【課題】自動車用窓ガラスのプライマ塗布領域のような帯状の検査対象領域について、プライマ塗布状態等の検査対象を効率良く高精度で検査できるようにすることである。
【解決手段】検査対象物３０上の帯状の検査対象領域を撮影して、この撮影した画像から検査する画像検査装置であって、撮影装置１８および該撮影装置１８が撮影する検査対象領域を照明する照明装置２２を取付けたロボットハンド１２と、該ロボットハンド１２に取付けられた撮影装置１８と照明装置２２を検査対象領域上に設定された経路に沿って移動させるロボットハンド移動手段と、該ロボットハンド移動手段により前記撮影装置１８が検査対象領域上の経路に沿って移動する際に該検査対象領域を連続撮影して画像を取得する画像取得手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】正常な膜厚に対して膜厚差が生じている特定周期のスジムラのみを検出する。
【解決手段】本発明の検査装置４は、第１方向から光を照射して検査対象基板Ｐ上に配列した絵素を撮像した画像Ｌと、上記第１方向とは異なる第２方向から光を照射して上記絵素を撮像した画像Ｒとのそれぞれにおいてスジムラを検出するスジムラ検出部１２と、画像Ｌ及び画像Ｒのそれぞれにおいて、検査対象基板Ｐ上でスジムラと垂直な方向に予め定めた間隔Ｔで検出された複数本のスジムラを抽出する特定周期ムラ抽出部１３と、画像Ｌ及び画像Ｒの両方で検出されたスジムラを検出対象スジムラとして抽出する検出対象ムラ抽出部１４とを備えているので、正常な膜厚の絵素に対して膜厚差が生じている絵素の存在によって生じる特定周期のスジムラのみを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】多層薄膜厚の形状及び屈折率分布を反射光度計の原理を利用して測定する非接触、非破壊性測定装置を提供する。
【解決手段】１枚以上の狭帯域光フィルタと二次元に配列された光検出器を使用し、また薄膜厚さと屈折率とが非線形関数で表示される原理上の数式を反復的な数値演算方法によって最適値を探すことによって基板上の多層薄膜厚の形状、屈折率の分布などを局部的に同時に測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、屈折率と厚さの修正効果を有する精密光学コーティングモニタリング法を提供する。
【解決手段】
光学モニタリンググラフィックによって提供された情報により、また、極値点と終点の膜堆積の光学特性に合わせて、各フィルム層の屈折率や厚さ及び対応する補正厚さを推定でき、これにより、作業者が最初に入力した屈折率に対して即時に修正でき、また、フィルム層の終点透過率や反射率により、前のフィルム層の厚さを算出でき、モニタリング波長に対してエラー補正厚さを有する切点を推定でき、そのスペクトル位置が偏移しなく、中心極値も変更せず、そして、作業者が任意に各フィルム層に対して、予測した切点の近くに対応する感度が高いモニタリング波長を選択でき、作業者が工程状況をより把握でき、元の設計に満たす光学素子を作製できる。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の端部の状態を効率良く検査するとともに、被検査体に生じる欠陥部分の画像を容易に取得する。
【解決手段】 薄膜が形成された円板状の被検査体を回転させながら前記被検査体の端部を撮像することで、前記被検査体の端部の状態を検査する端部検査装置において、被検査体の表面は、平坦部と、平坦部の周縁に設けられ、被検査体の周面に向けて下り傾斜する傾斜部とから構成されており、被検査体の上方から、傾斜部と平坦部の一部を含む被検査体の端部の画像を取得する第１の画像取得手段と、薄膜が形成されていない被検査体の表面の端部を示す基本画像と、第１の画像取得手段により取得された画像とを比較することで、薄膜が傾斜部に形成されているか否かを認識する画像比較手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被測定膜を形成するための基板がホウケイ酸ガラス基板等のように赤外光の吸収が大きい基板であっても、被測定膜の実用的な赤外吸収スペクトルを得ることができるようにする。
【解決手段】 第１の試料１の基板１１上に形成された被測定膜１２および赤外光を半透過するＩＴＯ膜１３に赤外光を照射し、それによって反射された赤外光を検出し、この検出結果から第１の赤外吸収スペクトルを得る。また、第２の試料２の基板１１上に形成されたＩＴＯ膜１３に赤外光を照射し、それによって反射された赤外光を検出し、この検出結果から第２の赤外吸収スペクトルを得る。そして、第１の赤外吸収スペクトルから第２の赤外吸収スペクトルを差し引くと、第１の試料１の被測定膜１２の正味の赤外吸収スペクトルが得られる。 （もっと読む）

