【課題】２つの基板のそれぞれに形成されたアライメントマークの両方に同時にピントを合わせることができない場合であっても、それらの位置合わせを高精度に行うことを可能にする。
【解決手段】パターンを転写される基板に形成されるアライメントマークＡＭ１は、正方形の中実図形であるアライメントパターンＡＰ101〜ＡＰ109、ＡＰ111〜ＡＰ114を配列してなるものとする。一方、基板に転写すべきパターンを担持するブランケットには、アライメントマークＡＭ２として、環状の中空矩形のアライメントパターンＡＰ２をパターンと同じ材料で形成する。アライメントマークＡＭ１は、低い空間周波数成分をアライメントパターンＡＰ２よりも多く含むパターンにより構成されており、ピントが合わない状態で撮像された場合でも重心位置を精度よく検出することが可能である。 （もっと読む）

【課題】制御系の演算処理に対する負荷を軽減しつつ、車両と共に移動する車載のカメラによる撮影画像から精度良く横断歩道を検出すること。
【解決手段】車両に搭載したカメラ６０からの撮影画像の画像認識領域の部分をマイコン３０でエッジ処理し、エッジ処理した画像信号を画像認識ＬＳＩ５１で高速フーリエ逆変換して、強周期性を有するゼブラパターンを画像認識領域中から抽出する。抽出したゼブラパターンの周期性が横断歩道の周期性の範囲内であれば、そのゼブラパターンを横断歩道であるとマイコン３０が認識する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの素線に付されたマークの検出をインラインで実行可能とする光ファイバのマーク検出装置を提供する。
【解決手段】光ファイバの素線(21)に付与されたマーク(M)を検出する装置であって、レーザ光(LS1)を出光する出光部(11a)及びレーザ光(LS2)を受光する受光部(11b)を有し、受光部(11b)で受光したレーザ光(LS2)の強度に応じた信号を出力する検出部(11)と、レーザ光を反射する底面(12b)を有する溝部(12a)が設けられた素線案内部材(12)と、を備える。検出部(11)は、素線(21)を素線案内部材(12)の溝部(12a)内における底面(12b)に接触させた状態で、素線(21)を間にして素線案内部材(12)と対向すると共に出光部(11b)からのレーザ光(LS2)が少なくとも素線(21)に照射されるよう配置されている。 （もっと読む）

【課題】従来の標高計算は局所領域のミスマッチングによる誤差が生じ、精度の高い標高情報が得られず、多大な処理時間がかかるという問題点がある。
【解決手段】カラーフィルタ基板上の局所領域の標高をステレオ方式で算出し欠陥判定をする欠陥検査方法において、ステレオ画像の一方の撮像画像である基本画像から局所領域を検出する工程、ステレオ画像の他方の撮像画像であって局所領域を含む参照画像を取得する工程、局所領域を含むマッチング領域をステレオ画像から選定する工程、マッチング領域から基準マークとなる部位を選定する工程、局所領域を鮮明化する工程、鮮明化された局所領域の中心座標を求め、基準マークからの距離を算出する工程、基本画像と参照画像における局所領域間の視差を求める工程、局所領域の標高を算出する工程、とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】対象物の三次元座標決定のための、改善された方法および装置を提供する。
【解決手段】対象物の三次元座標を決めるための方法において、プロジェクタ（３）によりパターン（６）が前記対象物（１）上に投影され、前記対象物（１）により反射された光がカメラ（４）により記録され、前記カメラ（４）によって記録された画像が測定される。前記対象物（１）の上および／または傍側にある基準点マーク（８）が、リファレンスカメラ（５）によって記録される。前記リファレンスカメラ（５）の視野（９）は、カメラ（４）の視野よりも広い。この方法を改善するために、前記リファレンスカメラ（５）は、前記カメラ（４）と、または前記プロジェクタ（３）および前記カメラ（４）を備える三次元センサ（２）と接続されている。 （もっと読む）

