【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】立体構造を有する物体の厚み分布を、短時間に、かつ容易に測定する。
【解決手段】厚み測定方法は、測定対象物６に光を照射する光照射工程（Ｓ１）と、測定対象物６に照射された光が、測定対象物６を透過しているときに、測定対象物６への光の照射方向とは異なる所定の方向から、測定対象物６を撮像する撮像工程（Ｓ２）と、その撮像画像に基づいて、測定対象物６の厚み分布を測定する測定工程（Ｓ３）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】着用物の種別に関わらず身体との間の空隙量を正確に測定することのできる空隙量測定装置及び空隙量測定方法を提供すること。
【解決手段】空隙量測定装置１は、人体模型２０を載置する台座部１２及び測定対象物に対してレーザー光を投光することで当該測定対象物までの距離を測定するセンサ部１１を備える距離測定装置１０と、センサ部１１のレーザー光を透過する部材で構成され、上部が開口するとともにその内部が空洞状に形成された人体模型２０と、距離測定装置１０が測定した距離から着用物と人体模型との間の空隙量を算出する演算装置３０と、を備える。このとき、センサ部１１は、人体模型２０の内部から当該人体模型２０に着用された着用物の着用面に対してレーザー光を投光することで着用面までの距離を測定し、演算装置３０は、着用物の着用面までの距離から空隙量を算出する。 （もっと読む）

【課題】透明体、半透明体、多孔性材料の様な、両面からレーザー光を厚み測定のために発射した場合に、一部のレーザー光が反対側のレーザー変位計に達する可能性のある測定対象や、測定対象端部等で一部のレーザー光が反対側のレーザー変位計に達する可能性のある場合であっても、正確に、しかも高速に測定対象の厚みを測定することができる厚さ測定方法及び測定装置が求められていた。
【解決手段】測定対象の両面から挟み込む方向に配置されたレーザー変位計により厚み測定等を行う場合であって、両レーザー変位計の発射レーザー光が互いに干渉しないレーザー光であり、レーザー受光部が各々のレーザーのみを選択的に受光することを特徴とする厚さ測定方法及び測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン３が形成されている側に粘着シート４を貼り付けたうえで透明なステージ７に固定し、ステージ７の上方から同軸透過照明光Ｌ１と斜光透過照明光Ｌ２とを重畳的に照射するとともに、ステージ７の下方側からステージ７を介して裏面観察手段６で観察することで、観察像においては、デバイスパターン３に対応して、暗い（黒色の）デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像ＩＰ１以外の部分は明るく観察される。また、気泡５に対応する部分ＩＢ１についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン３の形状を明確に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 計測対象物体からの反射光を用いて３次元計測を行う手法において、計測の誤差に起因する、計測対象物体の３次元位置の取得精度の低下を防止することを目的とする。
【解決手段】 構造化光が投影された計測対象物体からの反射光の情報と、前記構造化光の光源の位置と、前記反射光を受光して前記反射光の情報を取得する受光部の位置とを用いた三角法により、前記計測対象物体の表面の複数の位置を取得する第一の取得手段と、前記複数の位置に基づき、前記計測対象物体の表面の位置および向きを取得する第二の取得手段と、前記複数の位置を取得する際の計測の誤差に関する情報と、前記計測対象物体の表面の位置および向きとに基づき、前記複数の位置の少なくとも一つを補正する補正手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誤差を抑制して測定の精度を向上することができるグリーンシートの膜厚測定装置を提供すること。
【解決手段】膜厚測定装置１は、光源５１及び光源５１から発せられた光を測定領域Ａに向けてライン状に出射する投光ロッド５２を有するライン光照明５と、測定領域Ａを挟んで投光ロッド５２と対向するように配置されたラインカメラ６と、を備えている。投光ロッド５２のライン状の光の出射範囲（出射口５３）は、投光ロッド５２の軸線方向に沿った長さが搬送部３により搬送されるグリーンシートＧの軸線方向に沿った長さよりも長い。投光ロッド５２と測定領域Ａとの間には、投光ロッド５２から出射された光のうち、測定領域Ａに搬送されたグリーンシートＧの軸線方向での端の外側を通って、ラインカメラ６に入射する光を遮光する遮光部材７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガスバリア膜において、可視光の透過性と被覆性及び可撓性との良好なバランスを実現することができる技術の提供。
【解決手段】珪素化合物を含有するバッファ層２と、バッファ層２に積層され、珪素酸化物及び／または珪素窒化物を含有するバリア層３と、を含むガスバリア膜１において、バッファ層２についてのフーリエ変換赤外吸収スペクトルにおいて、波数９００ｃｍ^−１での赤外吸光度Ａ１と波数１２６０ｃｍ^−１での赤外吸光度Ａ２との比Ａ_Ｒ（Ａ_Ｒ＝Ａ１／Ａ２）と、前記ガスバリア膜に含まれるバッファ層の厚みの合計ｔ（ｎｍ）とが、Ａ_Ｒ＜３未満かつ式（１）を満たすか、又はＡ_Ｒ≧３かつ式（２）を満たす、ｔ≦１５６５６／Ａ_Ｒ^{３．３１３}（１）ｔ≦８３７／Ａ_Ｒ^{０．６４８}（２）ガスバリア膜。 （もっと読む）

