【課題】微弱信号を増幅可能な増幅装置を提供する。
【解決手段】増幅装置は、被測定系の観測量＾Ａを測定する際に、測定器と、初期状態が事前選択された被測定系を相互作用させ、次に被測定系の終状態を事後選択し、測定器の波動関数ξ（ｐ）を用いて物理量の測定を行う。被測定系の量子状態の事前選択状態、事後選択状態それぞれのベクトルを｜ｉ＞、｜ｆ＞とするとき、式（１）の弱値Ａ_Ｗが既知であり、Ａ_Ｗ＝＜ｆ｜＾Ａ｜ｉ＞／＜ｆ｜ｉ＞…（１）、測定器と被測定系の相互作用ハミルトニアンＨが、測定器の運動量演算子＾ｐおよび結合係数ｇ（ただしｇ＞０）を用いて式（２）で与えられ、Ｈ＝ｇ・δ（ｔ−ｔ_０）・＾Ａ・＾ｐ…（２）、＾Ａ^２＝１のときに、測定器は、波動関数ξ（ｐ）が運動量表示で実質的に式（３）となる。
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【課題】被測定物の表面の反射の状態によって、変位センサの測定方式を切り換えたり、変位センサを交換したりすることを不要にする。
【解決手段】拡散反射板２１２は、レーザ光源２３１から出射され、ワーク１０２の加工面で正反射されたプローブ光が入射する位置に配置されている。リニアセンサ２３３は、拡散反射板２１２により拡散反射されたプローブ光がさらにワーク１０２の加工面で反射された第１の反射光、レーザ光源２３１から出射されたプローブ光がワーク１０２の加工面で拡散反射された第２の反射光を受光する。信号処理部２３４は、第１の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面を介して拡散反射板２１２に入射するまでの第１の距離を検出するか、または、第２の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面に入射するまでの第２の距離を検出する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で容易に対象エリア、又は測定対象の画像が取得できると共に対象エリアの測定が行える画像測定装置を提供する。
【解決手段】投光光軸２６と照明光２９を射出する光源２７とを有し、前記投光光軸を経て前記照明光を投射する投光光学系５と、受光光軸１５と撮像素子１３とを有し、測定対象からの再帰反射光２９′を前記受光光軸を経て撮像素子で受光する受光光学系６と、前記撮像素子で撮像されたデータを処理する制御演算装置７とを具備し、前記投光光学系は前記投光光軸を測定対象に向け前記照明光を投射する投光ユニット２５と、該投光ユニットを高低方向、水平方向に回転し、前記照明光の投射角を変更する投射角変更手段２３，３３と、前記受光光軸に対する前記投光光軸の方向角を検出する方向検出手段２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】老朽化したコークス炉における炭化室の炉壁の変形状態（壁面の凹凸、窯幅の変化）を、炭化室内部に測定装置を入れることなく、炭化室外部から簡便に精度良く測定することができるコークス炉の炉壁診断方法およびコークス炉の炉壁補修方法を提供する。
【解決手段】炭化室１０の外側にレーザー式３次元形状測定装置２０を配置し、レーザー式３次元形状測定装置２０によって、蓋１２をとった状態の窯口１１から斜めにレーザー２１を照射して、炉壁（壁面）１３の形状を点群として測定する工程を、炭化室１０の左右の壁面１３ａ、１３ｂに対して独立して実施した後、左右を独立して測定した壁面の形状を、炭化室１０周辺の基準物２２を元に合成して、一つの形状データ（点群）にまとめて左右合成炉壁形状とし、その左右合成炉壁形状から左右の壁面間の距離（窯幅）を計算して、炉壁形状（壁面の凹凸、窯幅の変化）の診断を行う。 （もっと読む）

