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Fターム[2F065BB17]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 対象物−形態;性質 (11,481) | 多層構造のもの (221)

Fターム[2F065BB17]に分類される特許

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【課題】異方性繊維シートが柄の無いものであっても、繊維配向方向および/または輪郭を正確に評価する。
【解決手段】異方性繊維シートの一部分を照射する光源と、前記異方性繊維シート表面を撮像する撮像手段とを用いて、前記撮像手段を、前記異方性繊維シートの輪郭の少なくとも一部が、前記撮像手段の撮像視野に含まれるように配置し、前記異方性繊維シート表面を近似する平面に対し平行になるように光源を移動して、前記撮像視野の前記異方性繊維シート上を移動する明部を連続的に撮像すると共に、前記撮像視野の前記異方性繊維シート上を移動する明部の軌跡を検出し、検出した前記明部の軌跡から該異方性繊維シートの繊維配向方向を判別すると共に、前記明部の移動領域内での不連続部分を検出することで前記撮像撮像視野に含まれる前記異方性繊維シートの輪郭を検知する異方性繊維シートの繊維配向方向および輪郭の評価方法。 (もっと読む)


【課題】スループットの低下を防止しつつ重ね合わせ精度等の処理精度を向上させることができる処理方法及び処理装置、並びに当該処理装置で用いられるプログラムを提供する。
【解決手段】露光装置2a,2bは、ネットワークNを介して相互に接続されており、歪シリコンからなる領域が部分的に形成されたウェハの処理を行う。露光装置2bは、ウェハに形成された位置計測用のアライメントマークを全て計測し、上記の歪シリコンが形成された領域に起因して生ずる局所的な歪み情報を得る。また、この歪み情報から、露光装置2aで計測すべきアライメントマークを求める。露光装置2aは、露光装置2bで求められたアライメントマークの計測を行い、この計測結果を用いてウェハの露光を行う。 (もっと読む)


【課題】凸部が表面に形成されたフィルムを巻いて形成されるロール状体について、隣接するフィルム間のギャップを検査員の主観を排除して計測する。
【解決手段】計測対象2(ロール状体)に照射光を当てる照明光源8と、上記照射光により生成され、計測対象2の端面から出射する出射光により形成される原画像を取得する画像センサ10と、上記原画像において生じる、上記フィルムと、隣接するフィルム同士のギャップとのコントラスト差に基づき、上記ギャップを計測するPC12とを備えている。 (もっと読む)


【課題】機能性樹脂フィルムや情報電子材料の多層薄膜のより薄い膜厚を一層高精度に且つ瞬時に非破壊で測定できる多層薄膜の膜厚測定方法および膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】多層薄膜の膜厚測定方法は、多層薄膜を有する試料(7)に白色光を照射し、試料(7)から得られる反射光または透過光を分光すると共に、得られたスペクトルを周波数信号に変換した後、ウェブレット処理を行うことにより、干渉信号のみを選択し、次いで、干渉信号に間引き処理を行った後、周波数解析処理を行うことにより、薄膜の膜厚を検出する。また、膜厚測定装置は、光源(1)、照射用光ファイバー(2)、受光用光ファイバー(3)、分光器(4)、マルチチャネルディテクタ(5)、および、上記の処理を行う演算処理手段(6)から成る。 (もっと読む)


【課題】 検出対象のパラメータを簡単に、正確に検出することができる検出対象のパラメータ検出方法及び検出装置を提供する。
【解決手段】 検光子13の透過軸方向が入射面に対して任の角度ω傾き、偏光子11の透過軸方向が入射面に対して0°及び90°傾いている時の透過光強度に基づいて比rを求める。また、検光子13の透過軸方向が入射面に対して任意の角度ω傾き、偏光子11の透過軸方向が入射面に対して任意の角度α傾いている時の透過光強度を、相異なる少なくとも2つ以上のωとαの組み合わせに対して検出する。そして、検出した複数の透過光強度と比rに基づいて検出対象12のリタデーションや厚さを求める。 (もっと読む)


【課題】有機EL素子のガラス基板へ光を照射して、有機膜の特性を解析する。
【解決手段】試料解析装置1は、ガラス基板51が上側となるようにステージ4に有機EL素子50を載置し、ガラス基板51へ向けて光を照射して有機EL素子50に係る振幅比及び位相差を測定する。また、試料解析装置1は、照射した光の反射光K1〜K3に応じた構造のモデルを選択し、選択したモデルから振幅比及び位相差を有機EL素子50の空間60の厚み寸法に応じて第1演算処理又は第2演算処理で求める。試料解析装置1は測定した結果及びモデルから演算により求めた結果を比較してフィッティングを適宜行うことで、いくつかのモデルの中からベストモデルを決定し、有機EL素子50に係る特性を解析する。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェーハの表面に存在する欠陥の検出を、安定して高感度で行うことができるようにする。
【解決手段】半導体ウェーハの表面を観察して欠陥の長手方向を特定する長手方向特定工程と、長手方向特定工程で特定された欠陥の長手方向に沿って、光を走査することにより、半導体ウェーハ表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出工程とを行う。 (もっと読む)


