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Fターム[2F065BB22]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 対象物−形態;性質 (11,481) | 光学的性状 (975) | 透明体 (521)

Fターム[2F065BB22]に分類される特許

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【課題】2つの基板のそれぞれに形成されたアライメントマークの両方に同時にピントを合わせることができない場合であっても、それらの位置合わせを高精度に行うことを可能にする。
【解決手段】パターンを転写される基板に形成されるアライメントマークAM1は、正方形の中実図形であるアライメントパターンAP101〜AP109、AP111〜AP114を配列してなるものとする。一方、基板に転写すべきパターンを担持するブランケットには、アライメントマークAM2として、環状の中空矩形のアライメントパターンAP2をパターンと同じ材料で形成する。アライメントマークAM1は、低い空間周波数成分をアライメントパターンAP2よりも多く含むパターンにより構成されており、ピントが合わない状態で撮像された場合でも重心位置を精度よく検出することが可能である。 (もっと読む)


【課題】微弱信号を増幅可能な増幅装置を提供する。
【解決手段】増幅装置は、被測定系の観測量^Aを測定する際に、測定器と、初期状態が事前選択された被測定系を相互作用させ、次に被測定系の終状態を事後選択し、測定器の波動関数ξ(p)を用いて物理量の測定を行う。被測定系の量子状態の事前選択状態、事後選択状態それぞれのベクトルを|i>、|f>とするとき、式(1)の弱値Aが既知であり、A=<f|^A|i>/<f|i>…(1)、測定器と被測定系の相互作用ハミルトニアンHが、測定器の運動量演算子^pおよび結合係数g(ただしg>0)を用いて式(2)で与えられ、H=g・δ(t−t)・^A・^p…(2)、^A=1のときに、測定器は、波動関数ξ(p)が運動量表示で実質的に式(3)となる。
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【課題】半導体基板の欠陥検査において、高精度かつ効率的に、可視光透過性を有する半導体基板の表裏面への焦点位置合せを行うこと。
【解決手段】
半導体基板の欠陥検査装置は、焦点位置合わせマークが表面に形成された可動ステージと、可視光を可動ステージに向けて照射する光源と、可動ステージに対向して設けられた対物レンズと、対物レンズが結像した画像を電気信号に変換する光電変換素子と、焦点位置合わせマークの可動ステージ上の位置および被検査物となる半導体基板の厚さが登録され、可動ステージと対物レンズの位置関係を制御する制御装置を備えている。制御装置は、登録された焦点位置合わせマークを基準にして半導体基板の裏面側の焦点位置合わせを行い、登録された半導体基板の厚さを基準にして半導体基板の表面側の焦点位置合わせを行う。 (もっと読む)


【課題】非球面形状を有する被検面を高精度に計測するのに有利な非球面形状計測装置を提供する。
【解決手段】光源1から射出された光を非球面形状を有する被検面14に照射する照明光学系7と、前記被検面に照射する光の一部を遮光する遮光板6と、前記照明光学系及び前記遮光板を介して光が照射された前記被検面の一部の領域から反射される光束を計測するセンサ10を有する撮像系と、前記センサにより計測されたデータから前記被検面の形状を算出する算出手段と、を有し、前記遮光板は、光軸に対し前記被検面の一部の領域の反対側が遮光されるように構成され、前記被検面の一部の領域から反射される光束と光軸との交点を複数の計測光交点とした場合、前記複数の計測光交点のうち前記被検面に最も近い計測光交点16と前記被検面との間に配置される。 (もっと読む)


【課題】作業者に負担をかけることなく、比較的安価な構成で透明で且つ膜厚が薄い紙材料からなる印刷物の膜厚測定を正確に行うことができる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置1は、大略、光源2、受光サンサ3及び受光センサ3と電気的に接続された演算処理部4を備えてなり、紙材料からなる基材6上に形成された塗布膜8の表面に所定波長の光を出射し、該塗布膜8から反射した反射光の光量、すなわち電圧を測定し、塗布膜8の厚みに対応する電圧と塗布材の膜厚とが関連付けられた検量線に基づき膜厚を演算する。光源2として波長が570nm〜592nmにピークを有する光を用いると共に、塗布膜8に入射する入射光と該入射光の入射点における塗布膜8に垂直な仮想垂線14とでなす角度を0度〜10度としたので、透明で且つ膜厚が0.5μm〜2.0μm以下の印刷物を測定した場合でも、正確な膜厚の値を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】被測定物の表面の反射の状態によって、変位センサの測定方式を切り換えたり、変位センサを交換したりすることを不要にする。
【解決手段】拡散反射板212は、レーザ光源231から出射され、ワーク102の加工面で正反射されたプローブ光が入射する位置に配置されている。リニアセンサ233は、拡散反射板212により拡散反射されたプローブ光がさらにワーク102の加工面で反射された第1の反射光、レーザ光源231から出射されたプローブ光がワーク102の加工面で拡散反射された第2の反射光を受光する。信号処理部234は、第1の反射光によりプローブ光がワーク102の加工面を介して拡散反射板212に入射するまでの第1の距離を検出するか、または、第2の反射光によりプローブ光がワーク102の加工面に入射するまでの第2の距離を検出する。 (もっと読む)


【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム1は、光源10、コリメータ12、単一の受光素子41、チューナブルフィルタ40及び演算装置15を備える。コリメータ12は、光源10からの測定光を測定対象物の第1主面へ出射するとともに、第1主面及び第2主面からの反射光を入射する。単一の受光素子41は、コリメータ12からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ40は、受光素子41に入射される光の波長を掃引する。演算装置15は、チューナブルフィルタ40及び受光素子41を用いて、波長に依存した強度分布であって第1主面及び第2主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 (もっと読む)


【課題】可及的にワークの移動が自由であり、後工程の作業の妨げともなりにくい簡易な構成のワーク位置の検出装置を提供する。
【解決手段】検出光(40)を投光する投光部(10)と、検出光を受光する受光部(20)と、投光部と受光部を所定の位置関係に保つ支持手段(30)と、を備え、受光部が一次元又は二次元に配置された複数の受光素子を含み、上記支持手段が、投光部と受光部との間に設けられる検出基準面に対して検出光(40)が斜めになるように投光部と受光部の位置を保持する。 (もっと読む)


【課題】オンライン測定において安定した測定ができる干渉式膜厚計を提供する。
【解決手段】投受光プローブ5から照射される光の焦点位置であり、かつ投受光プローブ5に入射する光の焦点位置である共通焦点位置を所定範囲内で走査させる焦点位置走査部7が設けられている。演算部13は、投受光プローブ5が受光した光の分光スペクトルデータを取得する分光データ取得部15と、分光スペクトルデータに基づいてパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出部17と、パワースペクトルのデータに基づいて測定対象膜23の膜厚を算出する膜厚算出部19と、分光スペクトルデータもしくはパワースペクトルのデータ又はそれらの両方にしきい値を設け、しきい値以上のデータを抽出するデータ抽出部21と、を備えている。膜厚算出部19はデータ抽出部21が抽出したデータに対応する膜厚データを出力する。 (もっと読む)


【課題】被測定対象物のレーザスペックル画像を得る装置において、被測定対象物の材質などに起因するスペックル画像の画質低下を可及的に抑制する。
【解決手段】被測定対象物(20)表面の観察領域(21)に向けてコヒーレント光を投光する投光部(10)と、被測定対象物表面の観察領域で拡散反射した上記コヒーレント光を受光する受光部(30)と、被測定対象物表面から受光部以外の方向に伝播するコヒーレント光を被測定対象物表面の観察領域に戻す反射部(41)と、受光部における受光状態に基づいて被測定対象物の状態を検出する検知部(50)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】貼り合せ板状体における板状体の縁端と接着剤の縁端との間の間隔を比較的容易に検査することのできる貼り合せ板状体検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ50と、照明手段51と、照明手段51により照明がなされている状態で貼り合せ板状体10を走査するラインセンサカメラ50から出力される映像信号を処理する処理ユニットとを有し、処理ユニットは、映像信号に基づいて画素単位の濃淡値からなる検査画像情報を生成する検査画像情報生成手段と、検査画像情報から得られる第1板状体11の縁端を横切る検査ライン上の濃淡値プロファイルに基づいて、検査ライン上での第1板状体11の縁端と接着剤13の縁端との間隔を表す縁端間距離情報を生成する縁端間距離情報生成手段とを有し、縁端間距離情報に基づいた検査結果を提供する。 (もっと読む)


【課題】
表面の異物や傷欠陥だけでなく基板の局所的な厚さの変化による欠陥まで検出することを可能にする。
【解決手段】
ガラス基板検査装置を、ガラス基板を透過した光を検出する第1の欠陥検出光学系と、ガラス基板を透過した光によりガラス基板の表面又は内部で発生した散乱光を検出する第2の欠陥検出光学系と、第1の検出光学系で検出した信号と第2の検出光学系で検出した信号とを処理する信号処理手段とを備えて構成し、信号処理手段は、第1の検出光学系手段からの検出信号を入力して処理することによりガラス基板の局所的な厚さの変化に起因する欠陥を検出し、第2の検出光学系手段からの検出信号を入力して処理することによりガラス基板の欠陥を検出するように構成した。 (もっと読む)


【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン3が形成されている側に粘着シート4を貼り付けたうえで透明なステージ7に固定し、ステージ7の上方から同軸透過照明光L1と斜光透過照明光L2とを重畳的に照射するとともに、ステージ7の下方側からステージ7を介して裏面観察手段6で観察することで、観察像においては、デバイスパターン3に対応して、暗い(黒色の)デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像IP1以外の部分は明るく観察される。また、気泡5に対応する部分IB1についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン3の形状を明確に特定することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】検査精度を上げて入味容量のバラツキを少なくできるようにする。
【解決手段】キャップ天面高さと満注容量との相関関係を予め測定して第1相関関係情報を取得すると共に、最低充填容量を設定し、満注容量よりも所定量減量した液状収容物をボトルに充填した場合の入味線高さとキャップ天面との高低差と、所定量との相関関係を求めて第2相関関係情報を取得しておいて、被検査用ボトルに対するキャップ天面高さを計測して第1相関関係情報から満注容量を決定すると共に、満注容量と最低充填容量との差に対応する差分高さを第2相関関係情報から算出して、被検査用ボトルに対応する許容最低入味線高さを求め、液状収容物の実入味線高さを計測し、許容最低入味線高さと実入味線高さとを比較して、実入味線高さが高ければ良品と判定し、実入味線高さが低ければ不良品と判定する。 (もっと読む)


【課題】基板表面に対して光ビームを照射して描画する描画装置およびその焦点調整方法において、収束光学系の経時変化に対応することができ、しかも描画時の基板表面に収束光学系の焦点位置を適正に調整することのできる技術を提供する。
【解決手段】観察光学系80のダミー基板801と観察用カメラ803とを一体的に昇降可能とする。ダミー基板801の上面801aをステージ10上の基板Wの表面Sと略同一の高さに設定し、観察用カメラ803により観察されるダミー基板上面801aでの描画光学像が最も小さくなるように、光学ヘッド40aのフォーカシングレンズ431の位置を調整する。このときの光学ヘッド431とダミー基板上面801aとの距離を基準距離として、オートフォーカス部441,442によるオートフォーカス動作を実行する。 (もっと読む)


【課題】透明体、半透明体、多孔性材料の様な、両面からレーザー光を厚み測定のために発射した場合に、一部のレーザー光が反対側のレーザー変位計に達する可能性のある測定対象や、測定対象端部等で一部のレーザー光が反対側のレーザー変位計に達する可能性のある場合であっても、正確に、しかも高速に測定対象の厚みを測定することができる厚さ測定方法及び測定装置が求められていた。
【解決手段】測定対象の両面から挟み込む方向に配置されたレーザー変位計により厚み測定等を行う場合であって、両レーザー変位計の発射レーザー光が互いに干渉しないレーザー光であり、レーザー受光部が各々のレーザーのみを選択的に受光することを特徴とする厚さ測定方法及び測定装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】高精度に調整可能な露光装置の調整方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の露光装置の調整方法は、鏡面部に光散乱部位を有する鏡面部材を有する露光装置の上記鏡面部に対し、レーザー光を照射する工程と、上記鏡面部の上記光散乱部位からの上記レーザー光の散乱光に基づき、上記光散乱部位までの距離を演算する工程と、上記演算工程に基づき上記鏡面部の形状を判定する工程と、上記判定結果に基づき、上記鏡面部の形状を調整する工程と、を有する。かかる方法によれば、鏡面部であっても光散乱により鏡面部の形状認識が可能となり、これに基づき、鏡面部の表面形状を調整することで、露光光の平行度の補正を効果的に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】着用物の種別に関わらず身体との間の空隙量を正確に測定することのできる空隙量測定装置及び空隙量測定方法を提供すること。
【解決手段】空隙量測定装置1は、人体模型20を載置する台座部12及び測定対象物に対してレーザー光を投光することで当該測定対象物までの距離を測定するセンサ部11を備える距離測定装置10と、センサ部11のレーザー光を透過する部材で構成され、上部が開口するとともにその内部が空洞状に形成された人体模型20と、距離測定装置10が測定した距離から着用物と人体模型との間の空隙量を算出する演算装置30と、を備える。このとき、センサ部11は、人体模型20の内部から当該人体模型20に着用された着用物の着用面に対してレーザー光を投光することで着用面までの距離を測定し、演算装置30は、着用物の着用面までの距離から空隙量を算出する。 (もっと読む)


【課題】 板状体の正面を塞がずに、かつ光源と受光素子とを備えている投受光センサを用いて、板状体を確実に検出する。
【構成】 検出装置は板状体が所定位置に存在するか否かを検出する。検出装置は、板状体の一側面へ向けて斜めにスポット状の検出光を投光する光源と反射光を受光する受光素子とを備えている投受光センサと、投受光センサから見て板状体よりも遠方にあり、かつ板状体が存在しない場合、検出光を拡散反射する拡散反射部と、投受光センサへ入射する反射光の所定の強度以下であることから、板状体を検出する検出部、とを備えている。板状体の側面が透明の場合、板状体の側面へ入射した検出光は板状体の内部で複数回反射し投受光センサとは異なる方向へ出射し、板状体の側面が鏡面状の反射面の場合、板状体の側面へ検出光は斜めに入射して投受光センサとは異なる方向へ正反射する。 (もっと読む)


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