【課題】 本発明は、高温加熱中の対象物を微細に計測するため、熱源との距離が近い光学計測器を熱気から保護し、安定した計測を可能とする計測器の実現を目的とする。
【解決手段】 対象物と光学計測器との間に平行平面な透明体を配置し、光学計測器と透明体の間に強制対流を発生させる空冷または液体冷却と、前記透明体を支持し、液体を使った冷却が可能な熱交換器により、光学計測器への熱気を遮断する光学計測器用断熱装置を構成するようにした。 （もっと読む）

試料の画像データを処理する方法が開示されている。当該方法は、前記試料の少なくとも一部が重なっている複数の空間領域の第1画像と第2画像とのレジストレーションを行う手順、及び、前記のレジストレーションされた画像からのデータを処理することで、前記第1画像と第2画像から得られる画像に加えられる前記試料についての情報を有する合成画像データを取得する手順を有する。
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【課題】
空気揺らぎや機械振動といった外乱の影響を受けることなく、サブナノメートルオーダ以下の精度で計測対象物の変位量や移動量を安定に計測可能な変位計測方法及びその装置並びにプローブ顕微鏡等を提供することにある。
【解決手段】
パルス光を２つに分離し、一方は計測対象物で反射させた後、１パルス周期に相当する遅延光路に入射させ、他方は同じ光路を逆向きに遅延光路を経由して１パルス周期遅れて計測対象物に到達させ、反射させる。計測対象物の移動に伴って生じた光位相変化を、両パルス光を干渉させることにより求める。 （もっと読む）