【課題】光源から放射された入射光の微小な変位を測定するにあたり、出力信号のＳ／Ｎを向上させるとともに、回路構成を小型化することができる光学式変位測定装置を得る。
【解決手段】受光面が光に対して不感なギャップを介して複数の領域に分割された４分割フォトダイオード１０に対して、光源から放射された入射光を入射させ、４分割フォトダイオード１０のフォトダイオード１１Ａ〜１１Ｄからの出力を増幅し、増幅された出力の変化に基づいて、４分割フォトダイオード１０に対する入射光の相対的な変位を測定する光学式変位測定装置であって、４分割フォトダイオード１０のフォトダイオード１１Ａ〜１１Ｄには、それぞれ入射光によって出力を生じない不感領域１２と、入射光によって出力を生じる感光領域１３とが形成され、４分割フォトダイオード１０全体について、不感領域１２は、感光領域１３に囲まれているものである。 （もっと読む）

【課題】貼合わせウェハ全体について厚さを測定できる装置の提供。
【解決手段】貼合わせウェハ１の厚さ測定光学系及び観察光学系と、測定光学系から出力される信号を用いて貼合わせウェハ１の厚さを算出する信号処理装置とを具え、測定光学系は、第１の波長域の測定用光源３０と、この測定光を投射して光スポットを形成する対物レンズ１７と、その反射光の光検出手段４０とを有し、観察光学系は、前記第１の波長域とは異なる第２の波長域の観察用照明光を放出する照明光源４１と、照明光を投射する対物レンズ１７と、その反射光を受光して２次元画像を撮像する撮像装置４８とを有する。これらで共通の対物レンズ１７と測定光源及び観察光源との間の光路中には、前記測定光学系と観察光学系とを光学的に結合する波長選択性を有するカップリング素子３４を配置する。撮像装置４８は、前記測定光により形成された光スポットの像が重畳された像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】入射光の入射位置及び入射方向を同時に検出することができるようにした光検出装置を提供する。
【解決手段】第一の平面内にマトリックス状に配置した複数個の光検出素子から成る第一の光センサアレイ１１と、第一の平面の光入射側と反対側にて所定間隔ｄで平行に隔置した第二の平面内にマトリックス状に配置した複数個の光検出素子から成る第二のセンサアレイ１２と、スポット状の入射光による第一及び第二の光センサアレイ１１、１２からの検出信号に基づいて、当該入射光の第一及び第二の光センサアレイ１１、１２上における入射位置Ｐ１，Ｐ２を演算すると共に、演算した入射位置間の偏位量ΔＰから当該入射光の入射角度θを演算して、当該入射光の入射位置及び入射方向を決定する信号処理部１４と、を含むように、光検出装置１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光の照射位置の制御や照射位置の制御にかかる装置レイアウトの自由度を向上する。
【解決手段】カメラ１０と、レーザーポインタ２０が照射するレーザー光の照射位置を含む範囲をカメラ４０が撮像するようにレーザーポインタ２０とカメラ４０とを載置され、レーザーポインタ２０とカメラ４０とを一緒に回動させるポインタマニピュレータ３０と、ポインタマニピュレータの回動を制御する制御装置５０と、を備え、制御装置５０は、カメラ４０が撮像する画像Ｐ２とカメラ１０が撮像する画像Ｐ１とを取得し、画像Ｐ２内における画像Ｐ１の位置を特徴点マッチングにより特定し、画像Ｐ１と画像Ｐ２と前記位置とに基づいて、ポインタマニピュレータ３０の回動を制御する。 （もっと読む）

