【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置や現実物体に装着された姿勢センサの校正を、簡便かつ正確に行う為の技術を提供する。
【解決手段】姿勢計測値取得部１４５は、撮像装置１２０に装着された姿勢センサ１１０による姿勢計測値、現実物体１２５に装着されたセンサ１１５による姿勢計測値を取得する。画像処理部１３５は、現実物体１２５上に配置された指標の撮像画像上における画像座標を取得する。校正部１６０は、撮像装置１２０に対するセンサ１１０の配置情報、現実物体１２５に対するセンサ１１５の配置情報、のうち少なくとも１つを、上記２つの姿勢計測値、画像座標を用いて求める。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面の反射の状態によって、変位センサの測定方式を切り換えたり、変位センサを交換したりすることを不要にする。
【解決手段】拡散反射板２１２は、レーザ光源２３１から出射され、ワーク１０２の加工面で正反射されたプローブ光が入射する位置に配置されている。リニアセンサ２３３は、拡散反射板２１２により拡散反射されたプローブ光がさらにワーク１０２の加工面で反射された第１の反射光、レーザ光源２３１から出射されたプローブ光がワーク１０２の加工面で拡散反射された第２の反射光を受光する。信号処理部２３４は、第１の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面を介して拡散反射板２１２に入射するまでの第１の距離を検出するか、または、第２の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面に入射するまでの第２の距離を検出する。 （もっと読む）

【課題】雲の含水率を決定する方法を提供する。
【解決手段】雲の含水率は、雲の水滴サイズ分布から導出される。雲の水滴のサイズ分布を決定する方法は、雲の深さを電磁放射ビームによりサンプリングすることと、雲から戻った電磁放射のエコー強度を検出器により測定することと、測定エコー強度から測定光減衰係数を決定することと、測定エコー強度から測定後方散乱係数を決定することと、測定光減衰係数及び測定後方散乱係数からライダー比を決定することと、ライダー比から水滴の形状パラメータ（μ）及びメジアン体積径（Ｄ_ＭＶＤ）を含む値ペアを決定することと、値ペア（μ，Ｄ_ＭＶＤ）を使用して水滴のサイズ分布を決定することとを含む。 （もっと読む）

【課題】レーザー走査装置により三次元測定対象物の形態を正しく測量し、調査する。
【解決手段】三次元測定対象物の形態調査方法であって、レーザー走査装置が調査範囲にレーザーを照射したとき、該レーザーの多数の反射点の各点を、三次元座標化された点として取得し、前記調査範囲の水平面上に多数のグリッドを派生させ、各グリッドの中にある点群の鉛直座標分布から標高値の最も低い低位点を抽出し、各グリッドで抽出された低位点を用いて調査範囲の地形モデルを作成する。 （もっと読む）

【課題】管端部の加工部について、寸法精度と加工面の状態とを共に自動的に検査することができ、しかもインライン化が可能なよう検査装置全体のコンパクト化を可能にした、管端検査装置を提供する。
【解決手段】端部を加工した管２の管端加工部を検査する管端検査装置である。管端加工部の形状を計測するレーザ変位計４２と、管端加工部の表面を撮影する撮像装置６２と、レーザ変位計４２及び撮像装置６２を管端加工部の周方向に沿って移動させることにより、レーザ変位計４２のレーザビームスポット及び撮像装置６２の焦点を管端加工部の周方向に沿って周回させる回転テーブル（周回手段）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ピストンの傾斜のみならず偏心も監視することにある。
【解決手段】内部にガスを収容するために上下方向へ延在する筒状のホルダー本体と、そのホルダー本体内に昇降可能に配置された落し蓋状のピストンと、そのピストンの周縁部とホルダー本体の内周面との間の隙間を気密にシールするシール機構とを具える乾式ガスホルダーの、前記ピストンの監視方法において、前記ピストンの中心から等距離なそのピストン上の少なくとも３箇所の位置にそれぞれピストンの上面から所定高さ突出した所定の大きさの偏心量測定テーブルを設け、前記ホルダー本体の上端部に、前記偏心量測定テーブルまでの高さ方向距離を非接触で計測する距離計を設け、前記距離計で計測した当該距離計から前記少なくとも３箇所の偏心量測定テーブルまでの高さ方向距離に変化が生じた場合に、その変化が急激な場合は前記ピストンに偏心が生じたと判断し、その変化が穏やかな場合は前記ピストンに傾斜が生じたと判断することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】基板上にソルダーペーストを印刷するスキージのスキージング中における撓り状態を、精度良く検証することの可能な技術を提供する。
【解決手段】透明な平板材と、平板材の上面に接するようにスキージを保持し、スキージを平板材の上面に沿ってスキージングさせるスキージ駆動手段と、平板材の下方に配置されており、スキージング中のスキージを、平板材を透して撮像する撮像手段と、を備える。スキージのうち、スキージング中の進行方向側に面するスキージ面には、スキージの撓りに応じて変形する所定の模様が設けられている。 （もっと読む）