【課題】表面に微細な凹凸形状等の地合パターンを有するシート材の欠陥を、迅速かつ再現性良く検査する方法を提供する。
【解決手段】焦点調整用シート材を欠陥検査位置に載置し、カメラの焦点を合わせる第１のフォーカス工程、前記焦点調整用シート材から当該カメラの焦点をずらすように調整する第１のデフォーカス工程、第１のフォーカス工程における焦点位置Ａから第１のデフォーカス工程における焦点位置Ｂまでの距離ｄを計測及び記録する工程、被検査シート材を第１のフォーカス工程と同一又は異なる欠陥検査位置に載置し、その地合パターンにカメラの焦点を合わせる第２のフォーカス工程、及び当該カメラの焦点を、第２のフォーカス工程における焦点位置Ａ’から、前記距離ｄ分ずらした焦点位置Ｂ’に合わせる第２のデフォーカス工程、及び焦点位置Ｂ’に焦点を合わせたカメラで被検査シート材の欠陥を検査する工程、を含むことを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】検査に適切な明るさやコントラストの画像を取得し、膜厚むら検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された基板を一方向に移動させながら、基板に形成された皮膜の膜厚むらを検査する装置及び方法であって、皮膜の厚みを検出する膜厚検出部を備え、光源部は、撮像部側に配置された反射照明部３ａと、基板を挟んで撮像部に対向する位置に配置された透過照明部３ｂを備え、撮像部４は基板との相対角度を調節する撮像部角度調整手段を備え、反射照明部は反射照明部と基板との相対角度を調節する反射照明角度調整手段を備え、透過照明部は透過照明部と基板との相対角度を調節する透過照明角度調整手段を備え、膜厚検出部からの膜厚情報に基づき、反射照明角度調節手段及び透過照明角度調整手段を制御し、反射照明の光量及び透過照明の光量を調節する制御部を備えたことを特徴とする膜厚むら検査装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】透明基板に設けられたフィデューシャルマークを確実かつ容易に検出する。
【解決手段】フィデューシャルマークＭが設けられた検査対象基板１０の一方の面に光を照射すると共に、基板１０の一方の面を撮像した撮像データに基づいてマークＭを検出する際に、緑色、青色および黒色のうちのいずれかの色で形成された有色半透明シート９ｂを基板１０の他方の面に接するように配設すると共に、少なくともシート９ｂに対する接触面が黒色および緑色のいずれかの色で形成された有色不透明シート９ａをシート９ｂにおける基板１０に対する接触面の裏面に接するように配設した状態において、他方の面がシート９ｂに接するように配設した基板１０の一方の面にＬＥＤ光源２１から赤色光Ｌ１を照射すると共に、単色画像データを出力可能な撮像部２２によって基板１０の一方の面を撮像し、撮像部２２から出力された単色画像データに基づいてマークＭを検出する。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付け余白が生じて基板端から表示領域を画定する額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていない基板に対しても、外観上の広域欠陥の検査を正常に行える機構を有した塗布膜の検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の基板を披検査体テーブルの支持ピン上に保持した状態で、基板流動方向に走査可能に移動する検査位置に対して真下の位置に配置された透過光源部から検査光を当て、被検査体を透過した透過光を、透過光源部と同じ方向に一体的に移動する検査位置に対して真上の位置に配置された撮像カメラで受光してその輝度変化を検出する塗布膜の検査装置において、前記被検査体テーブルの基板流動方向の両端部に外乱光遮断用のシャッターが設けられ、該シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にむけてその遮光領域を可変に制御する機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】広帯域干渉法によって透明な膜の厚さを測定する方法を提供する。
【解決手段】広帯域干渉法によって膜のコレログラムを作成する工程と、コレログラムにフーリエ変換を適用して、フーリエ位相関数を得る工程と、フーリエ位相関数の線形成分を取り除く工程と、残りの非線形成分に第２積分変換を適用して非線形成分の積分振幅関数を得る工程と、積分振幅関数のピーク位置を特定する工程と、波長に依存する膜の屈折率を考慮して前記膜の厚さを前記ピーク位置の横座標の２倍値として決定する工程と、を含む。最後の２つの工程の代わりに、前記積分振幅関数のピーク位置を特定する工程と、前記ピーク位置の横座標の２倍値として膜の厚みを決定する工程と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンドライクカーボン等のカーボン薄膜について、その膜厚を簡易な手法で評価できるようにした、カーボン薄膜の膜厚評価方法を提供する。
【解決手段】基材上に形成された厚さ１００ｎｍ以下のカーボン薄膜の膜厚評価方法である。カーボン薄膜の膜厚と明度計測装置で計測したカーボン薄膜の明度との相関を求める工程と、明度計測装置によって被評価膜となるカーボン薄膜の明度を計測する工程と、計測した被評価膜となるカーボン薄膜の明度から先に求めた相関に基づき、被評価膜となるカーボン薄膜の膜厚を評価する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】画像処理によって廃棄物中に混在しているペットボトルを確実に判別可能とすることを課題とする。
【解決手段】被判別対象の撮影工程と、被判別対象の二値化画像を作成する二値化工程と、前記二値化画像から前記容器の口部分の形状を抽出する口部分形状抽出工程と、前記二値化画像の容器の口部分を含む画像部分を、容器を輪切りするように帯状に複数の区域に区分けする区域分け工程と、前記区域毎に容器に該当する領域の横幅をそれぞれ計測する横幅計測工程と、前記区域毎に、各区域において同一の方向に隣接する区域との前記横幅の差又は比率を求め、求めた値を判別値とする判別値演算工程と、前記判別値と事前に設定した閾値とを比較する形状判断工程とからなり、該形状判断工程での比較の結果に基づいて前記容器がペットボトルであるか否かを判別する、という技術的手段を講じた。 （もっと読む）

