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Fターム[2F065AA01]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 測定内容 (27,691) | 位置;移動量 (12,734)

Fターム[2F065AA01]の下位に属するFターム

1次元 (834)
2次元 (1,806)
3次元 (2,128)
光軸方向;距離 (1,861)
光軸と直交方向 (556)
移動量 (898)
特殊なもの (4,038)

Fターム[2F065AA01]に分類される特許

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【課題】試験体に沿って移動させる機構を不要とすること。
【解決手段】試験体の輪郭を撮像した画像の画素毎の輝度情報を抽出し、各画素を第1方向に分割して複数の小領域を定義するとともに、各小領域の輝度情報を、各画素の輝度情報および第1方向に隣接する他の画素の輝度情報に基づいて決定する小領域定義部21と、第1方向に直交する第2方向に並ぶ複数列のそれぞれの前記画素について、小領域定義部21により決定された各小領域の輝度情報を第1方向に走査して、輝度情報が所定の閾値を越える境界の小領域の位置情報を抽出する作業を実施して試験体の輪郭データを生成する輪郭データ生成部22とを備える。 (もっと読む)


【課題】フォーカス異常とドーズ量異常を区別して検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ(S104)と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ(S105)と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ(S106)と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および露光時のフォーカス状態を求める演算ステップ(S107)とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、フォーカス状態との相関が高い瞳内位置での階調値からフォーカス状態を求める。 (もっと読む)


【課題】ロボット等に使用される複数個のセンサからなるセンサ装置において、複数個のセンサで形成される指向領域がつながるようにセンサを配置すること可能とするセンサ固定具を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のセンサ固定具は、複数のセンサを固定可能なセンサ固定具であって、複数のセンサをその上下から挟み固定する為の挟持部材と、センサと挟持部材とを固定する為の連結部材とを備え、挟持部材は挟持部を有し、該挟持部材の挟持部が、センサの被挟持部と対応な形状となっていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】被検出物の位置を的確に判別することができる位置判別装置を提供する。
【解決手段】一対の撮像手段11を、それらの光軸が互いに交差し、且つ、光軸の交点oに対して上下方向の下方側に位置し、且つ、光軸の交点oに対して車体前後方向の両側に位置する状態で分散配置して、判別手段を、光軸の交点oの上下方向の下方側及び上方側における光軸の交点oから設定距離未満である範囲を非検出範囲とし、光軸の交点oの上下方向の下方側における光軸の交点oから設定距離以上離れた範囲を検出範囲として、一対の撮像手段11にて撮像された一対の画像における被検出物6の撮像位置の差に基づいて検出範囲における基準位置に対する被検出物6の上下方向での位置を判別するように構成する。 (もっと読む)


【課題】プレス加工等により所定の繰り返しピッチで複数個が帯状の材料に加工された連続部品に対する検査技術を提供する。
【解決手段】連続部品の検査方法は、正常品である連続部品の画像を取得する画像取得手順S1と、その画像から垂直エッジを検出してエッジピッチを求め、エッジピッチのヒストグラムを作成するエッジピッチヒストグラム作成手順S6と、連続部品の繰り返しピッチである基準ピッチを求める基準ピッチ算出手順S7と、連続部品が存在する画像領域の上限と下限を求め、その間の領域で基準ピッチ内に単一の部品が納まる画像領域を切り出すテンプレート領域抽出手順S8と、切り出された画像領域をテンプレートとして登録するテンプレート登録手順S9と、検査対象の連続部品の画像を取得し、テンプレートと基準ピッチとを用いて良否を判定する検査手順とを備える。 (もっと読む)


光学的放射の手段による対象物の表面の特性を決定するための測定機器は、光学的放射源及び測定表面から反射した放射を受信する検出器を具備する。更に、測定デバイスは、放射される光学的放射の処理装置を具備し、それは、光源から放射される光学的放射を、別の波長へ分割し、前述の波長の内、少なくとも最も短い波長及び最も長い波長が、測定表面の法線方向において、測定対象物の異なる半分且つ異なる高さに集中するように、前述の測定対象物への分割された波長を測定表面の通常から異なる方向に向けるように調整される。更に、測定デバイスは、反射光の放射線処理装置を具備し、被測定物から少なくとも鏡面反射の方向に反射光学的放射線を受けるように調整され、測定表面の法線方向とは異なり、受信した光学的放射を前述の検出器へ向ける。更に、測定デバイスは、検出器によって生成された電子シグナルを分析し、そこに集中した放射線の強度に比例し、更に、被測定物の表面の光沢(光沢度)及び/又は厚さ特性を、その波長の強度、測定面に位置する、焦点に基づいて決定するように調整され、波長は鏡面のジオメトリにおいて検出器へのその点から反射された最も強いものであった。 (もっと読む)


