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Fターム[2F065CC31]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 対象物−個別例 (8,635) | 付着膜;蒸着膜 (441)

Fターム[2F065CC31]に分類される特許

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【課題】ウェハ表面の膜の端部の高さを精度よく測定可能な検査方法を提供する。
【解決手段】ステージによりウェハを略水平に支持した状態で、高さ検出器によりウェハの平面部の高さ位置を検出するステップS101と、上ベベル部に位置する膜の端部に合焦させた状態で、撮像部により膜の端部を撮像するステップS102と、データ処理部により、ステップS102で撮像した膜の端部の画像に基づいて膜の端部の高さ位置を検出し、ステップS101で検出した平面部の高さ位置と膜の端部の高さ位置との差から、ウェハの平面部に対する膜の端部の降下量を求めるステップS103とを有している。 (もっと読む)


【課題】構造が未知の膜体に対し、比較的短い計算時間で複数の膜厚を測定することができる方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る膜厚測定方法では、測定対象の膜体に対し、予め作成された既知の単一膜厚値dj(j=1,2,...,m)に対する基準スペクトルSjと、前記膜体の所定の測定領域内におけるn個の照射領域から得られる測定スペクトルVk(k=1,2,...,n)とを、基準ベクトルsj及び測定ベクトルvkに変換し、ベクトル空間{v1,v2,...,vn}と各基準ベクトルsjとの距離Ljを算出する(ステップS1〜S4)。そして、距離Ljが極小となる膜厚値djをそれぞれ膜厚値として出力する(ステップS5及びS6)。この方法によれば、膜体の構造が未知であっても複数の膜厚を測定することができると共に、計算時間が比較的短いため、半導体製造等の用途においてリアルタイムで膜厚を測定することができる。 (もっと読む)


部品のコーティング前後にレーザー三角測量の測定を行なうことによって、プロセスの監視が自動化される。
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薄膜の厚さに関するデータ(例えば、厚さ変化)は、以下の通りに本願明細書において決定される。前記膜および基板が、全体において、干渉計構造を形成するように、前記膜は基板上に配置される。その光放射線が膜および基板によって形成される干渉計構造の方へ発されて、前記干渉計構造から光学的に反射された後、放射線は測定される。前記薄膜の厚さ関連のデータ(例えば、厚さ変化)は、その後、スペクトル関連の情報の中で、例えば、前記光学的に反射された放射線によって決定される。 (もっと読む)


様々な計測システムおよび計測方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】干渉膜厚計100において、検査ワークの光反射率測定時に都度必要であった付随計測(特に校正サンプルの計測)を省略可能にして、測定時間の短縮や装置構成の簡単化を促進する。
【解決手段】ヘッド4の内部に光反射率一定の内部反射機構8を配置するとともに、該内部反射機構8で反射した光が、光検出器2で受光されるように構成しておき、光が実質的に導入されていない状態での光検出器2の出力値と、光を実質的に反射しないダークサンプルを用いたときの前記光検出器2の出力値と、光反射率が既知の校正サンプルを用いたときの光検出器2の出力値と、測定対象である検査ワークを用いたときの光検出器2の出力値とに基づいて、前記検査ワークの光反射率を算出するようにした。 (もっと読む)


【課題】設置場所における外部からの光の影響を受け難く、外部からの光の影響を避けるための調整を必要としない、画像検査装置、画像検査方法及び画像検査に用いるコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】画像検査装置は、ガラス140上のウレタン塗布領域に塗布されたウレタン144に赤外線を照射する赤外線照射装置120と、ウレタン144を撮影する赤外線撮影装置116とが取り付けられたロボットハンド112を備え、ロボットハンド112はウレタン塗布領域に沿って設定された経路上を移動することができる構成とされている。そして、ロボットハンド112が前記径路上を移動する際に、赤外線照射装置120によって赤外線が照射されたウレタン144を、赤外線撮影装置116により連続撮影して画像を取得し、赤外線撮影装置116により取得した画像によりウレタン144の塗布状態を検査する。 (もっと読む)


【課題】
周期構造物の構造を早くかつ正確に把握する方法を提供する。
【解決手段】
仮想周期構造物を設定して、前記設定された仮想周期構造物を多数の層に分けて、リープマン−シュウィンガー積分方程式をM次内挿法で離散化させて前記仮想周期構造物に対する反射率または透過率に対する物理量を計算する工程を含む、周期構造物分析方法に対するもので、M次内挿法を用いてより早い時間内により正確な非破壊検査ができる。 (もっと読む)


