【課題】インラインでのサイドドアの全数検査が可能であって、ボデイに実際のサイドドアを組み付けることなく、組み立てられた実際のサイドドアの建付精度の評価に同じく実際に生産されたボデイ側のドア開口部の形状を反映させて、ドアの建付精度の評価結果の信頼性向上を図った方法を提供する。
【解決手段】組み立てられたサイドドアＤｒまたはＤｆ単独の実測データと、同じく組み立てられたボデイ単独での実測データとを、データ処理装置２３においてボデイ座標系のドアