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Fターム[2F065CC31]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 対象物−個別例 (8,635) | 付着膜;蒸着膜 (441)

Fターム[2F065CC31]に分類される特許

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【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第1の透明膜1の一部に形成された複数の第1の溝Sa1 ,…,San の段差量t1 ,….tn と該第1の溝Sa1 ,…,San からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係f1 を求めてデータベース化した後に、第2の透明膜42の一部に形成された第2の溝45の反射光の偏光状態を示すパラメータの第1の値を計測して、該第1の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第2の溝45の第1の段差量を求める工程を含む。 (もっと読む)


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