【課題】移動体までの距離を安全に測定することができる干渉計を提供すること。
【解決手段】干渉計1Aは、干渉計1Aから射出される光の光量を調整可能に構成された調光手段3Aと、受光手段47,49の受光量が所定の第1閾値以下か否かを判定する第1判定手段と、第1判定手段が、受光量が第1閾値以下と判定した場合、調光手段3Aに、干渉計1Aから射出される光の光量の低減を命じる低減信号を出力する低減信号出力手段とを備える。調光手段3Aは、低減信号が入力された場合、光源から射出される光の光量を低減させる。従って、干渉計1Aが反射体101を見失ってしまった場合、調光手段3Aが干渉計1Aから射出される光の光量を低減させることとなるので、干渉計1Aの周囲で作業する人に干渉計1Aから測定光が照射されてしまうことを防止でき、移動体2までの距離を安全に測定できる。 (もっと読む)


光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が加工対象物(12)をノンストップで移動させる。照明装置(40)が、ライトパイプを含み、第一及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。第一(3)及び第二(5)のカメラ(2)アレイが、加工対象物(12)の立体画像化を提供するために配設されている。第一のカメラアレイ(3)は、第一の照明野を用いて加工対象物(12)の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物(12)の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイ(5)は、第一の照明野を用いて加工対象物(12)の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物(12)の第四の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供する。
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【課題】回転機構の回転角度を適切に取得することができる追尾式レーザ干渉測長計の提供。
【解決手段】追尾式レーザ干渉測長計1は、第1の再帰反射体としての測定基準器2と、被測定物Wに取り付けられる第2の再帰反射体としてのターゲット3と、測定基準器2にレーザ光源から出射される光を導くとともに、測定基準器2にて反射された光を出射する本体部4と、測定基準器2を中心として本体部4を回転させる回転機構5と、回転機構5を制御する制御装置6とを備える。本体部4は、測定基準器2にて反射された光を受光し、受光した光の位置を検出する二次元PSDを備える。制御装置6は、回転機構5の回転角度を取得する角度取得部63と、二次元PSDにて検出される光の位置に基づいて、角度取得部63にて取得される回転機構5の回転角度を補正する角度補正部64とを備える。 (もっと読む)


【課題】線形状物の反射光を取り込んで作成した画像データから背景の影響を受けずに線形状物の高さを正確に検出する線形状物高さ計測装置を提供する。
【解決手段】照明13により、線形状物11(検査対象物)に入射光iが照射され、カメラ14により、反射光jが取り込まれて画像データが生成される。入射光iと反射光jとの軸は、ほぼ一致するようになっている。濃淡画像記憶部17により、カメラ14で生成された画像データが、濃淡画像データとして記憶される。線形状物検出部18により、濃淡画像データに基づいて線形状物11が検出される。高さ計測領域決定部19により、線形状物検出部18で検出された線形状物11の情報に基づいて、同線形状物11の占有領域を超えないように線形状物高さ計測領域が決定される。高さ計測部20により、線形状物高さ計測領域の濃淡情報に基づいて、線形状物11の高さが計測される。 (もっと読む)


【課題】ガンコントローラに撮像装置を内蔵させることなく、ホトダイオードなどの受光素子を設けることにより、ガンコントローラなどで照準を合わせたLCD画面上の座標(カーソル)位置を検出するカーソル相対位置検出方法およびその装置を提供する。
【解決手段】LCD画面の4隅にそれぞれ発光周波数の異なる赤外線LED(A)1,(B)2,(C)3および(D)4が配置されている。LCD画面から所定の距離のホトダイオード5で同時に発光した赤外線LEDの合成出力を得る。この合成出力をフーリエ変換して各赤外線LED毎に出力を得、FPGAの論理機能を用いてLCD画面の座標位置(カーソル位置)を算出する。 (もっと読む)


