１電磁波と前記第２電磁波との位相差を検出する検出装置と、検出された前記位相差を用いて前記移動体の移動速度に関する情報を取得する速度取得装置とを備える。 （もっと読む）

(i)検査面から反射された検査光と基準面から反射された基準光との間の位相のシーケンスにおける各位相に対するインターフェログラムを記録し、これらインターフェログラムにより、検査面及び基準面により規定されたキャビティの種々の横断方向位置の各々に対する干渉信号を規定するようにするステップと、(ii)記録したインターフェログラムのうちの少なくとも一部に基づいて、キャビティに対する最初の位相マップを計算するステップと、(iii)この最初の位相マップと記録されたインターフェログラムのうちの少なくとも一部とに基づいて位相シフトの増分のうちの少なくとも一部の各々に対する推定値を計算するステップと、(iv)位相シフトの増分に対する計算した推定値と記録されたインターフェログラムのうちの少なくとも一部とに基づいて改善した位相マップを計算するステップとを具えている位相シフト干渉(PSI)方法及びこれに対応するシステムを提供する。
（もっと読む）

本発明は、厚さまたは表面形状の測定方法に関するものであって、本発明に係る厚さまたは表面形状の測定方法は、白色光干渉計を用いた、基底層上に積層された薄膜層の厚さまたは表面形状の測定方法であって、互いに異なる厚さを有する複数のサンプル薄膜層を想定し、各サンプル薄膜層に対する干渉信号をシミュレーションすることにより、各厚さに対応するシミュレーション干渉信号を生成するステップと、前記薄膜層に白色光を照射して前記薄膜層に入射する光軸方向に対する実際の干渉信号を取得するステップと、前記実際の干渉信号から前記薄膜層の厚さとなり得る複数の予想厚さを求めるステップと、前記予想厚さに対応する厚さを有するシミュレーション干渉信号と前記実際の干渉信号とが実質的に一致するか否かを比較するステップと、前記実際の干渉信号と実質的に一致するシミュレーション干渉信号の厚さを前記薄膜層の厚さに決定するステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】追尾式レーザ干渉計の追尾速度を高速化する。
【解決手段】固定配設された回転中心の回りを回動するように配置されたキャリッジ２２上に設けられたレーザ干渉計２４からレトロリフレクタ１０に向けてレーザビームを照射し、戻り方向に反射されたレーザビームの干渉を利用してレトロリフレクタの変位を検出すると共に、レーザビームの光軸の位置の変化として検出される追尾偏差を用いてトラッキングを行なうようにキャリッジの回動を制御する追尾式レーザ干渉計において、キャリッジの相対角変位Θ_ａに変換係数Ｋ_ｍのノミナル値Ｋ_ｍｎを乗じた信号と追尾偏差ΔＬ_ｆを加算してレトロリフレクタの変位の推定値Ｌ_ｃ^*を算出する手段と、レトロリフレクタの変位の推定値Ｌ_ｃ^*に０＜Ｋ＜１なる補償ゲインＫ_ｆを乗じ、更にこれを微分してキャリッジの目標速度の補償信号Ｖ_ｆを生成する手段と、追尾偏差ΔＬ_ｆに追尾制御系のゲインＫ_ｐを乗じた信号に補償信号Ｖ_ｆを加算してキャリッジの目標速度Ｖ_ａｒを生成する手段とを持つサーボ機構を備える。 （もっと読む）