【課題】被検物の裏面からの不要反射光の影響を除去して、被検物の被検面の形状を高精度に計測すること。
【解決手段】記憶制御部１６１は、理想被検面での反射による第１の基準反射光スポットの位置及び光量分布をＨＤＤ１３３に記憶させる。更に、記憶制御部１６１は、理想裏面での反射による第２の基準反射光スポットの位置及び光量分布をＨＤＤ１３３に記憶させる。取得部１６２は、被検面からの第１の反射光スポット及び裏面からの第２の反射光スポットを含む画像データをカメラ１１０から取得する。フィッティング部１６５は、ＨＤＤ１３３に記憶された第１及び第２の基準反射光スポットの光量分布を合成させる。フィッティング部１６５は、その合成光の光量分布が、実際の合成光の光量分布と一致するように、第１及び第２の基準反射光スポットをフィッティングさせる。計算部１６６は、フィッティング結果に基づいて被検面の形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】透過率の再現性が高い分光素子を用いながら、適正にレーザ光源の光量制御が可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、発光装置１０と、受光装置２０と、を備える。発光装置１０は、レーザ光源１１０と、コリメータレンズ１２０と、リーケージミラー１３０と、リーケージミラー１３０によって反射されたレーザ光をドットパターンを有するレーザ光に変換するＤＯＥ１４０と、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光を受光して受光量に応じた検出信号を出力するＦＭＤ１６０と、リーケージミラー１３０とＦＭＤ１６０との間に配置され、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光の光量を減衰させるフィルタ１５０と、ＦＭＤ１６０の検出信号に基づいて、レーザ光源１１０の発光量を制御するＡＰＣ制御部２１ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】計測システム全体の小型化及び軽量化を図るとともに、配管の取付位置を正確に特定することができる、レーザ計測用ターゲット治具及びレーザ計測システムを提供する。
【解決手段】第一フランジ１１に一端部２ａ及び中間部２ｂが固定される計測器用固定治具２と、第二フランジ１２に固定されるレーザ計測用ターゲット治具３と、計測器用固定治具２の他端部２ｃに固定されるレーザ計測器４と、第一フランジ１１及び第二フランジ１２の位置を算出する演算手段５と、を備え、レーザ計測用ターゲット治具３は、第二フランジ１２に配置される台座３１と、レーザ光を反射可能な表面３２ａを有し台座３１に表面の一部が突出するように固定された球体３２と、台座３１を第二フランジ１２に固定する固定手段３３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】表面形状測定装置の配線系統をできるだけ省き、装置の簡素化を図る。
【解決手段】表面形状測定装置１０は、測定対象物１２の表面に光を照射する光源１４と、測定対象物１２の表面上の反射点Ｐ１からの反射光を第一の反射光と第二の反射光に分離するビームスプリッタ１８と、第一の反射光を反射する第一のミラー２０と、第二の反射光を反射する第二のミラー２２と、を備えている。さらに、第一のミラー２０から反射した第一の反射光及び第二のミラー２０から反射した第二の反射光を受光する撮像面３０を備える撮像器２４を備えている。この撮像器２４は、ビームスプリッタ１８から第一のミラー２０を経由して撮像面３０まで到る光路長とビームスプリッタ１８から第二のミラー２２を経由して撮像面３０まで到る光路長とが異なるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】光ビーム照射装置の空間的光変調器の傾きとヘッド部の傾きとを容易に判別して、光ビームの歪みを抑制し、描画精度を向上させる。
【解決手段】光ビーム照射装置２０から照射される光ビームを受光する受光装置５１をチャック１０に設け、光ビーム照射装置２０のヘッド部２０ａを回転する回転機構２８を設ける。回転機構２８によりヘッド部２０ａを回転する前と回転した後に、光ビーム照射装置２０から照射された光ビームを受光装置５１により受光する。ヘッド部２０ａを回転する前後の、受光装置５１により受光した光ビームの位置の変化から、光ビーム照射装置２０の空間的光変調器２５の傾きとヘッド部２０ａの傾きとを判別し、判別結果に基づき、空間的光変調器の傾き又はヘッド部２０aの傾きを補正する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の計測処理を高速化すること。
【解決手段】スリット状の光線を計測対象物に対する照射位置を変更させながら照射する照射部と、前記光線が照射された前記計測対象物を順次撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された画像を走査することによって前記画像における前記光線の位置を検出する位置検出部と、前記位置検出部による走査対象の画像よりも以前に前記撮像部によって撮像された画像における前記光線の位置に基づいて前記走査対象の画像における走査領域を決定する走査領域決定部とを３次元形状計測装置へ設ける。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー放射源を使用する指向エネルギーシステムにおいて、それぞれのエネルギー放射源から出力されるエネルギー束を目標に当てるための好適な制御を提供する。
【解決手段】指向エネルギーシステム（１）は、複数のレーザ光源（１０）と、複数の指向装置（２０）と、目標情報取得装置（３０）と、制御装置（４０）とを備える。複数の指向装置（２０）は、複数のレーザ光源（１０）のそれぞれから出力されるレーザビーム（１１）の照射方向を変える。目標情報取得装置（３０）は、目標（１００）の方向を特定するための情報を含む目標情報（ＴＡＲ）を取得する。制御装置（４０）は、複数のレーザ光源（１０）のそれぞれから出力されるレーザビーム（１１）が目標（１００）に照射されるように、目標情報（ＴＡＲ）に基づいて複数の指向装置（２０）を制御する。 （もっと読む）