【課題】探索対象の屋内空間に、ランドマークとみなすことが可能な特定形状の物体や図柄が無く、大量の椅子やパイプで構成された構造物のような複雑形状の物体が置いてある場合、正確な位置取得ができない。そこで、無人車両に未知の建物内部を走行させた場合に、建物内部の広さや配置物の形状によらず、自己位置を取得し地図を構築することができる装置を提供する。
【解決手段】画像データから画像の輝度変化を用いて、無人車両が走行可能な範囲である可動領域データを検出する可動領域検出手段を用いる。 (もっと読む)


レーザスキャナ10の環境を光学的に走査および測定する方法であって、レーザスキャナ10が、発光器17および受光器21をもつ測定ヘッド12と、測定ヘッド12に対して第1の軸Aの周りを回転可能な鏡16と、測定ヘッド12がそれに対して第2の軸Bの周りを回転可能な基部14と、制御および評価ユニット22と、走査に対して、レーザスキャナ10の静止基準系およびこの走査の中心を画定する中心C10とを備え、発光器17が発光ビーム18を放射し、鏡16が、発光ビーム18を環境内へ反射し、また測定ヘッド12の回転中にいくつかの完全な回転を行い、受光器21が、鏡16を介して受光ビームを受け取り、受光ビームが、レーザスキャナ10の環境内で物体Oによって反射され、または他の形で散乱され、制御および評価ユニット22が、走査の多数の測定点Xに対して、少なくとも中心C10と物体Oの距離dを判定し、測定ヘッド12が、走査に対して半分より大きな回転を行い、少なくともいくつかの測定点Xが2重に判定される方法が提供される。
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【課題】設置場所における外部からの光の影響を受け難く、外部からの光の影響を避けるための調整を必要としない、画像検査装置、画像検査方法及び画像検査に用いるコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】画像検査装置は、ガラス140上のウレタン塗布領域に塗布されたウレタン144に赤外線を照射する赤外線照射装置120と、ウレタン144を撮影する赤外線撮影装置116とが取り付けられたロボットハンド112を備え、ロボットハンド112はウレタン塗布領域に沿って設定された経路上を移動することができる構成とされている。そして、ロボットハンド112が前記径路上を移動する際に、赤外線照射装置120によって赤外線が照射されたウレタン144を、赤外線撮影装置116により連続撮影して画像を取得し、赤外線撮影装置116により取得した画像によりウレタン144の塗布状態を検査する。 (もっと読む)


【課題】マイクロローティングおよび計測ターゲットへのプロセス効果を検出する方法を提供する。
【解決手段】基板へのリソグラフィプロセスに用いられるリソグラフィ装置の焦点を測定する方法において、リソグラフィプロセスは、基板上に構造体を形成するために用いられる。構造体は、リソグラフィ装置の基板上の焦点の関数として変化する印刷プロファイルにおいて非対称性を有する少なくとも一つのフィーチャを有する。構造体を第1放射ビームで照射する間に周期的な構造体の第1の像が形成および検出される。第1の像は、非ゼロ次回折放射の第1部分を用いて形成される。構造体を第2放射ビームで照射する間に周期的な構造体の第2の像が形成および検出される。第2の像は、回折スペクトルにおいて第1部分と対称的に向かい合う非ゼロ次回折放射の第2部分を用いて形成される。測定されたスペクトルの第1および第2部分の強度比が測定され、周期的構造体のプロファイルにおける非対称性を測定および/または基板の焦点の表示を提供するために用いられる。同一の装置において、検出部分にわたる強度変化が構造体にわたるプロセス誘発変動の測定として決定される。不要なプロセス変動を伴う構造体の領域が特定され、構造体の測定から除外される。 (もっと読む)