【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン３が形成されている側に粘着シート４を貼り付けたうえで透明なステージ７に固定し、ステージ７の上方から同軸透過照明光Ｌ１と斜光透過照明光Ｌ２とを重畳的に照射するとともに、ステージ７の下方側からステージ７を介して裏面観察手段６で観察することで、観察像においては、デバイスパターン３に対応して、暗い（黒色の）デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像ＩＰ１以外の部分は明るく観察される。また、気泡５に対応する部分ＩＢ１についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン３の形状を明確に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】回路基板の個体識別を簡便かつ容易に実現する回路基板の個体識別装置および個体識別方法を提供すること。
【解決手段】回路基板１００上の複数の計測対象１１０の位置を計測し、計測対象１１０の計測値と計測対象１１０の設計値との差を計測対象１１０ごとの位置情報として取得する位置情報取得手段１０と、位置情報取得手段１０によって取得された位置情報の組み合わせを基板識別符号として登録する登録手段２０とを備える回路基板の個体識別装置。 （もっと読む）

【課題】 複数の視点から撮像した画像に基づいて、より広範囲における任意の被写体の位置情報を取得する。
【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明の画像処理装置は、第一の画像と、前記第一の画像とは異なる視点から撮像した第二の画像とを取得する取得手段と、前記第一の画像および前記第二の画像それぞれにおける被写体の特徴点を検出する検出手段と、前記第一の画像および前記第二の画像に基づいて、前記被写体の位置情報を算出する算出手段とを有し、 前記算出手段は、前記第一の画像および前記第二の画像の両方において前記特徴点が検出された場合、前記特徴点それぞれに基づいて、前記位置情報および前記被写体に対応する被写体モデルを算出し、前記第一の画像および前記第二の画像のいずれかのみにおいて前記特徴点が検出された場合は、前記被写体モデルを参照して、前記情報を算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数回印刷ヘッドを走査して爪部に印刷を施す場合に、ｎ回目の走査終了後ｎ＋１回目の走査までの間に指が動いてしまった場合でも、走査ごとの画像のずれを防いで高品質の印刷を行うことのできるネイルプリント装置及び印刷制御方法を提供する。
【解決手段】爪部Ｔを複数の領域に分けて複数回の走査により１つのデザイン画像を印刷する場合に、各回の走査開始前（Ｓ３）に爪部Ｔの位置情報を取得する（Ｓ２）とともに、ｎ＋１回目の走査を開始する前に、ｎ回目の走査開始前の爪部Ｔの位置情報とｎ＋１回目の走査開始前の爪部Ｔの位置情報とを比較して（Ｓ８）爪部Ｔの位置変化を検出して（Ｓ９）、ｎ＋１回目の走査開始前に爪部Ｔの位置変化が検出されたときは、爪部Ｔの位置変化に応じて、ｎ＋１回目の走査を行う際の印刷開始位置を補正し（Ｓ１０）、この補正後の印刷開始位置から、次の印刷を開始するように印刷制御する（Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】多数の板材を連続的に加工する加工機に好適な回転テーブルの回転角の誤差（ピッチエラー）を測定する方法に関し、ワークの連続加工中においても自動測定できるようにする。
【解決手段】ワークと略同形で、表面に所定角度毎に引いた放射状の計測線と、計測線の放射中心を検出させるマークを表示した測定用基板を用いる。加工機に設けられている搬入誤差検出手段により、テーブル上に搬入された測定用基板の中心の位置偏倚及び角度偏倚を検出し、次にテーブルを所定角度ずつ回動したときのカメラの画像上での各計測線の位置を検出し、先に検出した基板中心の偏差で補正した計測線の方向と、その本来の方向との差から、テーブルのピッチエラーを測定する。 （もっと読む）

【課題】電気転てつ機のロック狂い検知器の固定スリット部材の位置合わせを容易に行うことができる電気転てつ機のロック狂い検知器の位置調整冶具を提供する。
【解決手段】電気転てつ機本体に着脱可能で固定スリットが形成された固定スリット部材と、固定スリットに光を通過させる発光素子および受光素子と、を備えるロック狂い検知器の位置調整を行うための電気転てつ機のロック狂い検知器の位置調整冶具２１において、電気転てつ機本体に着脱可能な本体部２２と、固定スリット部材に着脱可能で本体部２２に電気転てつ機の鎖錠カンの移動方向に移動可能に支持された移動部２３と、移動部２３と連結されて移動部２３を鎖錠カンの移動方向に移動させるネジ部２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）

