【課題】二股形状端子の側面の状態が変化した場合であっても高精度に先端部の間の隙間距離を測定することが可能な端子検査装置、及び端子検査方法を提供する。
【解決手段】二股形状端子の長手方向に対して平行となる軸方向から、該二股形状端子に向けて青色光を照射し、且つ、軸方向に対して所定角度傾斜した方向から二股形状端子に向けて赤色光を照射する。そして、二股形状端子に照射された青色光、及び赤色光をカメラ１４にて撮影し、撮影した画像から青色光、赤色光を抽出する。この抽出結果に基づいて、二股形状端子の側面状態に応じた適切な隙間演算プログラムを選択し、この隙間演算プログラムを用いて二股形状端子の隙間距離ｄを求める。 （もっと読む）

【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
２０と、パターンで反射した照明光を検出する受光系３０および撮像装置３５と、撮像装
置３５により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の解決課題は、ワーク寸法を連続的に測定できる螺子類の寸法測定装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明の螺子類の寸法測定装置は、移動通路と分離手段と搬送体と光学式測定手段を備えたものである。本発明では、螺子類を良品と不良品に仕分ける仕分け手段や、移動通路への螺子類の供給を停止する供給制御機構を設けることもできる。分離手段を螺子類の移動速度よりも速く回転する回転式のローラ或いはベルトとし、回転中に螺子類に接触して先頭の螺子類を後続の螺子類から離せるようにしてもよい。搬送体は螺子類の頭部上面に接触して移動通路側に押すことのできる回転ベルトとしてもよい。回転ベルトは数本の螺子類の頭部上面に接触する長さとしてもよい。発光素子と受光素子を螺子類の軸部の軸方向に離して二対配置し、二対の配置間隔を螺子類の公差と同一又は略同一寸法としてもよい。 （もっと読む）

【課題】画像データに対する計測記録データを容易に作成することができる端末装置、画像処理方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】記憶部１４０は、画像データ内の第１座標範囲と、第１座標範囲に関する第１計測値データと、が関連付けられた第１画像データを保持する。制御部１５０は、第２画像データ内の第２座標範囲をユーザの指定に応じて取得する。解析部１６０は、第１座標範囲の画像パターンと第２座標範囲の画像パターンを比較し、比較結果及び第１計測値データに基づいて、第２座標範囲に関する第２計測値データを算出する。 （もっと読む）

【課題】製品に貼着されたラベルの位置ズレ等を光学的に検出する際に、ラベルの印字パターンや製品の色、材質が異なる生産ロットで検査を行う場合にも、容易に照明レベルを適切に設定できる光量設定方法を提供する。
【解決手段】同軸落射照明２２により、カメラ２１のレンズと同軸上から光を照射し、カメラ２１により、テープカートリッジ１１上に貼着されたラベル１２の貼着状態を検出する。光量設定部２５は、同軸落射照明２２の光量レベルを低光量レベルから高光量レベルに徐々に上昇させ、ラベル１２の外縁と浅溝の縁端により生じる２つのエッジを検出し、全ての部分で２つのエッジが判定できなくなったら、このときの光量に、１以下の実験係数を乗算することで、同軸落射照明２２の最適な光量を設定する。 （もっと読む）

【課題】樹脂製保持器に対して高精度に欠陥等を検出することができる樹脂製保持器の欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】転動体７が保持されるポケット８を周方向に沿って複数個有する樹脂製保持器１の欠陥を検査する。樹脂製保持器１をその軸心廻りに回転駆動させつつ、樹脂製保持器１のアキシャル方向及び／又はラジアル方向の変位を検出し、この変位量に基づいて良品判定を行う。 （もっと読む）

【課題】先行して打設したコンクリートの表面に新たなコンクリートを打設する打継面の評価を、客観的に行う装置と方法を提供する。
【解決手段】
ラインレーザー１とデジタルカメラ２と解析用パソコン３によって構成する。ライン状のレーザー光線をコンクリート打継面４に照射する。その照射線４１をデジタルカメラ２で撮影する。撮影した照射線４１を画像解析することで座標データとして抽出してコンクリート表面の評価を行う。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとの隙間を高精度に制御することのできる有機ＥＬデバイス製造装置を提供する。
【解決手段】真空処理室内に設けられたシャドウマスクと、基板を載置する基板ホルダーと、基板とシャドウマスクとの間を、接近させ又は離間させる基板密着手段と、基板ホルダーの四隅に設けられた距離計測機構とを備え、距離計測機構は、基板ホルダーを貫通するように設けられた距離計測用空間と、基板ホルダーの表面上に設けられた透明ガラス板と、距離計測用空間に配置された距離計測部とを備え、距離計測部は、光を発射し反射光を受光して距離を計測する距離計と、距離計を真空処理室内の雰囲気から隔離する距離計筐体と、距離計筐体の一部に設けられた透明ガラス窓とを備え、距離計が、透明ガラス窓を介して透明ガラス板とシャドウマスクとの間の距離を計測するよう、有機ＥＬデバイス製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、照明手段５１と、照明手段５１により照明がなされている状態で貼り合せ板状体１０を走査するラインセンサカメラ５０から出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、処理ユニットは、映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、検査画像情報から得られる第１板状体１１の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、検査ライン上での第１板状体１１の縁端と接着剤１３の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する。 （もっと読む）