【課題】仮想ゴルフシミュレータでゴルフボールの位置、打撃後のゴルフボールの角度、速度、方向及びスピン、及び打撃後のゴルフクラブの軌道などを感知して、最大限に正確にゴルフボールの飛距離及び球質などを具現可能にする仮想ゴルフシミュレータ及びそれに設けられるセンシング装置と仮想ゴルフシミュレータのセンシング方法を提供する。
【解決手段】ゴルフシミュレータのセンシング装置は、ゴルフボールを打撃するためのスイングマットの前方に設けられて、打撃されたゴルフボールの速度、水平方向角度及びスピンのうち少なくとも一つを測定する第1センシング装置500と、スイングマットの一側面に設けられて、スイングマット上に置かれたゴルフボールの位置を感知し、打撃されたゴルフボールの速度、垂直方向角度及びスピンのうち少なくとも一つを測定する第2センシング装置400とを含む。 (もっと読む)


本発明は、個別データセットを統合することによって、少なくとも1つの特徴を決定すべく、物体の少なくとも1つの部分の全データセットを生成するための方法であって、個別データセットは、物体に相対して動く光学センサおよび画像処理装置によって決定され、物体の連続的な画像の個別データセットは、該個別データセットの統合のために適合される冗長データを含んでなる方法に関する。物体のスキャンの際に得られたデータの量が、十分であって、最適な評価がなされることができるが、余りに多いデータ量を処理することがないように、光学センサと物体との間の相対運動の大きさに従って、単位時間当たりに決定された個別データセットを変化させることが提案される。 (もっと読む)


【課題】表面上のレーザターゲットなしで表面にレーザテンプレートを投影するためのレーザイメージングシステムを提供する。
【解決手段】レーザイメージングシステムは、光信号を発信する計測発信装置60と、航空機44の表面上にレーザテンプレートを投影するレーザ投影装置と、航空機44表面に対して前もって決められた位置に固定され、レーザ投影装置の視界の範囲外であって、かつ計測発信装置60の視界の範囲内にある第1の計測受信装置70と、レーザ投影装置のレーザの位置と方向とを決定すべく、レーザ投影装置の視界の範囲内においてレーザ投影装置に対して前もって決定された位置に固定された第2の計測受信装置と、第2の計測受信装置が配置されるフレームアセンブリ46と、フレームアセンブリ46に配置された複数のレーザターゲットと、を備える。 (もっと読む)


単一の撮像経路を使用して三次元画像情報を生成するための方法と装置を開示する。当該方法は、当該方法は、前記単一の撮像経路の第1および第2のそれぞれの部位を通して第1および第2の画像を選択的に受信するステップを有し、前記第1の部位が、前記視野内の第1の透視点を有しており、前記第2の部位が、前記視野内の第2の透視点を有しており、前記第1および第2の画像が協働して、前記視野内の物体の三次元空間属性を表現するように働くことができるものである。当該方法は、また、前記第1および第2の画像を受信しつつ、前記撮像経路の前記第1および第2の部位の範囲を変化させて前記第1および第2の透視点の位置を変化させるステップを有し、前記透視点の位置の変化により、前記三次元空間属性の前記表現に対応する変化がもたらされるものである。当該方法は、さらに、前記第1および第2の部位の範囲を変化させるときに、前記第1および第2の画像の各々に関係する画像強度が概して一定の画像強度レベルに維持されるように、前記撮像経路の前記第1および第2の部位を通過する透過の変化を補償するステップを有する。 (もっと読む)


【課題】ミリ波透視スキャナの撮像幅が狭く、隠蔽された検知対象物の形状を特定することが困難である場合に、撮像領域を拡大して視認性を向上させることができるミリ波イメージングシステムを提供する。
【解決手段】本発明は、特定の形状の光学反射板20を被測定物16の表面に長手y方向がスキャナ2の移動x方向と直交する向きにして貼り付け、スキャナ2に光学検出器30を設け、被測定物表面の光学反射板を含む線分xiに沿ってスキャナを移動させることによりビーム強度スキャン測定と光学検出器による光学強度スキャン測定とを同時に行い、スキャナの走査移動距離dを算出すると共に、光学強度スキャン測定にて光学反射板の直交方向の幅wを求め、関数関係y=f(w)に基づき直交方向の幅wより長手方向の位置yを算出し、y位置のx方向のスキャン画像を得るミリ波イメージングシステムである。 (もっと読む)


201 - 220 / 613