説明

Fターム[2F065AA01]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 測定内容 (27,691) | 位置;移動量 (12,734)

Fターム[2F065AA01]の下位に属するFターム

1次元 (834)
2次元 (1,806)
3次元 (2,128)
光軸方向;距離 (1,861)
光軸と直交方向 (556)
移動量 (898)
特殊なもの (4,038)

Fターム[2F065AA01]に分類される特許

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【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データから特定の色の画像データを抽出する色抽出手段と、前記色抽出手段により抽出された前記特定の色の画像データを含む第一の所定領域の画像データの色の変化に基づき前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、
を有する。 (もっと読む)


【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物の形状を測定する計測装置であって、
前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、
少なくとも前記検出手段の汚染を防止する気体流を形成する汚染防止気体流形成手段と、
前記被検物の温度を計測する温度計測手段と、
前記被検物の温度を調整する気体流を形成する気体流形成手段と、
前記温度計測手段からの情報に基づいて、前記気体流形成手段を制御して、前記被検物の温度を所定温度範囲に保持する温度制御手段と、を備える。 (もっと読む)


【課題】露光装置及びその制御方法において、基板上の複数のショット領域のそれぞれに対して、原版のパターンを位置合わせする際の位置合わせ精度を落とすことなく、スループットを向上させる。
【解決手段】ショット補正パラメータの自動計測を行うかどうかを判断し(S602)、計測を行う場合にのみ、ショット補正パラメータの自動計測を行うことで処理を減らす(S603)。その後、ウエハ補正パラメータの自動計測を行い(S604)、ショット補正パラメータの自動計測を行ったかどうかに応じて、ショット補正パラメータとウエハ補正パラメータとの相対パラメータδを算出するか(S606)、記憶してある相対パラメータδ及びウエハ補正パラメータからショット補正パラメータを算出するか(S607)を判断することで、位置合わせの精度を保つ(S605)。得られたショット補正パラメータとウエハ補正パラメータとに応じて、装置ユニットを駆動し(S608)、露光する(S609)。 (もっと読む)


【課題】距離画像や表面形状データから、球体、円筒、円錐のようなパラメータ数の多い形状を検出する場合に、形状の大きさに依存せず、かつ対象依存の閾値設定を必要としない方法を実現するという課題がある。
【解決手段】本実施形態によれば、物体形状検出装置は、入力装置と、検出処理部と、円筒・円錐検出部とを有する。入力装置は、物体の距離画像または表面形状点群データの入力データを取得する。検出処理部は、前記入力データから平面形状、球体形状及び各パラメータを検出する。円筒・円錐検出処理部は、前記検出手段の検出結果を使用して、円筒、円錐、円錐台のいずれかの形状パラメータを算出する。 (もっと読む)


【課題】パターン検査における空気揺らぎの影響を軽減する。
【解決手段】第1と第2の開口部が形成されたスリット板112と、スリット板112を介して照明光を照射する照明光学系110と、照明光の一部を反射し、照明光の残部をパターン形成された対象物面131側に通過させる半透過反射板123と、半透過反射板123で反射された第1の像と、対象物面131で反射された第2の像とを結像する結像光学系140と、第1の像の内、第1の開口部を通過した第1の部分像の変位を測定する変位計測センサ153と、第2の像の内、第2の開口部を通過した第2の部分像を撮像する撮像センサ151と、第2の部分像の光学画像と比較するための基準画像を生成する基準画像生成回路162と、第1の部分像の位置の変位量を演算する演算回路161と、第1の部分像の位置の変位量を用いて光学画像と基準画像とを比較する比較回路163とを備える。 (もっと読む)


【課題】光ファイバーでファイバーヒューズが発生した場合に、光ファイバーの損傷を抑制するために、容易にその発生を検知し、できるだけ早く措置を取れる様にする。
【解決手段】光パルス発生器と、その出力を光ファイバーに入射する光結合手段と、発生したファイバーヒューズによる戻り光を分岐する分岐手段と、戻り光から光パルスの戻り光を選択する盧波手段と、その出力光を光電変換する変換手段と、その出力を時間の関数として測定する測定手段と、その測定手段の出力で一方向に移動する特徴点を見出す信号処理手段と、このような特徴点を見出した場合に警報信号を発する警報手段と、を備える。この警報信号で、例えば、光伝送を中断して、損傷を抑制する。特徴点を見出すには、パルスの往復時間の変化を検出するか、シングルパルスやダブルパルスまたはマルチパルスの短縮を検知する。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で、より容易にカメラの位置や姿勢を推定する。
【解決手段】合成画像生成部103は、推定の基準となる基準画像を構成する画素の位置を、基準画像を構成する画素に対応する撮像画像上の画素の位置に射影する射影パラメータに基づいて、射影パラメータにより射影される撮像画像上の位置に存在する各画素により構成される合成画像を生成し、評価部104は、合成画像と基準画像との相関を表す評価関数を生成し、パラメータ更新部106は、評価関数に基づいて、射影パラメータを更新し、更新後の射影パラメータに基づいて、撮像部の位置又は姿勢の少なくとも一方を推定する。本発明は、例えば、カメラの位置や姿勢を推定し、その推定結果に基づく処理を行なうコンピュータ等に適用できる。 (もっと読む)


【課題】列車の種別を判別し、あらゆる車種について乗降扉の位置検出を正確に行う。
【解決手段】列車前端の排障器5を含む領域を撮影する第1カメラ7と、列車後端の排障器6を含む領域を撮影する第2カメラ8からの撮像情報に基づいて列車前端及び後端の位置を求めるとともに、この両位置間の距離である列車長を算出し、この列車長から列車の種別を判別することにより、乗降扉の位置を検出する。また、列車前、後端位置を求めるに際して、カメラ視野に応じた重み付けを行い、合成演算するようにした。 (もっと読む)


【課題】カメラからの映像を、地図情報と自車位置とのマップマッチング以外の用途にも利用することが可能なナビゲーション装置を提供する。
【解決手段】自車両の周辺を撮像し撮像信号を出力するリアカメラ24と、自車両の走行状態を表す信号を出力する振動ジャイロ14aおよび速度センサ14bと、リアカメラ24が出力する撮像信号に基づいてキャリブレーション情報を演算する演算部35と、キャリブレーション情報に基づいて、振動ジャイロ14aおよび速度センサ14bのキャリブレーションを行うキャリブレーション部36とを備えるナビゲーション装置。 (もっと読む)


【課題】被写体上の指定された2点間の長さを精度良く測定する撮像装置を提供する。
【解決手段】被写体の指定された2点間の長さを測定する。撮像動作部100は、同一の被写体に対する1回の撮像で、視差のある1組のペア画像を取得する。表示部310は、取得されたペア画像の少なくとも一方の画像に基づく表示画像を表示する。操作部330は、表示画像上における被写体上の始点及び終点の指定を受け付ける。制御部210は、1又は複数組のペア画像に基づいて、指定された被写体上の始点及び終点における実空間上のそれぞれの位置を算出し、算出した実空間上の始点及び終点位置に基づいて、被写体上の始点から終点までの長さを取得する。 (もっと読む)


【課題】車両の走行位置と通過時刻との関係を高精度に特定することを可能とした電気鉄道保守用車両位置測定装置を提供する。
【解決手段】電気鉄道保守用車両位置測定装置において、ラインセンサ1と、ラインセンサ1で撮影した画像をテンプレート画像と入力画像として作成する画像作成部10と、画像作成部10において作成したテンプレート画像と入力画像を保存するメモリ11と、保存したテンプレート画像からSIFT特徴量を抽出してテンプレートデータを作成しメモリ12に保存するテンプレート作成処理部13と、入力画像からSIFT特徴量を抽出しメモリ12に保存するSIFT特徴量抽出処理部14と、保存したテンプレートデータのSIFT特徴量と入力画像のSIFT特徴量との対応点を探索し入力画像中のハンガ位置を検出してメモリ12に保存するハンガ位置検出処理部15とを備えた。 (もっと読む)


【課題】処理時間が短く、かつ、精度の高いテンプレートマッチング処理を簡便に実現する技術を提供する。
【解決手段】画像処理装置10は、テンプレート画像の特徴量を算出する特徴量算出部130と、前記テンプレート画像において、前記特徴量が共通する領域を共通領域として特定する共通領域特定部140と、前記テンプレート画像から夫々の前記共通領域を抽出した複数の子テンプレート画像を生成する子テンプレート画像生成部170とを備える。 (もっと読む)


【課題】画像中のオブジェクトの位置および回転角度の検出時間を削減する。
【解決手段】参照オブジェクトモデルを用いた投票により画像からオブジェクトを検出するオブジェクト検出装置において、オブジェクトモデルの代表点を中心としてオブジェクトモデルを所定の角度ずつ回転して得られる回転オブジェクトモデルそれぞれの特徴点の座標値を参照オブジェクトモデルとして記憶する記憶部20と、画像の輪郭を抽出する輪郭抽出部33と、記憶部20から読み出した前記参照オブジェクトモデルの座標値と、前記画像の輪郭における点の座標値と、に基づき算出した座標値に対して投票を行ってその積算値である投票数を算出する投票数算出部36と、算出した座標値から、投票数が所定の閾値を超える算出した座標値を抽出する位置抽出部37と、を備える。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で正確に等距離に配置された3つの基準点を提供することが可能なキャリブレーション用マーカを用いるキャリブレーション方法を提供することを目的とする。
【解決手段】三角形のマーク(100)を用いて、車両に搭載されたカメラのパラメータの調整を行うことを特徴とするキャリブレーション方法。三角形のマークは、両端部に接続構造を有する第1部材(110)と、第1部材と長手方向の長さが同じであって且つ両端部に接続構造を有する第2部材(120)と、第1部材と長手方向の長さが同じであって且つ両端部に接続構造を有する第3部材(130)を有し、第1部材、第2部材及び第3部材のそれぞれの接続構造を接続させることによって形成される。 (もっと読む)