【課題】イオン伝導性電解質膜におけるピンホール等の検査方法を提供する。
【解決手段】電解質膜の一方の面に調光薄膜を接合し、水素ガスを電解質膜の他方の面側から供給する。電解質膜にピンホール等の欠陥部があると、水素ガスが電解質膜の一方の面へ漏洩するから、該一方の面に調光薄膜を接合しておけば、欠陥部の漏洩水素ガスで調光薄膜が水素化して反射率が局部的に変化する。すなわち調光薄膜の局部的な反射率の変化の有無を目視等して電解質膜の欠陥部の有無を迅速に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾルデポジション（ＡＤ法）に適したその場測定可能な光学式膜厚モニター及びそれを用いた成膜装置を提供する。
【解決手段】 基板４９上に供給した超微粒子脆性材料に機械的衝撃力を負荷して超微粒子脆性材料を接合させ成形体を形成する成膜装置の光学式膜厚モニターであって、測定プローブ４１０の端面から成形体に白色光を入射し、成形体からの反射率スペクトルを測定し、反射率スペクトルの波長域が超微粒子脆性材料の粒径よりも長い条件下で、反射率スペクトルの干渉状態から成形体の膜厚と屈折率を導出する。 （もっと読む）

【課題】
金属などの部材やそれらに金属皮膜を形成した表面で、光学的に全反射ないしはそれに近い状態の表面は、全反射による鏡面反射光が強く、表面欠陥の検出に有用なランダム反射光を検出することは困難である。このため従来技術では、表面欠陥検査の自動化は困難であった。
【解決手段】
本発明は、評価対象物とカメラを固定し，点光源の位置を変えて、または複数位置に配置した点光源を順次点灯することにより、複数枚の表面画像を計測する工程、金属表面反射モデルを用いて強い鏡面反射を削除し微小なランダム反射を抽出する工程、複素数離散ウェーブレット変換を用いてノイズ除去や欠陥鮮鋭化などを行う工程、パターンマッチングにより欠陥を検出する工程などの組み合わせにより、評価対象物の表面欠陥、特に金属皮膜が形成された鏡面状態の部材や部品の表面欠陥の自動検査装置とその検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】透過性を有する光学部材の表面を部分的に透明膜で被覆した測定対象物の当該透明膜の膜厚を干渉計を利用して求める。
【解決手段】表面を部分的に透明膜で被覆され、かつ、透過性を有する光学部材からなる測定対象物の裏面からの反射光と参照面からの反射光により生じる干渉縞波形のピークを検出し、当該ピークの位置情報を利用して光学部材の裏面高さを算出した後に、当該裏面高さと透明膜の既知の屈折率から透明膜の屈折率の影響を除去した物理膜厚を求める。 （もっと読む）

【課題】同様の膜厚を有する層が複数存在する多層薄膜であっても、各層の膜厚を独立して短時間に高精度で測定することができる膜厚測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置１は、被測定フィルムＦに照射する白色光を発光するキセノンフラッシュランプ１１ａ，１１ｂと、白色光の反射光を分光して反射分光スペクトルを得る分光器１４ａ，１４ｂと、演算部１５とを備える。演算部１５は、分光器１４ａ，１４ｂで得られた反射分光スペクトルに対して複数の波長帯域を設定する設定部２２と、反射分光スペクトルのうち、設定された複数の波長帯域における反射分光スペクトルを波数域反射分光スペクトルに変換する波数変換部２３と、波数域反射分光スペクトルをパワースペクトルに変換するフーリエ変換部２４と、パワースペクトルから被測定フィルムＦの厚みを求める膜厚算出部２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学特性の測定精度を向上させるとともに、被測定物に対する焦点合わせをより容易に行なうことのできる光学特性測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】測定用光源１０は、被測定物の光学特性の測定に用いられる測定光を生成し、測定光は被測定物の光学特性の測定範囲の波長を含む。観察用光源２２は、被測定物への焦点合わせや測定位置の確認に使用される観察光を生成し、観察光は被測定物での反射可能な波長を含むように選択される。このように測定光と観察光とをそれぞれ独立に共通の対物レンズ４０を介して被測定物に照射することにより、光学特性の測定精度の向上と被測定物に対する焦点合わせの容易化とを同時に実現する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面を覆う透明膜の段差部分の屈折率と当該屈折率の影響を除去した物理膜厚とを干渉計を利用して精度よく、かつ高速に求める。
【解決手段】測定対象物と参照面とに所定周波数帯域の白色光を照射しながら両照射距離を相対的に変動させて干渉を生じさせ、ＣＣＤカメラで測定対象物の表面画像を取得する。この取得した画像の画素ごとに光強度値のピークとなる位置情報を求め、求まるピーク位置情報から透明膜の表面高さおよび透明膜の屈折率の影響を含む光学膜厚を求め、所定領域と当該領域と隣接する領域の光学膜厚の偏差を算出し、偏差の生じた領域の裏面が平坦であると仮定し、両領域の表面高さおよび光学膜厚の測定結果を利用して屈折率および物理膜厚を求める。 （もっと読む）

