【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】ゴム試験片の接触面形状を得るとともに接触面内の歪み分布を算出することで、ゴム試験片の摩擦摩耗特性を適切に評価できるゴム摩擦試験方法及びゴム摩擦試験装置を提供する。
【解決手段】本発明のゴム摩擦試験方法は、ドーナツ状のゴム試験片１の外周面１１に画像解析用パターン１３を形成するパターン形成工程と、ゴム試験片１の外周面１１を、円筒部２１が透明材料で形成された回転式ドラム２に接触させつつ、ゴム試験片１及び回転式ドラム２を回転させる摩擦試験工程と、摩擦試験工程と同時に、外周面１１を円筒部２１を通して撮影して外周面画像１１Ｐを取得する画像取得工程と、取得した外周面画像１１Ｐからゴム試験片１の接触面形状を得るとともに、外周面画像１１Ｐに含まれる画像解析用パターン１３に基いてゴム試験片１の接触面内の歪み分布を算出することにより、ゴム試験片１の摩擦摩耗特性を評価する評価工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度（直交位相）異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、９０度異なる２つの干渉出力値ｉ１、ｉ２を得て、その参照光と計測光の値ｒ、ｓとから、参照光と計測光の位相差をθとして、２つの余弦値ｃｏｓθ１、ｃｏｓθ２を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ１、θ２を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±９０度（半波長）を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】下水圧送管路内に走行させて堆積物等を除去する洗浄用ピグの走行位置を検出する場合、管路途中でピグが停止した場合は、その位置を正確に検出することが出来なかった。
【解決手段】下水圧送管路１の内壁面に、管路内を走行する洗浄用ピグ７が接触するようにセンサ用光ファイバ２を配設し、光学式温度センサ本体３からセンサ用光ファイバ２にパルス光を入射させ、センサ用光ファイバから出射される後方散乱光を測定系に導いてセンサ用光ファイバの長手方向の温度を測定し、ディスプレイ装置５に測定した温度情報を監視画面６として表示する。走行する洗浄用ピグ７がセンサ用光ファイバ２に接触して生じる摩擦により発生した熱の温度を光学式温度センサ本体で測定することにより、洗浄用ピグ７の走行位置を監視する。 （もっと読む）

【課題】所望位置へ簡単に配置でき安価に実施できるうえ、コンクリート構造物の歪や温度等を簡単に且つ正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(１)は、光ファイバ(２)と、その周囲に配置された連続繊維(３)と、連続繊維(３)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(２)は、長さ方向の中間部が、連続繊維(３)で製紐された紐体(５)により被覆してある。光ファイバ(２)には、紐体(５)で覆われた部位に１又は複数のＦＢＧ(９)が形成してある。光ファイバ(２)の端部をコンクリート構造物(14)の表面に取り出した状態で、コンクリート構造物(14)の内部に、光ファイバセンサ(１)の中間部を一体的に埋設する。取り出された光ファイバ(２)の端部に測定器(15)を接続して、コンクリート構造物(14)の歪や温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】保持部材の第１の方向のたわみを検出する。
【解決手段】第１のイメージセンサは、中間転写ベルトの裏面に形成されたラダーパターンチャートの濃度を測定する。記憶部は、第１のイメージセンサと中間転写ベルトの裏面との間の距離と、この第１のイメージセンサの測定に係るラダーパターンチャートのコントラストとの対応関係を示す第１の関数を記憶する。制御部は、第１のイメージセンサにより測定されたラダーパターンチャートの濃度を用いて、ラダーパターンチャートにおいて隣り合う白領域と黒領域とのコントラストを算出する。制御部は、記憶部に記憶された第１の関数を用いて、算出されたコントラストに対応する距離を特定し、特定した距離を上述した白領域及び黒領域と中間転写ベルトの裏面との間の距離として用いて、中間転写ベルトの幅方向のたわみを検出する。 （もっと読む）

【課題】複数の検出用導光部材に光を好適に分配し得る光学式センサを提供する。
【解決手段】光学式センサは、光源１０と、光源１０に光学的に結合された光ファイバー２０と、光ファイバー束４０と、光ファイバー２０から光ファイバー束４０に光を分配する光分配部３０と、光ファイバー束４０によって導光された光を分離して検出する光分離検出器５０を有している。光ファイバー束４０は、複数の光ファイバー４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ，４１Ｆを有している。光ファイバー４１Ａ〜４１Ｆは、それぞれ、物理化学状態に応じて光学特性が変化する特性検出部４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄ，４２Ｅ，４２Ｆを有している。 （もっと読む）