【課題】表面に薄膜が形成されている基板上の異物の検査を精度良く行う。
【解決手段】ウエハW表面にArレーザー4を照射し、反射光に含まれる散乱光強度を測定する。同じ位置にHe−Neレーザー3を照射して、その反射光をフォトダイオード33に入射させ、ウエハW表面に形成されている薄膜の屈折率と膜厚を測定する。屈折率と膜厚の測定値で、異物と判定する散乱光強度の閾値を補正し、この補正された閾値に基づいて散乱光強度の検出値から異物の判定を行う。 (もっと読む)


【課題】少なくとも第一誘電体層、記録層、第二誘電体層、反射層をこの順又は逆順に有する光記録媒体の製造過程において、記録層の膜厚が所定の範囲から外れた不良媒体の、シンプルかつ低コストな検査方法の提供。
【解決手段】基板上に、少なくとも第一誘電体層、記録層、第二誘電体層、反射層をこの順又は逆順に有する光記録媒体の製造過程において、基板上に前記各層を積層した後、第一誘電体層側から赤外線を照射してその反射強度を測定し、該赤外線反射強度の測定値と、目標とする所定の記録層膜厚範囲における赤外線反射強度を予め調べて設定した基準赤外線反射強度とを対比することにより、記録層の膜厚の異常を検知することを特徴とする光記録媒体の検査方法。
(2)赤外線の波長が900〜1100nmである(1)記載の光記録媒体の検査方法。 (もっと読む)


【課題】 被検物の表面に形成されている薄膜の種類や膜厚に拘わらず、良好な焦点検出を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 予め定めた複数の異なる波長域のうち少なくとも1つの波長域を選択し、該波長域の光を焦点検出用の照明光として被検物30に照射する照明手段(15〜22,12)と、照明光が照射されたときに被検物からの反射光を受光し、該被検物の焦点位置を検出する検出手段(12,21,20,23,25)と、照明手段による波長域の選択を制御し、複数の異なる波長域のうち反射光の強度が所定値以上となる波長域を、焦点検出用の照明光の波長域として選択させる制御手段25とを備える。 (もっと読む)


【課題】欠陥の検査を短時間で精度良く行うことができる金属箔張り積層板の検査装置を提供する。
【解決手段】金属箔張り積層板1の表面の打痕、キズ、ピンホール、シワなどの欠陥2の有無を判定するための装置に関する。金属箔張り積層板1の表面を撮像するためのカメラ3と、カメラ3の撮像により得られた画像に基づいて欠陥2の有無を判定するためのリファレンス部5とを備える。リファレンス部5には、検査対象の金属箔張り積層板1に形成する予定の回路パターン6の設計データが入力される。この設計データに基づいて回路パターン6を包含する検査エリア7が設定される。リファレンス部5にはカメラ3で撮像された金属箔張り積層板1の表面の画像のうち検査エリア7に相当する部分のみの画像4が入力される。この画像に基づいて欠陥2の有無が判定される。 (もっと読む)


【課題】光学的な情報に基づいて測定対象物に応じて測定画素を識別し、測定ヘッドを移動させることができる画素内膜厚測定装置を提供すること。
【解決手段】基板上にパターニングされた薄膜が形成された試料表面に光を照射し、試料からの反射光を取得する測定ヘッドと、反射光を測定して分光反射率データを得る分光器と、分光反射率データから薄膜の膜厚を算出する膜厚算出部とを有する膜厚測定装置であって、前記測定ヘッドは、膜厚測定対象となる画素を識別するための光を照射する観察用照明光学手段と、識別された画素に膜厚測定用の光を照射する測定用照明光学手段と、画素内からの反射光を一定の割合で2分岐するビームスプリッターと、観察用照明光学手段の反射光を撮像する撮像手段と、反射光を前記分光器と撮像手段の受光素子上に結像させる結像光学手段と、を有する画素内膜厚測定装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】球面収差の影響を取り除き、また界面の溝構造の影響も受けない条件で測定を行うことで、複数の界面を持ち、少なくとも1つの界面が周期性を持った同心円状の溝構造を有する被測定物の界面の位置を高精度に測定することができる界面の位置測定方法を提供する。
【解決手段】光源から出射した直線偏光の光を、対物レンズを介して被測定物に集光し、光軸方向に対物レンズと被測定物との相対距離を変化させて、その時々の被測定物からの反射光を検出器で受光し、検出した受光ピークに基づいて、複数の界面を持つ透明な被測定物の界面の位置を求めるに際し、光の収差を補正して、被測定物の界面の位置測定を行う。 (もっと読む)