【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板９上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット２と、ガラス基板９を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット２は、光照射部２１および受光部２３を有し、光照射部２１により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部２３のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部２３を回転することにより受光部２３の光軸Ｊ２とガラス基板９の法線Ｎとのなす検出角θ２が変更される。撮像ユニット２は、光軸Ｊ２に沿って受光部２３を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ２の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸Ｊ２上においてラインセンサの受光面と共役な位置Ｐがガラス基板９の表面に配置される。これにより、受光部２３のフォーカス調整が容易に行われる。 （もっと読む）

【課題】 遮光位置のずれを低減する技術の提供。
【解決手段】 原版を光で照明する照明系、前記原版のパターンの像を基板に投影する投影系を有する光学系を備える露光装置で、前記光学系の光路上の前記投影系の物体面と共役な面かその近傍に配置され、前記像が前記基板上に投影される領域の外縁の一部を円弧状に規定する円弧状部を有する遮光板と、前記光学系の光路に沿った回転軸まわりに前記遮光板を回転駆動する回転駆動部と、前記回転軸と交わる方向に前記遮光板をシフトするシフト駆動部と、前記回転駆動部により前記遮光板を回転駆動させ、前記光学系により前記像を前記基板に投影する際の基準となる基準軸と前記回転軸との相対位置の情報を取得する取得部と、前記基板の周辺部に対して前記像を投影する場合、取得した前記相対位置に関する情報に基づき、前記遮光板が所定の位置になるように前記回転駆動部と前記シフト駆動部を制御する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ヘッド部を大型化することなく、コントローラ部に対してヘッド部を交換することが可能なように互換性を持たせることができる光学計測装置を提供する。
【解決手段】本発明に従った光学計測装置では、計測対象物２００に対して光を用いて計測を行ない、ヘッド部１０と、コントローラ部２０と、光ファイバ１１と、記憶部４０とを備えている。本発明に従った光学計測装置では、ヘッド部１０とコントローラ部２０とを光ファイバ１１で接続する。記憶部４０は、製造されるヘッド部１０のそれぞれの個体に対して関係付けられ、コントローラ部２０で行なう演算に必要な情報をヘッド部１０の個体情報として記憶する。コントローラ部２０は、コントローラ部２０に対して物理的に独立して存在する記憶部４０から個体情報を読出し、読出した個体情報を用いて演算を行なう。 （もっと読む）

【課題】風や反射光などの外乱の影響による誤検出を低減させ正確な変位量を検出することができる、安価で高精度な変位検出警報システムを提供すること。
【解決手段】再帰反射材を用いた１枚のターゲットに対して、異なる方向から複数の変位検出装置によって撮影することで、昼夜問わず外乱による誤検出を低減させることができる。さらに、変位検出装置で撮影した画像データと過去の計測データと気象データを統合することにより、気温の変化によるターゲットもしくは変位検出装置の変形や、両方の変形、降雨や風による変位の誤検出が発生しやすい場合でも、高確率で正しい判定が可能になる。また、各変位検出装置でデータを分散して保存することにより、変位検出装置が最後の１台になっても、計測を継続することが可能である。 （もっと読む）

【課題】本願発明の課題は、柱状物体の空間情報を得るためには多くの労力と時間を要する、大量の柱状物体を漏れなく抽出することが難しい、あらかじめ柱状物体を認識しなければならない、といった問題を解決することであり、大量の計測データの中から、正確かつ短時間で、柱状物体を自動抽出する柱状物体抽出方法、柱状物体抽出プログラム、及び柱状物体抽出装置を提供することにある。
【解決手段】本願発明の柱状物体抽出方法は、計測点群から柱状物体を抽出する方法であり、計測点群からそれぞれ独立した領域ごとにセグメントデータを得るセグメンテーション工程と、細線化処理を行うことで立設物形状データを得る細線化工程と、主成分分析を行って固有値から算出される特徴量に基づいて形状分類を与える形状分類工程と、特徴量等に基づいて立設物の柱状判定を行う柱状物体判定工程を備える方法である。 （もっと読む）

