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Fターム[2F065BB21]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 対象物−形態;性質 (11,481) | 光学的性状 (975)

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透明体 (521)
半透明体 (99)
遮光体 (31)
鏡面 (233)
粗面 (46)

Fターム[2F065BB21]に分類される特許

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【課題】表面形状測定装置の配線系統をできるだけ省き、装置の簡素化を図る。
【解決手段】表面形状測定装置10は、測定対象物12の表面に光を照射する光源14と、測定対象物12の表面上の反射点P1からの反射光を第一の反射光と第二の反射光に分離するビームスプリッタ18と、第一の反射光を反射する第一のミラー20と、第二の反射光を反射する第二のミラー22と、を備えている。さらに、第一のミラー20から反射した第一の反射光及び第二のミラー20から反射した第二の反射光を受光する撮像面30を備える撮像器24を備えている。この撮像器24は、ビームスプリッタ18から第一のミラー20を経由して撮像面30まで到る光路長とビームスプリッタ18から第二のミラー22を経由して撮像面30まで到る光路長とが異なるように配置されている。 (もっと読む)


【課題】表示パネルと光学手段との相対的な位置精度を低コストかつ高速に検出できる、実装精度検査方法及びその検査方法を用いる検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象となる表示装置は、複数の画素群が配列された表示パネルと、画素群から複数のN(Nは2以上の自然数)視点に向けた画像表示を提供するための光学手段と有する。検査装置は、視点毎に異なる画像信号を有する検査パターンを表示装置に出力する画像出力手段と、表示装置から表示された検査画像の境界線分の傾きと位置を抽出する抽出手段とを備え、抽出手段が抽出した傾きと位置に基づいて表示パネルと光学手段との位置精度を検出する。 (もっと読む)


【課題】簡素な回路構成で第1光源と第2光源とを交互に点灯させることのできる光学式位置検出装置、およびかかる光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置10の位置検出用光源装置11では、発光素子12A(第1光源)と発光素子12B(第2光源)とが直列に電気的接続されて光源対121を構成しており、かかる光源対121の両端には定電圧が印加されている。光源駆動回路14は、発光素子12Aと発光素子12Bとの電気的接続個所にパルス信号V1を印加する。このため、パルス信号V1に連動して、発光素子12Aに印加される電圧、および発光素子12Bに印加される電圧が変化するので、1つの信号V1(パルス信号)のみで発光素子12Aと発光素子12Bとを交互に点灯させることができる。 (もっと読む)


【課題】実際の露光条件を適用したときに、多階調フォトマスクが形成する空間像を推測し、多階調フォトマスクを評価することができる多階調フォトマスクの検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の多階調フォトマスクの検査方法は、透明基板上に透光領域、遮光領域、及び半透光領域を含む転写パターンを備えた多階調フォトマスクの検査方法において、前記転写パターンの解像画像を取得し、前記解像画像に処理を施すことによって、前記転写パターンに所定の露光条件を適用したときに形成される空間像を得て、前記空間像により、前記転写パターンの実効透過率分布を得、実効透過率分布に基づいて評価することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】安価な構成で、被検物等の検査を容易に行うことができる干渉計を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計は、ワークWの表面形状によって形成される干渉縞を撮像するCCD31を有する干渉計本体と、CCD31により撮像された干渉縞の画像を表示する表示部70と、表示部70に表示された干渉縞の評価基準となる基準線を含むチャートを表示させるパソコン60とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 一の材料層に透明或いは半透明の材料層が形成されてなる被検物に対し、一回の走査・撮像工程で、その最表層の高さのみならず、それ以外の層の上面(或いは下面)高さをも測定できるようにする。
【解決手段】 記憶装置32から走査画像の読み出しを開始した後、最初に検出した光量ピークに対応して求められる焦点面FSの高さ位置から被検部位の高さを算出する構成の高さ測定装置において、走査画像の読み出し開始後順次検出する光量ピークのうち所定番目以降に検出される光量ピークに対応する焦点面の高さ位置から前記被検部位の高さを算出する。 (もっと読む)


【課題】容易な調整作業によって複数の撮像装置で同じ波長帯の光を受光できる光学フィルタ調整方法およびムラ検査装置を提供する。
【解決手段】薄膜に対して光を照射することによって、当該薄膜の上面および下面でそれぞれ反射する反射光の干渉による像の一部を少なくとも含む第1領域を撮像する。また、第1領域と重複する重複領域を有し、当該重複領域に上記像の一部が少なくとも含まれる第2領域を撮像する。薄膜に照射されてその反射光がそれぞれ撮像されるまでの光路上に第1光学フィルタおよび第2光学フィルタをそれぞれ配置して、特定の波長帯の光を透過させる。それぞれ撮像された重複領域の像を用いて、第1光学フィルタの透過波長帯と第2光学フィルタの透過波長帯との相対的な関係を示すパラメータを算出する。算出されたパラメータに基づいて、第1光学フィルタおよび第2光学フィルタの少なくとも一方の光路に対する傾きを変更する。 (もっと読む)