【課題】より適切なバリ取りを行うことができるバリ取り方法を提供する。
【解決手段】バリ取り方法は、ワーク上のバリの形状を計測する計測工程（Ｓ１、Ｓ２）と、計測工程で得られた計測値に基づき、バリの長さ方向に沿って所定の根元算出点における両側の根元位置を算出する根元算出工程（Ｓ３〜Ｓ１１）と、根元算出工程で得られた根元位置に基づいてバリ取り工具の軌道を算出する軌道算出工程と、軌道算出工程で得られた軌道に従ってバリ取り工具を移動させながらバリ取り加工を行うバリ取り工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の平面度を精度良く求めることができる平面度測定方法を提供する。
【解決手段】平面度測定方法は、レーザ変位計を含むレーザ測定装置が、レーザ光を走査しながら、複数の位置における前記測定対象物の表面と測定基準面とする液面との間の、前記レーザ光の照射方向における距離の情報を測定して取り込む。この後、前記レーザ変位計が測定した複数の位置における前記距離の情報と、前記レーザ変位計が走査した前記複数の位置の位置情報をコンピュータが取り込む。前記コンピュータは、測定した前記位置それぞれにおける前記位置情報と前記距離の情報を座標として表した測定データを、座標空間上の点で表したとき、前記点すべてが２つの平行平面の間に挟まれ、かつ前記２つの平行平面の間の距離が最小となる目標平行平面を、前記２つの平行平面の傾きを変えながら探索することにより、前記平面度を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の寸法を電子的に測定可能な電子測定器を提供する。
【解決手段】等ピッチで１列に並べられた受光素子アレイ２０と、受光素子アレイ２０に結像するレンズ系１６と、測定対象物２５へ光を照射する光源２６と、測定対象物２５から反射した光を受光素子アレイ２０により受光して出力されるアナログ信号をディジタル処理する信号処理部２８と、信号処理部２８によって得られたディジタル計数値ＤＳを表示する表示部１２とを備え、ディジタル計数値ＤＳにより、測定対象物２５の大きさを表示することを特徴とする電子測定器１０。 （もっと読む）

【課題】基板の一面を複数のショットに分けて露光する際、ショット毎に、マスクと基板とがより平行な状態でギャップ合わせを行って、露光精度を向上させる。
【解決手段】マスクホルダ２０とチャック１０とを相対的にＺ方向へ移動及びチルトする複数のＺ−チルト機構３０と、マスク２と基板１とのギャップを複数箇所で測定する複数のギャップセンサー３０とを設ける。予め露光した基板のパターンを測定して、各ギャップセンサー４０の測定点におけるショット毎のオフセット値を決める。ショット毎に、各ギャップセンサー４０の測定値を、各測定点におけるショット毎のオフセット値で補正し、補正後の補正値に基づいて、複数のＺ−チルト機構３０によりマスク２と基板１とのギャップ合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】検査作業者の技量にかかわらず、圧着端子を精度よく検査できる、圧着端子検査装置および圧着端子検査方法を提供する。
【解決手段】圧着端子３の検査時には、検査作業者により、圧着端子検査装置１の端子配置部に圧着端子３が配置されて、圧着端子３が延伸方向に延びる軸線を中心に揺動される。この揺動中に、ハイト測定用エリアイメージセンサ１４の撮像面１４１への圧着端子３の投影における第１測定位置Ｐｉおよび第２測定位置ＰｗでのＹ軸方向寸法Ｙｉ，Ｙｗが測定される。そして、Ｙ軸方向寸法Ｙｗの極小値Ｙｗ_minが圧着端子３のワイヤバレル部３２のクリンプハイトＨｗとして取得される。 （もっと読む）

【課題】搬送中の長尺材の長さを精度よく測定することができる長さ測定装置を提供する。
【解決手段】長さ検出装置１は、搬送ライン２の搬送方向上流側に設けられた通過検出部３と、搬送方向下流側に設けられた位置検出部４と、長尺材の長さを算出する算出部５と、演算部５等を制御する制御部６を備えている。通過検出部３は、搬送ライン２に向けて投光する複数の通過投光部３１と、搬送ライン２を挟んで通過投光部３１と対向して設けられた複数の通過受光部３２とをセットで具備している。位置検出部４は、搬送方向にほぼ直交する光を搬送ライン２に向けて投光し、該光を該搬送方向に平行走査する投光部４１と、該投光部４１と搬送ライン２を挟んで対向し、該投光部４１からの光を受光する受光部４２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】計測結果が計測対象物のどの部分のどの計測結果であるのかを使用者が的確に把握することができる画像計測装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】撮像手段で取得した計測対象物の画像を表示し、表示された画像上で特徴画像、及び計測位置の指定を受け付ける。指定を受け付けた特徴画像と、計測位置及び該計測位置を示す寸法線の表示位置を表す、特徴画像に対する相対位置に関する情報とを記憶しておく。新たに取得した計測対象物の画像と記憶してある特徴画像とを照合し、計測対象物の画像の姿勢及び位置に関する情報を特定する。姿勢及び位置が特定された計測対象物の画像に対して計測位置を設定し、該計測位置のエッジ部分を検出して、所定の物理量を計測する。記憶された寸法線を表示する特徴画像に対する相対位置に関する情報に基づいて、計測位置を示す寸法線及び計測結果を所定の位置に表示する。 （もっと読む）