【課題】分光エリプソメータにおいて基板の傾斜角を測定するとともに小型化する。
【解決手段】分光エリプソメータ１の照明部３は測定用光源部３１および補助光源部３４を有し、補助光源部３４からの補助光は測定用光源部３１からの光と共にポーラライザ３２を介して基板９上へと導かれる。基板９にて反射された補助光はアナライザ４１を介して遮光パターン撮像部４４にて受光され、遮光パターンの像が取得される。演算部５では、遮光パターンの像に基づいて基板９の傾斜角が求められ、傾斜角を利用しつつ偏光解析が行われる。分光エリプソメータ１では、基板９の傾斜角を測定するための光学系の一部と、偏光状態を取得するための光学系の一部とが共有されるため、小型化可能とされる。 （もっと読む）

【課題】透光性材料の表面からその透光性材料に埋設された金属膜までの深さを非破壊で精度良く簡便に測定するための金属膜の埋設深さ測定方法を提供する。
【解決手段】赤外光を用いて、金属膜が埋設された透光性材料の反射スペクトルの測定を一定の入射角θで行うことによって反射スペクトルを求め、得られた反射スペクトルの２５００ｃｍ^−１以上の波数域における周期的な干渉縞の周期Ｐ（ｃｍ^−１）を求め、透光性材料の屈折率をｎとして、透光性材料の表面から金属膜までの深さｄ（ｃｍ）を、ｄ＝１／（２Ｐ（ｎ^２−ｓｉｎ^２θ）^０．５）により求める。 （もっと読む）

【課題】測定のＳＮ比を低下させることなく、光ファイバの先端部に窓材を付加し、光ファイバ先端部の汚れや破損を防止することのできる膜厚測定装置を簡単な構成により実現する。
【解決手段】 白色光を投光側光ファイバを介して被測定面に照射するとともに、この被測定面からの反射光を受光側光ファイバで受け、この反射光を利用して前記被測定面に形成された薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置において、前記投光側光ファイバの出射端と前記受光側光ファイバの受光端とを隣接して配置するとともに、この両光ファイバの端部の前方に窓材を配置し、前記投光側光ファイバから出射される白色光の光軸に対して前記窓材の取付角度を垂直状態から傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】被塗布物の塗布面が凹凸面であり、該塗布面への塗布剤の塗布状態を簡易な構成で測定することのできる塗膜測定装置及び塗膜測定方法を提供する。
【解決手段】本塗膜測定装置１は、投光器５及び受光器７を有し、該投光器５と受光器７とが互いに近接・遠退自在に移動及び固定可能な測定ユニット１１を備えているので、金型２０の塗布面２〜４が凹凸面であった場合、該塗布面２〜４への離型剤２１の塗布状態を容易に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】官能検査との対応が良い、表面に凹凸のある粒子状の塗装模様を評価する方法を提供する。
【解決手段】ステップ４で、輝度画像の二値化を行い粒子部と下地部の分離を行う。このとき、二値化された輝度画像を反転させる。続いてステップ５で、輝度の高い方の二値化画像データ（粒子部）の、全領域対する面積率を算出する。このようにして求めた面積率と、官能検査による粒子部の数との間には良好な相関が見られる。次にステップ６で、画像データ領域全体に縦方向もしくは横方向の少なくともどちらかの方向に等間隔の線を引き、その線と、輝度の高い方の二値化画像データ（粒子部）とが交差する線分の長さデータを得る。このようにして求めた相対頻度の値と、官能検査による粒子部の大きさとの間には良好な相関が見られる。 （もっと読む）

【課題】 、基板に溶液を塗布するに際し、今後予想される要望に対応すべく、液滴の吐出量を算出する速度、精度の更なる向上を図ること。
【解決手段】 基板１に溶液を塗布する溶液の塗布方法において、基板１に塗布された液滴Ｌの厚さと、該液滴Ｌを透過する光を該液滴Ｌが吸収する吸光度との厚さ／吸光度関係を予め定め、基板１に塗布された液滴Ｌに対して照射した光の吸光度を測定し、上記液滴Ｌの厚さ／吸光度関係に基づいてこの測定した吸光度に対応する液滴Ｌの厚さを算出し、この算出した液滴Ｌの厚さに基づいて該液滴Ｌの吐出量を算出するもの。 （もっと読む）

【課題】正確に表面形状を測定することができる表面形状測定装置、及び表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】。
本実施の形態にかかる表面形状測定装置は、光源２１と、試料１１で反射した反射光を受光する光センサ２５とが設けられたセンサヘッド１２と、センサヘッド１２と試料１１との相対位置を変化させるＸ駆動機構１７と、光センサ２５上での反射光の入射位置を抽出する位置抽出部３１と、反射光の入射位置に相対位置が対応付けられた位置データを周波数領域のデータに変換する変換部３２と、周波数領域のデータに対して、一定周波数以上の成分、又は所定の周波数帯の成分をフィルタリングするフィルタ部３３と、フィルタリングされた周波数領域のデータを、空間領域のデータに逆変換する逆変換部３４と、を備えるものである。 （もっと読む）