【課題】短時間のうちに光沢面の表面形状を正確に測定できる形状測定装置およびその形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定装置1は、顕微鏡用試料台16に載置された試料15の表面像を撮像する撮像部25と、撮像部25の撮像光学系の光軸に沿って、撮像光学系を試料15に対して周期的に相対移動させ、移動量を記憶して出力するピエゾ駆動制御装置と、表面像に試料15の表面の凹凸を反映した試料15の表面からの反射光の強度ムラを重ねる二光束干渉対物レンズ14と、ピエゾ駆動制御装置から出力される撮像部25の移動距離値の中、二光束干渉対物レンズ14により反射光の強度ムラが重ねられた表面像を撮像する撮像部25により撮像される複数の表面像の合焦度が最大となる移動距離値に基づいて、試料15の表面の相対高さを演算して試料15の表面形状を求める制御用プロセッサ27とを備える。 (もっと読む)


【課題】本発明は、湾曲した板状体の検査装置及び検査方法に関し、湾曲した板状体の全面を略均一に検査して、その欠陥検出を正確に行うことにある。
【解決手段】複数の曲率を有する湾曲した板状体へ向けて光を照射する光源と、光源と板状体との間に配設され、該光源から板状体へ向けて照射された光を透過・遮断するための所定の明暗パターンが形成されたパターン形成部材と、板状体を反射した光源からの光を受光する受光センサと、を設け、受光センサに受光された光の受光パターンに基づいて板状体を検査する装置において、パターン形成部材に形成された所定の明暗パターンを、受光センサでの受光パターンの間隔周期が該受光センサの分解能に対して所定の下限複数倍から所定の上限複数倍までの範囲内になるように、板状体の曲率に合わせて粗密にする。 (もっと読む)


【課題】精度と信頼性の高い潤滑剤の塗膜状態の測定を行う潤滑剤塗膜計測装置を提供する。
【解決手段】光を一対の物体の接触部分に照射して干渉縞を発生させる光源40と、干渉縞の分光像を発生させる分光器36と、この分光器で発生した分光像を拡大する顕微鏡38と、顕微鏡で拡大された分光像を高速撮影する高速度カメラ34と、高速度カメラを接触部分に沿って移動させる高速度カメラ移動手段46と、高速度カメラから得た高速撮影データに基づいて油膜の状態を計測する演算手段50とを備えている。 (もっと読む)


【課題】窓材に付着するウォッシャ液の位置を正確に検出することができるウォッシャ液付着位置検出方法を提供する。
【解決手段】窓材410に噴射されているウォッシャ液に光を照射しつつ、当該ウォッシャ液を撮像して画像を取得し、窓材410に付着することによりウォッシャ液が画像から消える前の液滴位置を検出する。 (もっと読む)


【課題】鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上の、観察可能なあらゆる場所における、面歪の分布を、測定対象の3次元形状の影響を受けることなく、光学的手段を用いて定量的に、また高速・高精度に測定および評価できる、面歪の測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数種の明暗パタンを切替えて表示することが可能なパタン表示手段と、鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上に写る前記パタン表示手段に表示された複数の明暗パタンの鏡像を、撮影する撮影手段と、撮影された複数の明暗パタンの鏡像画像を画像処理して前記測定対象表面の面歪分布を演算する面歪分布演算手段とを備えたことを特徴とする鏡面乃至半鏡面上の面歪の測定装置において、前記測定対象のマクロ3次元形状を測定するマクロ形状測定手段と、測定されたマクロ3次元形状に基づいて、演算された面歪分布を補正するマクロ形状補正手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】基材に付与されているOVDの圧力跡、基材の波打ち若しくは搬送中の基材のバタツキ又はうねりに影響を受けず、安定してOVDの品質の検査を可能とし、比較的安価なOVDの検査装置の提供及びOVDの検査方法である。
【解決手段】OVD検査装置は、少なくとも基材の一部にOVDが付与された基材において、OVDの付与状態を検査する装置であって、OVDが付与された基材を搬送する搬送手段と、OVDに対してレーザー光を照射する照射手段と、照射手段から照射したレーザー光に対してOVDから反射した反射波を受信し、信号へ変換する受信手段と、受信手段で変換された信号と、あらかじめ定めた閾値とを比較判定する識別手段から成る。 (もっと読む)


