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Fターム[2F065BB17]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 対象物−形態;性質 (11,481) | 多層構造のもの (221)

Fターム[2F065BB17]に分類される特許

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【課題】貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ50と、照明手段51と、照明手段51により照明がなされている状態で貼り合せ板状体10を走査するラインセンサカメラ50から出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、処理ユニットは、映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、検査画像情報から得られる第1板状体11の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、検査ライン上での第1板状体11の縁端と接着剤13の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する。 (もっと読む)


【課題】着用物の種別に関わらず身体との間の空隙量を正確に測定することのできる空隙量測定装置及び空隙量測定方法を提供すること。
【解決手段】空隙量測定装置1は、人体模型20を載置する台座部12及び測定対象物に対してレーザー光を投光することで当該測定対象物までの距離を測定するセンサ部11を備える距離測定装置10と、センサ部11のレーザー光を透過する部材で構成され、上部が開口するとともにその内部が空洞状に形成された人体模型20と、距離測定装置10が測定した距離から着用物と人体模型との間の空隙量を算出する演算装置30と、を備える。このとき、センサ部11は、人体模型20の内部から当該人体模型20に着用された着用物の着用面に対してレーザー光を投光することで着用面までの距離を測定し、演算装置30は、着用物の着用面までの距離から空隙量を算出する。 (もっと読む)


【課題】コントラストの高いパターン画像の表示を低コストにて実現する。
【解決手段】パターン画像表示装置の画像取得部13は、光照射部131、ラインセンサ132、角度変更機構、および、表示対象であるガラス基板9を移動する移動機構を備える。光照射部131からは、ガラス基板9の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部131からの光の照射角θ1およびラインセンサ132により撮像が行われる検出角θ2は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン画像表示装置では、予め画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてコントラストの高い画像をラインセンサ132により取得し、ディスプレイに表示することができ、パターン画像表示装置の製造コストも削減することができる。 (もっと読む)


【課題】被解析試料の巨視的な動きを伴った場合であっても材料や構造物などの被解析試料の微視的な領域の力学挙動を簡便に解析可能な新規な力学挙動解析システム、及び力学挙動解析方法を提供する。
【解決手段】力学挙動解析システムは、被解析試料の解析表面を少なくとも被覆し、変形自在であって、かつ、被解析試料側の少なくとも表層に所定の周期構造が形成されている表面ラベルグレーティング膜及び被解析試料からなるサンプル60と、スポット光であるプローブ光を入射する照射手段20と、表面ラベルグレーティング膜からの回折光を検出する受光手段30と、被解析試料と受光手段との距離を検出する距離検出手段70と、回折角のデータを保持する記憶手段14と、記憶手段14に保持された複数の前記回折角のデータから、回折格子の周期構造変化を算出し、当該周期構造変化から被解析試料の力学挙動を解析する解析手段13と、を具備する。 (もっと読む)



【課題】 曲面を有する膜厚を正確に計測する。
【解決手段】 膜厚の検査装置は、テラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生器15と、前記テラヘルツ波を、膜が形成された試料に照射させる照射光学系16、17と、前記試料において反射したテラヘルツ波を検出し、検出信号を出力するテラヘルツ波検出器22と、前記試料の反射面の形状情報に基づき、当該反射面から前記テラヘルツ波検出器に至るまでの反射波の電場強度を参照信号として算出し、前記参照信号を用いて前記検出信号を補正する制御装置5を備える。 (もっと読む)


【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥を検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像工程により被検査物を撮像し、エッジ検出工程により得られた画像データに基づいて、構造パターンの外周形状であるエッジを検出し、ライン検出工程により、エッジの最外周画素の集合であるラインを検出し、構造ライン取得工程によりエッジが境界となる複数の構造パターンに対してそれぞれに接するラインである構造ラインを取得し、エッジ幅取得工程により2つの異なる構造ライン間の距離をエッジ幅として取得し、平均エッジ幅算出工程により同じ構造ライン上の任意の2点を始点及び終点として設定し、始点から終点までの平均エッジ幅を取得する。そして、欠陥検出工程により、平均エッジ幅とエッジ幅とを比較し欠陥を検出する。 (もっと読む)