【課題】エリプソメータを用いて薄膜評価を行うために使用される薄膜評価用基準基板及び薄膜評価方法を提供する。
【解決手段】エリプソメータを用いて薄膜評価を行うために使用される薄膜評価用基準基板であって、着色成分を含有する結晶化ガラスにより形成されることを特徴とする薄膜評価用基準基板とその基準基板を用いた薄膜評価方法であり、前記結晶化ガラスの主結晶として、Li2O・2SiO2を含有したり、前記着色成分としてCo、Cr、Ni及びMnの全てを含有し、前記Co、Cr、Niは酸化物CoO、Cr23、NiOとして各々0.3〜1.0重量%含有されており、前記Mnは酸化物MnO2として1.5〜2.5重量%含有されている場合や、前記薄膜評価用基準基板の表面の中心線平均粗さが2.0nm以下を満たすことがある。 (もっと読む)


【課題】複数の界面を持つ光透過性のある被測定物の各界面の位置を測定する。
【解決手段】白色光源からの光を参照面および被測定物に照射して反射光を干渉させ、参照面を移動させたときの干渉縞を撮像し、界面を1つもつ基準面による干渉強度信号から直流成分を減じたスペクトルの複素共役データと、被測定物の複数の界面による干渉距度信号から直流成分を減じたスペクトルの積をとり逆フーリエ変換し相関を求めることで被測定物の界面の位置を求められる。 (もっと読む)


【課題】物品表面が劣化しても容易且つ高精度に真正を確認することのできる物品確認装置、物品確認方法及び物品確認プログラムの提供。
【解決手段】光源部22により照明されたカード表面の所定領域を、カメラ24により撮像して当該物品表面の再現不能な微細な特徴を含む特徴画像を示す画像情報を取得し、この画像情報を前記物品の特徴情報として外部記憶装置34に記憶しておき、前記物品が真正であるか否かを判定する際に、CPU12により、当該物品表面の前記所定領域における前記画像情報を確認用情報としてカメラ24により取得し、取得した前記確認用情報と外部記憶装置34により記憶されている前記特徴情報とのパターンマッチングにより前記特徴画像が同一か否かを判定し、同一であると判定した場合に外部記憶装置34により記憶されている前記特徴情報を前記確認用情報に更新する。 (もっと読む)


【課題】 薄膜膜厚計測方法及び薄膜膜厚計測装置に関し、数100nm以下の薄膜の膜厚或いは膜厚分布を簡単な構成で精度良く測定する。
【解決手段】 薄膜からの光の反射角度ごとに光の強度を複数の波長帯成分に分離して取得し、取得した光強度の各波長帯成分から各波長帯成分ごとの反射角度特性を取得し、次いで、取得した反射角度特性と予め取得しておいた別の反射角度特性との間で各波長帯成分ごとの類似度を表す相関係数を求め、各波長帯成分ごとの相関係数の積の最大値から薄膜の膜厚を決定する。 (もっと読む)


【課題】偽造媒体の作成を困難にすると共に、容易且つ高精度に物品の真贋を確認することができる物品確認装置を提供する。
【解決手段】カード等の物品40を登録するときに、照明光の方向及び撮像方向の少なくとも一方を異ならせて基準の物品表面の再現不能な微細な特徴を含む特徴画像を同一撮像範囲50について複数個撮像し、該撮像した複数個の特徴画像または該撮像された複数個の特徴画像に含まれる特徴情報を該複数個の特徴画像毎に登録する。確認対象の物品が登録された基準の物品か否かを確認するときには、確認対象の物品表面の特徴画像を、基準の物品を撮像したときと同じ条件で複数個撮像し、該撮像した複数個の特徴画像と基準の物品の複数個の特徴画像とを比較した結果、または該撮像された複数個の特徴画像に含まれる特徴と基準の物品の複数個の特徴画像に含まれる特徴との比較結果に基づいて、確認対象の物品が基準の物品であるか否かを判定する。 (もっと読む)


【課題】 最上層を検査する装置条件(検査条件)を容易に設定可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る表面検査装置1は、ウェハ100に照明光を照射する照明機構部10と、照明光が照射されたウェハ100の像を撮像する撮像機構部19と、ウェハ100の表面の一部を変化させる溶剤供給手段30と、ウェハ100において溶剤供給手段30により変化した部分を撮像可能な条件で撮像したウェハ100の画像からウェハ100を検査する画像処理検査装置25とを有している。 (もっと読む)


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