【課題】高スループットかつ高精度な膜測定を安価で容易に行なう膜測定方法を得ること。
【解決手段】第1の基板上に形成されたサンプル膜Aに光を照射して膜質測定した場合の膜質情報3Aと、第2の基板上に形成されサンプル膜Aと同じ種類の膜材であるサンプル膜Bに光を照射して膜質測定した場合の膜質情報3Bと、を比較し、膜質測定結果の差が所定値よりも小さくなる波長の光を、膜厚測定に用いる波長領域の光として選択し、サンプル膜A,Bと同じ種類の膜材である測定対象膜に、選択した波長領域の光を照射して、測定対象膜の膜厚を測定する。 (もっと読む)


【課題】高い精度で光学膜厚及び分光特性の計測が可能な光学式膜厚計及び光学式膜厚計を備えた薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】光学式膜厚計は、投光器11と、反射ミラー17と、受光器19と、分光器20とから構成されており、測定光の入射方向に対して実基板Sの逆側に、測定光の光軸に対してほぼ垂直に反射面を配設された反射ミラー17を備えている。また実基板Sは、測定光の光軸に対して所定の傾き角度を有して配設される。測定光(出射光と反射光)が実基板Sを2回透過することになり、透過率(光量)の変化量を大きくすることができ、膜厚測定の制御精度を向上させることができる。また透過位置の違いによる測定誤差の発生を防止することができ、また、測定基板を所定の経路を通って2回透過していない測定光が受光器19側で検出されることがなくなるため、高い精度で光学膜厚及び分光特性の計測ができる。 (もっと読む)


【課題】凹凸面を有しこの凹凸面に塗膜が形成された基材に対して光を照射すると共に前記塗膜からの反射光を検出し、この反射光の強度に基づいて塗装不良を検出するにあたり、塗装不良の有無を正確且つ容易に判定することができる塗装不良検査方法を提供する。
【解決手段】平坦面を有しこの平坦面に前記塗膜と同一組成の判定用塗膜が形成された判定用基材4に光を照射すると共に塗膜からの反射光を検出する。光の入射方向に対する前記判定用基材4の角度θが所定の角度以上の場合の反射光の最大強度を除外強度とする。基材の塗膜からの反射光の強度に基づいて塗装不良を検出する際に、前記除外強度以下の強度の反射光の検出結果を除外する。 (もっと読む)


【課題】被覆膜の厚さと独立して、基板よりも反射率の低い被覆膜付きの基板上に存在するパターンの三次元形状を非破壊で測定することができる三次元形状測定装置を提供することである。
【解決手段】可視光に対して透明な被覆膜付きの基板上に設けられた不透明なパターンの物理的三次元形状を測定する三次元形状測定装置であって、第1波長の照明光と、前記第1波長と異なる第2波長の照明光とを切り替えて照射する光源部と、前記第1波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第1仮想段差と、前記第2波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第2仮想段差とを測定する光検出器と、前記第1仮想段差と前記第2仮想段差とに基づいて、前記パターンの物理的三次元形状を決定する処理部とを備える。 (もっと読む)


【課題】装置を大型化することなく、安定して像担持体のホームポジションを検出可能な画像形成装置を提供すること。
【解決手段】最表面薄膜層3bが、厚みが比較的厚い厚膜領域31および厚みが比較的薄い薄膜領域32を有し、厚膜領域の厚みd(nm)および薄膜領域の厚みd(nm)が関係式;50nm≦d−d≦950nm;20nm≦d<d≦1000nm;を満たす像担持体3、および光センサ20を備えた画像形成装置であって、像担持体のdおよびdが、発光センサからの光に対する像担持体外周面の反射率Rと像担持体の最表面薄膜層の厚みd(nm)との関係を表す反射率関数R(d)について、関係式;|R(d)−R(d)|≧0.5×{Rmax(d)−Rmin(d)}をさらに満たす画像形成装置。 (もっと読む)


基材上の被膜の厚みを測定する方法を記載する。前記基材は、第2主表面と反対側の第1主表面を有し、前記被膜は前記第1主表面の一部分を覆っている。第1測定工程の間に、第1測定ビームを用いて第1基準点から前記基材の前記第1主表面の前記被膜で覆われていない一部分までの距離を測定し、第2測定ビームを用いて第2基準点から前記基材の前記第2主表面の被膜で覆われていない一部分までの距離を測定する。第2測定工程の間に、前記第1測定ビームを用いて前記第1基準点から前記被膜までの距離を測定し、前記第2測定ビームを用いて前記第2基準点から前記基材の前記第2主表面の被膜で覆われていない一部分までの距離を測定する。そのようにして測定した前記被膜の厚みは、自動車用グレージングペインにインクを塗布する方法における制御パラメータとして用いることもできる。
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【課題】塗膜の膜厚を、低コストで、非接触で正確に計測する。
【解決手段】カメラ(撮像部)13は、照明光12で照射された試料20の表面をカラー撮像する。この際、膜厚を計測する際には、位置(A)に設置され、照明光12の反射光14がこのカメラ13に直接入射しない構成とする。これにより、カメラ13が検出する光の大部分は、照明光12の試料20による散乱光15となる。パーソナルコンピュータ(制御部)16は、R信号、G信号、B信号の強度を、色相h、彩度s、明度vのHSV信号に変換する。パーソナルコンピュータ16は、この散乱光におけるh、s、vの値から塗膜22の膜厚tを算出する。 (もっと読む)