【課題】オーバーレイ測定、非対称性測定、およびインダイオーバーレイターゲットの再構築を可能にする。
【解決手段】四分くさび光デバイス(QW)は、基板から散乱した放射の回折次数を別々に再誘導し、第1方向および第2方向の各々に沿って照明から回折次数を分離する。例えば、0次(0、0’)および1次(−1、+1’)を、各入射方向について分離する。マルチモードファイバ(MF)での捕捉の後、スペクトロメータ(S1−S4)を使用して波長(I0’(λ)、I(λ)、I+1’(λ)、およびI−1(λ))の関数としての空間的に再誘導された回折次数の強度を測定する。そして、これをオーバーレイエラーの計算、または単一格子の非対称パラメータの再構築に用いる。 (もっと読む)


【課題】基板表面に薄膜を形成する基板処理で、処理の進行具合をリアルタイムで把握して処理の終了時点を精度よく検出できる方法を提供すること。
【解決手段】基板1上に絶縁膜2を形成する基板処理装置10であって、絶縁膜2を波長可変単色光sで照射し、絶縁膜2および基板1からの各反射光を干渉させる干渉光発生手段12と、所望膜厚での干渉光強度Iが極小になるように単色光sの基準波長λを設定する基準波長設定部28と、基準波長を挟む2波長(λ、λ)間で単色光sを波長変調する変調部26と、これに応じた干渉光強度Iを検出する干渉光検出器18と、絶縁膜2が所望膜厚に達する直前から所望膜厚に達するまでの干渉光強度Iの変化に基づいて、最大波長(λ)時と最小波長(λ)時の干渉光強度の差分ΔIが零または所定値になる時点を基板処理の終了時点として検出する終了時点検出手段20とを備える。 (もっと読む)


【課題】光学マルチ波長インターフェロメトリーを使用した薄膜素子測定方法の提供。
【解決手段】光学マルチ波長インターフェロメトリー使用の薄膜素子測定方法が開示される。本発明は異なる波長での薄膜の反射係数を使用して薄膜の厚さと光学定数を測定する。試験表面と参考表面の間の反射位相差由来の位相差は異なる波長での測定を行うことで参考光束と試験光束の間の空間経路差に由来する位相差と区別され、なぜならそれらは測定波長変化に伴い異なった変化を示すためである。反射位相がそれから得られる。薄膜の測定反射率と結合され、薄膜の反射係数が得られる。各点の反射係数が収集され、該薄膜の厚さと2次元の光学定数分布が計算される。表面輪郭が、参考光束と私見光束の間の空間経路差を通して知られる。これらは動的干渉計で測定されて振動影響が回避される。 (もっと読む)


【課題】回転工具の形状と性状を同時に測定する方法を提供する。
【解決手段】画像記憶部107は、回転する物体を撮影した画像を記憶する。画像処理部108は、一の撮影した画像の輝度値と他の撮影した画像の輝度値を画素毎に比較して輝度値画像を生成する。また、画像処理部108は、基準となる形状を示す基準画像の輝度値と輝度値画像の輝度値との差分に基づいて差分画像を生成する。性状算出部110は、差分画像に基づいて物体の性状を示す性状変数を算出する。 (もっと読む)


【課題】第mの加工位置と第nの加工位置とのずれを精度よく計測することのできる加工位置の計測方法の提供を目的とする。
【解決手段】加工位置の計測方法は、第mの加工を施すとともに、第mのマーク26、及び、基準寸法を示す基準マーク29を形成し(S2)、第nの加工を施すとともに、第nのマーク27を形成し(S7)と、第mのマーク26及び第nのマーク27の相対的位置を測定するとともに、測定した基準寸法L1と基準寸法L0との比にもとづいて、第mのマーク26と第nのマーク27との相対的位置を補正し、第mの加工位置と第nの加工位置との加工位置のずれを計測する(S9)方法としてある。 (もっと読む)