【課題】対象物が太陽光で照らされた屋外のように、多様性や変化に富んだ環境下において、画像中の対象物を１０画素以下の少ない画素から、誤認することなく検出することができるマーカ、マーカ検出方法および装置を提供する。
【解決手段】対象物１の表面に取り付けたマーカ１０であって、乱反射材からなる内層１２と、内層の外側に取り付けられた偏光フィルムからなる外層１４とを有し、外光２を乱反射し、地表に対し水平、垂直、又は斜めの偏光３に変換して放射する。 （もっと読む）

【課題】透明体であるワークの安定的な位置を検出することができるワーク位置検出システムを提供する。
【解決手段】透明体であるワークの端面が発光するように光を照射する少なくとも一つの投光部（２１ａ〜２１ｃ）と、光によってワークの端面に生じた発光箇所を撮像する撮像部（２２ａ、２２ｂ）と、撮像部による撮像結果に基づいてワークの位置を検出する検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】計測対象面の凹凸に起因する面位置センサの計測誤差の補正データを作成し、該補正データを用いて計測精度が改善される面位置センサを用いて、移動体を高精度に２次元駆動する。
【解決手段】 Ｘ干渉計１２７、Ｙ干渉計１６を用いて位置を監視しながらウエハステージＷＳＴを移動させ、センサ７２ａ〜７２ｄを用いてウエハステージ上面に設けられたＹスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２のＺ位置を計測する。ここで、例えば、２つの面位置センサ７２ａ，７２ｂの計測結果の差より、Ｙスケール３９Ｙ_２のＹ軸方向の傾きが得られる。Ｙスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２の全面について傾きを計測することにより、それらの２次元凹凸データが作成される。この凹凸データを用いてセンサの計測結果を補正し、該補正済みの計測結果を用いることにより、高精度にウエハステージを２次元駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 感度良く海中ケーブルの全長に渡って歪変化を計測することが可能な洋上浮体設備用の海中ケーブルの歪測定方法および海中ケーブルの歪測定システムを提供する。
【解決手段】 海中ケーブル３は、主に電力用線心１３、鎧装２３ａ、２３ｂ、防食層２５、ラインセンサ２７等から構成される。３本の電力用線心１３を撚り合わせた後、隙間に樹脂紐等の介在物を配置して略円形のコアを形成する。得られたコアの外周に海中ケーブル３の荷重を支持する鎧装部が設けられる。鎧装部は、たとえば鎧装２３ａ、２３ｂの２層構造である。鎧装部の外周には、防食層２５が設けられる。防食層２５が外部から水が内部に浸入することや、外傷を防止するための層である。鎧装部の外周側に設けられる鎧装２３ｂの一部は、ラインセンサ２７と置き換えられる。ラインセンサ２７を用いてＰＰＰ−ＢＯＴＤＡ法によって海中ケーブルの全長に渡って歪変化が測定される。 （もっと読む）

【課題】遊戯盤に植設される釘は植設される位置、および高さが所定の範囲内でなければならない。しかし、所定の高さより高い釘を見つける方法は、すでに開示されているが、所定の高さより低い釘を高速にしかも釘にダメージを与えることなく見つけるのに、適した方法はなかった。
【解決手段】前記遊戯盤を所定の速度で搬送する移送手段と、前記遊戯盤の垂直方向に視軸が配置された第１のラインセンサと、視軸が前記第１のラインセンサの視軸から所定の角度傾き、かつ前記視軸が前記第１のラインセンサの視軸と交わる交線が、前記遊戯盤の前記釘の頭と同じ高さに配置される第２のラインセンサと、前記釘の頭を前記第１のラインセンサが撮影した地点と前記第２のラインセンサが撮影した地点の間の距離に基づいて、前記釘の高さを算出する制御装置を有する検出する検査装置。 （もっと読む）

【課題】ベルトの深さ方向の傷の検出精度を向上させるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】所定方向に形成された内側平坦部２０及び外側平坦部２２と、湾曲側部２９ａ、２９ｂとを輪郭とする略矩形断面を呈する薄型金属ベルト１８の表面に存在する傷を検査するベルト検査装置３０であって、内側平坦部２０側から照明光を湾曲側部２９ａ、２９ｂに出力する赤色光源４８、５０と、外側平坦部２２側から、前記湾曲側部によって反射された照明光を撮影するカラーカメラ４０、４２と、カラーカメラ４０、４２が照明光を撮影した画像に基づいて薄型金属ベルト１８の表面状態を判定する表面状態判定部７８とを備え、表面状態判定部７８は、撮影された照明光の幅を計測し、該照明光の幅に基づいて、薄型金属ベルト１８に、所定方向を深さ方向とする傷があるか否かを判定する。 （もっと読む）