【課題】下層に形成された凹部のパターンの上に、フォトレジストを形成して上層のパターンを重ねて露光する際に、下層のパターンの影響を受けずに上層のパターンを形成することができるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】第1のデバイスパターンと、矩形状に掘り込まれたマークが第1の方向に所定の間隔で配列された第1のマーク列を第2の方向に複数配列した第1の検査用パターンと、が形成された加工処理対象上にレジストを塗布し、第2のデバイスパターンを形成するためのマスクパターンと、矩形状に掘り込まれたマークが第1のマーク列のマーク間に配置されるとともに、第2の方向の形成位置が第1のマーク列と所定の長さだけ重なるように配置される第2のマーク列を第2の方向に複数配列した第2の検査用パターンと、をレジストに形成し、第1と第2の検査用パターンを用いて算出した合わせずれ量から後の工程に進むか否かを判定する。 (もっと読む)


本発明は、基材(2)上に被覆されたコーティング層(7)の厚みを測定する装置及び方法に関する。基材(2)上のコーティング層(7)の厚みは、コーティングローラー(3)上のコーティング層(4,8)の厚みが該コーティングからコーティングローラー(3)から基材(2)へ転写される前後に測定されることによって間接的に測定される。コーティングローラー(3)上のコーティング層(4,8)の厚みを測定するために、2つのセンサー(9,10)がコーティングローラー(3)上の各々の層(4,8)に向けられて使用される。センサー(9,10)はIR放射器とIR検知器とを備えている。
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【課題】外乱(例えば温度変化や振動)が測定精度に与える影響を抑制でき、測定レンジに依存しない高精度の測定が可能な低コヒーレンス干渉計を提供する。
【解決手段】本発明に係る低コヒーレンス干渉計1は、測定対象2の三次元形状又は膜厚測定に供される低コヒーレンス干渉計であって、白色光を射出する光源11と、白色光を測定対象に集光させ光軸方向に移動可能な対物レンズ14と、白色光を測定対象2に照射する物体光3と参照鏡17に照射する参照光4とに分波し、測定対象で反射された物体光3と参照鏡17で反射された参照光4を合波して白色干渉光を出力させる光分波合波器16と、光分波合波器16から出力された白色干渉光を検出する白色光検出器20と、対物レンズの光軸方向の移動量を測定するための移動量測定器30を備え、移動量測定器はレーザ光を射出するレーザ光源31と光軸上に形成されレーザ光を反射する反射膜32を有する。 (もっと読む)


【課題】光導電性感光体におけるフィラー微粒子を分散させた表面層の膜厚及びフィラー微粒子を分散させた表面層を含む感光層の膜厚を、同時に且つ精度良く確実に測定すること。
【解決手段】中間層及び感光層を有し、感光層の所定厚さ部分が表面層として形成された光導電性感光体の膜厚を測定する際に、光源からの光を光導電性感光体に垂直入射し、表面層表面において反射した第1の反射光と、中間層表面において反射した第2の反射光とが干渉した第1の干渉光、及び、第1の反射光と、入射光の中で表面層の中間層側の面において反射した第3の反射光とが干渉した第2の干渉光を、分光手段に導いて分光し、分光した分光スペクトル強度から反射率を演算する際に、反射率を任意の大きさに拡大することにより干渉波形を求め、干渉波形の低周波成分に基づき表面層の膜厚を演算算出し、干渉波形の高周波成分に基づき感光層の膜厚を演算算出することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基材上に形成された被膜の膜厚を簡便に測定することができる、汎用性に優れた膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】基材上に形成された被膜の膜厚測定方法。波長λnmの光に対して表面反射率R0を有するテスト用基材上にテスト用被膜を形成し、該テスト用被膜の前記波長λnmの光に対する表面反射率R’を測定することを、前記テスト用被膜の膜厚を変化させて2回以上行うことにより、前記テスト用被膜の膜厚と表面反射率変化量(R’−R0)との関係式を導出し、膜厚測定対象の被膜の前記波長λnmの光に対する表面反射率Rを測定し、該表面反射率Rと前記テスト用基材の表面反射率R0との差分(R−R0)を前記表面反射率変化量として前記関係式に適用することにより、前記膜厚測定対象の被膜の膜厚を求める。 (もっと読む)


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