【課題】実際に必要とされる測定時間が設定された出力周期よりも長くなる状況を回避することが可能な変位センサを提供する。
【解決手段】設定された設定項目(フィードバック回数及び分割条件)に基づいて対象物Wの測定を行い、二次元CCD14からの受光信号に基づいて対象物Wの測定値信号を出力する制御部16と、測定手段から測定値信号が出力される出力周期を設定するための出力周期設定部22とを備える。そして、制御部16は、設定項目に基づいて制御部16にて対象物Wの測定を行う際の測定時間を計測する。 (もっと読む)


【課題】巻線端部コンポーネント対の相対変位をモニタするためのシステムの提供。
【解決手段】巻線端部コンポーネント102,104に取り付けられる構造体と構造体の非湾曲面126に取り付けられるファイバ・ブラッグ回折格子116を備える。ファイバ・ブラッグ回折格子116は、ファイバ・ブラッグ回折格子116の歪みに基づくそれぞれの波長にピーク強度を有する入射放射を反射するように構成されている。構造体は、巻線端部コンポーネント対102,104の相対変位の全範囲に渡って、構造体に生じる歪みがファイバ・ブラッグ回折格子116の歪みの大きさを所定の範囲に限定するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】広角カメラの姿勢パラメータを容易にかつ正確に推定する技術を実現する。
【解決手段】カメラ姿勢パラメータ推定装置は、半球以上の視野を有する広角カメラにより得られる広角画像から、実空間における、相互に平行な少なくとも2つの第1直線及び第2直線と、第1直線及び第2直線と垂直な関係を有する1つの第3直線とから構成される特定パターンを形成し得る各線分をそれぞれ取得するパターン取得手段と、このパターン取得手段により取得された特定パターンを形成し得る各線分を用いて上記広角画像に対する2組の消失点ペアを決定する決定手段と、この決定手段で決定された2組の消失点ペアを用いて地面に対する広角カメラの姿勢パラメータを推定する推定手段と、を備える。 (もっと読む)


【課題】対象物体が検出用光源を配置した領域の外側にあるのか内側にあるのかを検出す
ることのできる光学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置10において、検出用光源部12が検出光L2を出射し
た際に対象物体Obで反射した検出光を光検出器30で検出して対象物体Obの座標を検
出する。検出空間10Rからみたときに、光検出器30は、複数の検出用光源部12より
内側に位置するとともに、複数の検出用光源部12は各々、外側発光素子12A1〜12
1と内側発光素子12A2〜12D2とを備えている。従って、外側発光素子12A1〜1
2D1が点灯した際の光検出器30での受光強度と内側発光素子12A2〜12D2が点灯
した際の光検出器30での受光強度との比較結果に基づいて対象物体Obが検出用光源部
12より外側あるいは内側のいずれに位置するかを判定することができる。 (もっと読む)


【課題】レールや形鋼などの立体的形状を有する検査対象物の表面疵などの表面状態を安定的に検査することが可能な表面検査装置および表面検査方法の提供。
【解決手段】検査対象物に対して上方から板状光線を投光する上部光線源1aと、検査対象物に上部光線源1aにより投光された板状光線を検査対象物の上方から撮像する上部カメラ1bと、検査対象物に対して側方から板状光線を投光する側部光線源2a,3aと、検査対象物に側部光線源2a,3aにより投光された板状光線を検査対象物の側方から撮像する側部カメラ2b,3bと、上部カメラ1bにより撮像された画像から検査対象物の搬送位置のずれを算出する搬送位置算出手段6と、搬送位置算出手段6により算出された搬送位置のずれに基づいて側部光線源2a,3aおよび側部カメラ2b,3bの位置を調整する検査位置調整手段7とを有する。 (もっと読む)


【課題】位置精度性能が向上した、改善されたリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】基準構造に対してある方向に移動可能である支持部と、第1の周波数範囲内で上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す第1測定信号を提供するように構成される第1位置測定システムと、第2の周波数範囲内で上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す第2測定信号を提供するように構成される第2位置測定システムと、(a)第2周波数範囲内の周波数を有する信号成分を減衰させるように第1測定信号をフィルタリングし、(b)第1周波数範囲内の周波数を有する信号成分を減衰させるように第2測定信号をフィルタリングし、(c)フィルタリング後の第1測定信号とフィルタリング後の第2測定信号とを結合して、上記方向における基準構造に対する支持部の位置を表す結合測定信号を生成するように構成されるプロセッサと、を備える。 (もっと読む)


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