【課題】 本発明は、高温加熱中の対象物を微細に計測するため、熱源との距離が近い光学計測器を熱気から保護し、安定した計測を可能とする計測器の実現を目的とする。
【解決手段】 対象物と光学計測器との間に平行平面な透明体を配置し、光学計測器と透明体の間に強制対流を発生させる空冷または液体冷却と、前記透明体を支持し、液体を使った冷却が可能な熱交換器により、光学計測器への熱気を遮断する光学計測器用断熱装置を構成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、測定顕微鏡および測定顕微鏡の接眼レンズ部に関し、表示部材を回転することなくパターンの位置を変更することを目的とする。
【解決手段】 被検査物に対向して配置される対物レンズと、前記対物レンズで拡大された像を再拡大する接眼レンズと、前記対物レンズと前記接眼レンズとの間の光路における前記被検査物の中間像面に配置され電気信号に応じた色彩と形状のパターンを表示する表示部材と、前記表示部材に表示される前記パターンを変更表示する操作部と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で正確な測長及び位置の確認が可能な測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の測定装置は、被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の平行プリズムと、第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、光学レンズからの光を取り込み、第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、電気信号に基づき第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、を有することを特徴とする。本発明によると、１画面上で離れた複数の場所の測定を１つの光学系を用いることで可能となる。本発明の測定装置及び測定方法によると、平行プリズムを用いることにより光路を被測定物の直上で高さ方向に対し９０度曲げることができ、光学系の大きさ・高さ（ワークディスタンス）を小さくでき、測定装置を小型化することができる。 （もっと読む）