【課題】大型の対象物の光沢面の検査に好適なLED照明装置を備えた表面検査装置を提供すること。
【解決手段】表面検査装置は、LEDを使用した照明装置11、対象物の表面に写り込んだ照明装置11の発光面を撮影するためのカメラ12、カメラ12を任意の位置および方向に移動可能なロボットアーム10、ロボットアームを予め定められた経路に従って移動させ、カメラによる撮影の指示を繰り返すシーケンサ、カメラにより撮影された画像を取り込み、傷を検出して位置を表示するするコントローラを備える。照明にLEDを使用することにより、発光面の面積が広く、広い面積に渡ってむらが少なく均一で、余分な拡散光が少ない照明が可能となるので、検出精度が向上すると共に検査時間が短縮できる。 (もっと読む)


移動中の基板(106)の少なくとも2つの平行な端部の長さに沿った、破損やずれ等の基板の欠陥の存在を検出する少なくとも2つのセンサ(140A、140B)を組み込んだ装置及び方法を提供する。一実施形態において、装置は、基板の欠陥を検出するための、少なくとも2つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成を含む。他の実施形態において、装置は、基板サポート表面を有するロボット(114又は130)と、基板の欠陥を検出するための、少なくとも2つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成とを含む。

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【課題】照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測する。
【解決手段】光源から射出される照明光と、第1の回折格子127aと第2の回折格子127bとが設けられた光学ユニット26と、の相対的な角度変化に応じて、光学ユニット26の第1の回折格子127aと第2の回折格子127bの両方で干渉する光の状態が変化するので、その干渉光を受光素子で受光することにより、照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 従来の方法で問題となっていた誤差および誤検出を解消し、組付け精度を向上させることができるロータリエンコーダの回転スリット板組付け方法および装置を提供する。
【解決手段】 ロータリエンコーダの回転スリット板組付け方法は、仮組みロータリエンコーダを少なくとも1周分回転させて振れおよび変位を計測するステップと、この少なくとも1周分の回転時の時間と振れ変位との関係をサンプリングするステップと、サンプリングによって得られたデータから振れの最大変位を求め、これより若干小さい値を閾値として設定するとともに、閾値を超える時間ΔTを演算するステップと、仮組みロータリエンコーダをさらに回転させ、閾値を超えた後さらに時間ΔT/2経過した位置を最大変位位置とするステップとを含んでいる。 (もっと読む)


【課題】基準レンズがなくても被検光学素子の面形状誤差、面間偏心誤差、屈折率分布等を一度の測定で検知し、被検光学素子の合否を判定できる検査装置。
【解決手段】光源11と、光源11からの光束を被検光束Mと参照光束Rに分割する光束分割手段18と、被検光学素子22が配置される被検光束M中に配置され、設計値に基づく被検光学素子22の透過波面を略平面に変換する補正光学系23と、補正光学系23を透過した被検光束Mと被検光束Mとは異なる光路を経て平行光束とされた参照光束Rとを合成する光束合成手段26と、光束合成手段26を透過した光束を撮像する撮像手段28と、撮像手段28によって形成された干渉縞に基づいて被検光学素子22を透過した波面に係るパラメータを算出するパラメータ算出手段31と、パラメータに基づいて被検光学素子22の評価値を算出する評価値演算手段31とを備えた光学素子検査装置。 (もっと読む)


【課題】表面が滑らかで光沢のある黒い物体などレーザ光線の反射率が低い物体の位置、形状を正確に検出する物体検出ユニットを提供する。
【解決手段】物体検出部20a〜20dが読み出された固定物体の位置データ中から距離の測定値を示す信号のあるレーザ光線の照射角度ごとに、そのレーザ光線の照射角度に対応する監視領域内に存在する物体の位置データ中から受光なしを示す信号のあるレーザ光線の照射角度を抽出する(S125)。そして、抽出されたレーザ光線の照射角度がある場合には、物体検出部20a〜20dがそのレーザ光線の照射角度の位置には、レーザ光線を反射しない移動物体が存在すると判断する。一方、抽出されたレーザ光線の照射角度がない場合には、物体検出部20a〜20dが監視領域内にレーザ光線を反射しない移動物体が存在しない、と判断する(S130)。 (もっと読む)


【課題】検査対象ワークに光沢がある被検査電子部品に対して、照明の発光部下に小型孔がある拡散板を用いることで、ハレーションを防止させ、容易に表明状態(異物、傷)を検出する表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象ワーク5に照明3を照射してカメラ1により上記検査対象ワーク5の光沢を有した表面を検査する表面検査方法において、
上記照明3と上記検査対象ワーク5の間に設けたハレーション9を防止する拡散板4の小型孔6を、上記検査対象ワーク5に隣接させ、上記照明3の光を上記小型孔6を通過させて上記検査対象ワーク5に照射し、上記検査対象ワーク5の表面を検査する構成とする。 (もっと読む)


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