【課題】所望位置へ簡単に配設でき安価に実施できるうえ、配管など被測定物の歪や温度等を長期にわたって正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(１)は、光ファイバ(２)と、その周囲に配置された連続繊維(３)と、連続繊維(３)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(２)は、中間部を連続繊維(３)で製紐された筒状の紐体(５)内に収容してある。紐体(５)の内周長は光ファイバ(２)の外周長よりも長く、一部が光ファイバ(２)の外周面に当接され、残部が紐体(５)の内周面同士で互いに当接してある。紐体(５)の外周面に、紐体(５)の長さ方向に延びた着座面(16)が形成してある。着座面(16)を被測定物(14)の表面へ当接した状態で、固定部材(17)で光ファイバセンサ(１)を被測定物(14)側へ押圧して固定する。光ファイバ(２)の端部に測定器(15)を接続して、被測定物(14)の歪や温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】樹脂硬化に伴う樹脂の収縮は、接着部材のずれ、ゆがみ、片方の外れ、接着不良等の不具合が発生する場合がある。精密部品や光学部品の固定には小さな収縮率でも、光軸のずれなどが起りトラブルの原因となっている。
【解決手段】接着用樹脂を硬化させながら、その収縮を測定することにより樹脂の収縮率を把握する。収縮率が把握できると、あらかじめ樹脂収縮を加味して部品配置の設計が可能となる。また、原因を推察する上での基礎資料となり、トラブル解消が短縮される。 （もっと読む）

【課題】鏡面性を持つ試料の各位置の高さを正確に求めることができる技術を提供する。
【解決手段】撮像部２は、例えば所定のフレームレートで、試料Ｓの画像である試料画像を撮像する。輝線抽出部は、撮像部２により順次に撮像された試料画像から輝線を抽出し、所定の基準高さ及び基準傾きを示す基準輝線に対する各輝線のずれｗ（ｘ）を求める。高さ算出部は、ｗ（ｘ）＝２Ｌ・（ｄ／ｄｘ）・ｄ（ｘ）＋２ｓｉｎθ・ｄ（ｘ）に、輝線抽出部により抽出された輝線のずれｗ（ｘ）を代入することで、基準高さからの試料Ｓの高さｄ（ｘ）を順次に算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の寿命に影響する熱歪（拘束歪）を容易に測定する。
【解決手段】歪測定装置は、コンピュータ１と、測定対象物の第１ステレオ画像ＰＳ１を生成する第１ステレオカメラ２と、第１ステレオカメラ２と離間した位置に配設され、測定対象物５の第２ステレオ画像ＰＳ２を生成する第２ステレオカメラ３と、測定対象物の温度分布を検出するサーモビュア４と、を備える。また、コンピュータ１は、第１ステレオ画像ＰＳ１及び第２ステレオ画像ＰＳ２から測定対象物の三次元形状を求めて、実歪εｃ（ｉ，ｊ）を求める実歪算出部１２と、サーモビュア４によって検出された温度分布から熱自由歪εｔ（ｉ，ｊ）を求める熱自由歪算出部１７と、実歪εｃ（ｉ，ｊ）から熱自由歪εｔ（ｉ，ｊ）を減じた差を、拘束歪εｒ（ｉ，ｊ）として求める拘束歪算出部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１００の表面の欠陥を検査する表面検査装置３００と、この表面検査装置３００に対するウェハ１００の搬送路に設けたウェハステージ２１０と、このウェハステージ２１０上のウェハ１００のエッジ部を検査するエッジ検査部５３０と、このエッジ検査部５３０を当該エッジ検査部５３０の光軸に沿って移動させる移動装置６５０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置における改良型測定システムを提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成できるパターニングデバイスを支持する支持体と、基板を支持する基板テーブルと、パターン付放射ビームを基板のターゲット部分上に投影する投影システムと、測定システムであって、測定放射ビームを提供する測定放射システムと、リフレクタ間で測定ビームの一部分を反射する少なくとも２つのリフレクタと、リフレクタの１つを通して伝送される測定ビームの少なくとも一部分の波長を検出するディテクタとを備える測定システムと、を含む。 （もっと読む）