【課題】容易に迅速に軸合わせができるとともに、軸合わせの前に行われる防風工程を省略できる立軸形水車及び立軸形発電機の軸受用の部材の軸合わせに適用可能なレーザ照射装置を提供する。
【解決手段】レーザ照射装置１０は、円周部に円弧状の溝１７０ｂ１が開口されるとともに中心部に孔１７０ｃが貫通され玉軸受１７０ｂと溝１７０ｂ１に回転自在に係合される複数の球体１７０ａとを有する支持部１７０と、球体１７０ａよりも径が大きい略球形状の球体部１０ａと、球体部１０ａに取り付けられ球体部１０ａに重力を加える錘部１０ｄと、球体部１０ａに取り付けられレーザ光線を照射するレーザ発光部１０ｃと、を備える。 （もっと読む）

【課題】オブジェクト上の点がカメラの視野から隠れている場合でも、この点の座標を取得することができる測定システムを提供する。
【解決手段】測定システムは、オブジェクトに対して位置決めされる任意の数のミラーユニットと、オブジェクト及び任意の数のミラーユニットの画像を生成する任意の数のカメラと、画像、オブジェクトに対する任意の数のカメラの複数の位置、画像内の任意の数の基準点、及び任意の数のミラーユニットの任意の数の位置を使用して、複数の点の複数の座標を特定する一の測定モジュールを備える。 （もっと読む）

【課題】対象表面までの距離測定用で改善された範囲対分解能比を持った小型のクロマティック共焦点ポイントセンサ光学ペンを提供すること。
【解決手段】光学ペン２２０は測定範囲対分解能比を拡張する多段の光学的構造を含み、該光学的構造は少なくとも第一および最後の軸方向分散合焦要素２５０Ａ，２５０Ｂを含む。軸方向合焦要素は光学的に結合して光学ペン全体での軸方向色分散量の増加に貢献する。第一の軸方向分散合焦要素は光源放射光を受けてこれを多段の光学的構造内の第一の焦点領域に合焦する。最後の軸方向分散合焦要素は多段の光学的構造内の最後の焦点領域から放射光を受けて測定ビームＭＢを出力する。中間の焦点領域を形成する中間合焦要素を設けてもよい。このような光学的構造によって今までにない拡張された測定範囲Ｒ２、小さいレンズ径、および高い開口数を結合した光学ペンを提供できる。 （もっと読む）

【課題】Ｃ形フレームの機械的なドリフトによる距離検出器間の距離の変位を瞬時に測定し、厚さ測定誤差を補正する厚さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｃ形フレーム３の腕部に設けられる第１の距離検出器１と第２の距離検出器２との出力から厚さを求める厚さ測定装置であって、Ｃ形フレーム３の腕部の下部に設けられ、腕部空間内に、レーザビームの光路にハーフミラーを設けて、当該ハーフミラーの反射した第１のレーザビームの位置の変化を検出する第１のビーム位置変位検出器４ａと、当該第１のビーム位置検出器の出力から第１のレーザビームの入射角度の変位と記第１の距離検出器と第２の距離検出器間の距離検出器間の距離の変位と、を求める第１のビーム位置変位処理部４ｂとを備え、厚さ測定値を自動的に補正するようにした厚さ測定装置。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな構成で作業台の回転制御の精度の向上を図ることができる回転制御装置及び回転制御方法を提供する。
【解決手段】 回転体の回転に連動して回転するロータリーエンコーダの読取信号を処理して回転ムラ信号と回転ブレ量信号とを生成し、回転駆動部において回転ムラ信号に応じて回転体の回転速度サーボ制御をなすステップと、処理部において回転ブレ量信号に応じてワークに対する位置サーボ制御をなす。 （もっと読む）