【課題】複層塗膜の内部構造及び内部欠陥を、非接触非破壊且つ簡便に測定、解析することができる複層塗膜の非接触非破壊評価方法及びそれを用いた装置を提供すること。
【解決手段】本評価方法は、光源１からの光を参照光と複層塗膜４への入射光とに分岐する分岐ステップと、前記参照光の光学距離を調整する調整ステップと、前記複層塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめる干渉ステップと、前記複層塗膜からの前記反射光を含む干渉光を検出して前記干渉光の強度信号を出力する検出ステップと、前記強度信号を解析する解析ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】岩石試料内の単一天然亀裂の開口幅と形状の両方を高い分解能で且つ高精度で同時に測定でき、測定に際して岩石試料が消失することなく、測定に要する時間とコストの負担を軽減できるようにする。
【解決手段】単一亀裂を有する岩石試料を型として、亀裂を境とする２つの透明レプリカ試料１４ａ，１４ｂを、一方は無色の透明樹脂で、他方は染料で着色した透明樹脂で作製し、両者を組み合わせることで亀裂１２を復元し、亀裂内に前記染料とは異なる色の染料溶液を満たして岩石レプリカ試験体１０とする。それに白色光を照射し、透過光を各染料に対応したバンドパスフィルター２０を通して各色毎の２次元平面座標の光強度データをＣＣＤカメラ１８で取得し、各色毎の２次元平面座標の吸光度から２種類の染料で着色された部分の厚さをデータ収録装置２２で算出して亀裂開口幅と亀裂形状を同時に求める。 （もっと読む）

【課題】電力消費量が少なく高熱の発生を伴わずに太陽光に近い白色光で被測定物を照明できる照明手段を備えた二次元測定機を提供する。
【解決手段】
テーブル12に載置した被測定物Wに対して垂直を保持したままＸ−Ｙ方向に自在に移動する顕微鏡一体型ＣＣＤカメラ30と、顕微鏡光学系と同軸状の被測定物照明手段と、を備えた二次元測定機で、前記照明手段を、顕微鏡20の鏡筒21内のハーフミラー24と、ハーフミラー24に対応する鏡筒21側方延長位置に配置したクロスプリズム54と、該クロスプリズム54を取囲んで配置した赤,青,緑の単色ＬＥＤ52R,G,Bで構成し、単色ＬＥＤ52R,G,Bの発光がクロスプリズム54で合成されてハーフミラー24に導かれる。単色ＬＥＤ52R,G,Bの同時点灯で、太陽光に近い十分な光量の白色照明光が得られ、モニタ画面に映し出されるカラー画像が非常に見易い。照明用光源の電力消費量，発熱量が小さく、省エネルギー対策にも合致する。 （もっと読む）

【課題】外乱光が存在する場合でも正確に被計測部材の表面形状を計測することのできる表面形状計測方法およびその装置を提供する。
【解決手段】スリット光画像の長さ方向に直交する画素列を列番号第１列として、第１列目の第１所定範囲内の画素の輝度値から初期中心位置Ｇ０を求め、初期中心位置Ｇ０を中心とし、第１所定範囲より狭い第２所定範囲（参照光幅）内の画素の輝度値から第１列目の中心位置Ｇ１を求める。第２列以降の第ｉ列〜第ｎ列までは、第（ｉ−１）列目の中心位置Ｇ（ｉ−１）を中心として第２所定範囲内の画素の輝度値を加重平均して第ｉ列目の中心位置Ｇｉを求めて、中心位置Ｇ１〜Ｇｎを求めＧ１〜Ｇｎを接続して表面形状を求める。 （もっと読む）