【課題】低コストで広い温度範囲に対応させることを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ひずみ量計測システム１０は、計測用ＦＢＧ２１が設けられた第１の光ファイバ１１と基準波長反射用ＦＢＧ２２が設けられた第２の光ファイバ１２とを備えており、第１の光ファイバ１１と第２の光ファイバ１２とは、被計測部Ｗａに固定された計測用ＦＢＧ２１の反射光を、固定用治具部材Ｗｂに固定された基準波長反射用ＦＢＧ２２に入射可能となるように接続されている。計測用ＦＢＧ２１と基準波長反射用ＦＢＧ２２とは同様の格子間隔に加工されており、被計測部Ｗａと固定用治具部材Ｗｂとは、同じ材料から形成されている。また、光源１３は広帯域の光を計測用ＦＢＧ２１に入射し、計測機１５は、基準波長反射用ＦＢＧ２２の反射光の総光量に基づいて被計測部Ｗａのひずみ量を計測する。 （もっと読む）

【課題】基板上にソルダーペーストを印刷するスキージのスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することの可能な技術を提供する。
【解決手段】透明な平板材と、平板材の上面に接するようにスキージを保持し、スキージを平板材の上面に沿ってスキージングさせるスキージ駆動手段と、平板材の下方に配置されており、スキージング中のスキージを、平板材を透して撮像する撮像手段と、を備える。スキージのうち、スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】複合構造物の健全性を監視するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】複合構造物１０は、複合材料及び複合材料内に配置された光ファイバー１６を含む。光ファイバー１６は、光ファイバー１６の非線形光学特性を高める複数の量子ドット１８を含む。量子ドット１８はコア内、金属被覆内、及び／又は光ファイバー１６の表面上に配置することができる。光ファイバー１６は、信号の伝播を支援し、複合材料内の欠陥を検出するように構成されている。量子ドット１８は、複合材料内の欠陥に応じて、二次効果などの非線形効果を引き起こす。量子ドット１８によってもたらされる非線形効果を含む信号の検出及び解析に基づいて、複合材料内の欠陥が検出されうる。 （もっと読む）

【課題】広帯域光源またはレーザ光でひずみ信号及びAE信号を計測し得るFBGセンサの計測方法及び計測装置を提供する。
【解決手段】FBGセンサ１１に光を入力する広帯域光源１３及び光ファイバアンプ１４と、FBGセンサ１１からの光を切替可能にする第一の光スイッチ１６と、一方の光を光ファイバアンプ１４に戻すアンプ側の光カプラ１７と、第一の光スイッチ１６の光とアンプ側の光カプラ１７の光とを選択的に入射させる第二の光スイッチ１８と、第二の光スイッチ１８からの光を分割する計測側の光カプラ２０と、計測側の光カプラ２０で分割した一方の光を計測するブラッグ波長計測手段２１と、計測側の光カプラ２０で分割した他方の光を計測するAE計測用の光電変換器２２とを備え、広帯域光源１３と、光ファイバアンプ１４のファイバリングレーザを選択可能にする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、ひずみセンサの構築に際して、ＦＢＧの多重化に時間多重化方式を用いたＦＢＧ光ファイバセンシング技術を使用して構築し、ＦＢＧ光ファイバ型ひずみセンサを高密度に配置することが出来るセンサとなし、もって高密度のひずみ分布を詳細に、正確に計測できるひずみセンサを提供することを目的とする。
【構成】複数のＦＢＧにつき所定間隔をあけて１本の光ファイバ上に配置した１本のセンサ本線を複数本用意し、複数本のセンサ本線を長手方向に向かい平行に並べると共に、いずれかのセンサ本線に配置されたＦＢＧと、該ＦＢＧに隣り合う他のいずれかのセンサ本線に配置されたＦＢＧとの間隔を任意の間隔で密になしえ、密な間隔で配置されたＦＢＧについてそれぞれひずみ計測を可能とした、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】トンネルをはじめとした構造物の内空変位を計測し、該構造物の変状を監視する技術を提供すること。とくに工事中のトンネルや地下鉱山のトンネルのように粉塵が浮遊している空間に対しても、広範囲にわたって内空変位を計測しモニタリングできる方法を提供すること。

【解決手段】計測対象となる構造物の内側に内空変位センサである梁の一端を固定し、当該梁の表面にひずみ計測が可能な装置を設置し、当該装置により計測されたひずみから、当該構造物の鉛直方向および水平方向の変位を算出する構造物内空変位計測方法
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