【課題】ワーク搭載用テーブルのワーク搭載面に対するワークの貼りつきを防止する。
【解決手段】ワークが搭載されるワーク搭載面１６ｃが研削されポリッシングされたガラス製のワーク搭載用テーブル１６であって、前記ワーク搭載面１６ｃの前記ワークが搭載される領域に溝１８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】被検物（例えば、基板の裏面と表面とに形成されたマーク）の位置を高精度に検出することができる技術を提供する。
【解決手段】被検体の位置を検出する検出装置であって、前記被検体を第１波長帯域及び前記第１波長帯域とは異なる第２波長帯域を含む光で照明する照明系と、前記被検体からの光により前記被検体の像を形成する結像系と、前記被検体の像を撮像する撮像素子と、前記照明系又は前記結像系の光路における前記第１波長帯域の光に対する透過率と前記第２波長帯域の光に対する透過率とを異ならせることで、前記撮像素子で撮像される前記被検体の像を形成する前記第１波長帯域の光の強度と前記撮像素子で撮像される前記被検体の像を形成する前記第２波長帯域の光の強度との強度差を低減する光学部材と、を有することを特徴とする検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検物が撮像画像上を移動した場合でも、良好な検波処理画像を得ることができるカメラシステムを提供する。
【解決手段】パルス光を被検物に照射する投光手段３０と、前記パルス光が照射される領域を含む領域を繰り返し撮像する撮像手段２０と、前記撮像手段で撮像された画像の画像信号を記憶する記憶手段４０と、前記記憶手段に記憶された画像信号に対して、同期検波処理を行なって、前記投光手段から照射される前記パルス光の点灯消灯のタイミングに同期した検波処理画像を生成する同期検波処理手段と、前記被検物の移動速度を算出する移動速度算出手段と、前記移動速度算出手段により算出された前記被検物の移動速度に基づいて、前記被検物が撮像画像上を移動することにより前記検波処理画像内に発生するノイズ成分を低減するための補正を行なう補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 異なる２つの物体の回転ずれを計測する際に、従来と比較して計測時間の短い検出装置、検出方法、インプリント装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】 異なる２つの物体にそれぞれ形成された格子マークが重なることによって生じる干渉縞を用いて、前記２つの物体の相対的な回転ずれ量を求める検出装置において、前記干渉縞を検出する検出器と、該検出器で検出された前記干渉縞の傾きから前記異なる２つの物体の相対的な回転ずれ量を求める演算部と、を有することを特徴とする検出装置。 （もっと読む）

【課題】被検物が撮像画像上を移動した場合でも、良好な検波処理画像を得ることができるカメラシステムを提供すること。
【解決手段】所定周期で点灯消灯するパルス光を被検物に照射し、前記パルス光が照射される領域を含む領域を繰り返し撮像し、撮像された画像の画像信号に対して、画素ごとに同期検波処理を行なって、照射される前記パルス光の点灯消灯のタイミングに同期した検波処理画像を生成する際において、撮像画像上における前記被検物の移動速度に基づいて、画像信号の読出し画素位置を変更するとともに、単位画素未満の移動量が検出された場合には、検出した単位画素未満の移動量に基づいて、読出し画素位置を変更した画像信号の信号出力を補正するカメラシステム。 （もっと読む）

【課題】 すき入れ及び紙端を鮮明に撮像し、すき入れが施された位置をばらつきが生じることなく高い精度で測定する検査方法を提供する。
【解決手段】
あらかじめ紙端撮像ラインカメラの撮像条件を紙端が鮮明に撮れる撮像条件に設定し、すき入れ撮像ラインカメラの撮像条件をすき入れが鮮明に撮れる撮像条件に設定した後、各ラインカメラにおいて紙端画像とすき入れ画像とをそれぞれ取得し、紙端画像から紙端を示す座標を検出し、すき入れ画像からすき入れを示す座標を検出し、紙端の座標からすき入れの座標までの距離を算出した後、算出した各座標間の距離が許容範囲か否かを判定してすき入れが形成された位置の合否判定を行う。 （もっと読む）