【課題】積層弾性体の変形測定時に変形量の測定が容易な積層支持体と、この積層支持体を用いた変形測定方法を得る。
【解決手段】積層支持体12の積層弾性体16は、金属板18とゴム板20とが積層方向Sに交互に積層されて構成されており、これらの外側端面を周囲から被覆する被覆ゴム22を有する。被覆ゴム22の外周面は、変形測定用に粗面化処理され、測定用マーキング26が施されている。 (もっと読む)


【課題】各層の膜厚測定を可能にする積層体、その積層体の製造方法、及び非破壊非接触で膜厚測定を行いフィルム異常の検査が可能となる膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】複数の層を積層してなる積層体である。複数の層の少なくとも一層に対し、予め設定した位置に空隙を形成した。 (もっと読む)



【課題】複層塗膜の内部構造及び内部欠陥を、非接触非破壊且つ簡便に測定、解析することができる複層塗膜の非接触非破壊評価方法及びそれを用いた装置を提供すること。
【解決手段】本評価方法は、光源1からの光を参照光と複層塗膜4への入射光とに分岐する分岐ステップと、前記参照光の光学距離を調整する調整ステップと、前記複層塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめる干渉ステップと、前記複層塗膜からの前記反射光を含む干渉光を検出して前記干渉光の強度信号を出力する検出ステップと、前記強度信号を解析する解析ステップと、を含む。 (もっと読む)


【課題】複数レイヤ試料の2つのレイヤ間のオーバレイ誤差を決定する方法を提供する。
【解決手段】試料の第1レイヤから形成される第1構造および第2レイヤから形成される第2構造をそれぞれ有する複数の周期的ターゲットについて、光学システムを用い、周期的ターゲットのそれぞれについて光学信号が計測される。第1および第2構造の間には既定義されたオフセットが存在する。散乱計測オーバレイ技術を用いて既定義されたオフセットに基づいて周期的ターゲットからの前記計測された光学信号を分析することによって第1および第2構造間のオーバレイ誤差が決定される。本光学システムは、反射計、偏光計、画像化、干渉計、および/または走査角システムのうちの任意の1つ以上を備える。 (もっと読む)


【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部11、反射光受光部12及び分析部13(エリプソメータ部)と、X線源21、蛍光X線検出部22及び分析部23(X線測定部)と、レーザ光源31、ビームスプリッタ34、ラマン散乱光検出部32及び分析部33(ラマン散乱光測定部)とを備える。試料6に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光X線分析を組み合わせることにより、試料6の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料6が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 (もっと読む)


【課題】 同一の測定対象物について、干渉反射光の光強度分布を繰り返し取得することにより、高精度の膜厚測定を行う干渉膜厚計を提供する。
【解決手段】 検出光を生成する光源と、検出光の参照面による反射光及び測定対象物による反射光からなる干渉反射光L3を生成する干渉光学系と、干渉反射光L3を分光する分光手段と、分光された干渉反射光L3を検出し、波長ごとの光強度分布を取得する光強度分布取得手段と、光強度分布に基づく特性曲線について、空間周波数ごとの特性強度分布を求める特性強度分布算出手段と、タイミングを異ならせて取得した2以上の光強度分布からそれぞれ求められた2以上の特性強度分布を合成する特性強度合成手段と、合成後の特性強度分布に含まれる2以上のピークの空間周波数に基づいて、測定対象物の膜厚を算出する膜厚算出手段により構成される。 (もっと読む)


【課題】超電導線材の欠陥を感度よく検査する
【解決手段】超電導線材の検査装置は、超電導線材(20)の表面(20a)の法線方向に光を照射する青色LED(1)と、超電導線材(20)の表面(20a)の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色LED(2)と、超電導線材(20)からの反射光(B1)を主として受光し、かつ超電導線材(20)からの散乱光(C2)を主として受光するカラーラインセンサ(3)と、カラーラインセンサ(3)にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ(5)とを備えている。 (もっと読む)


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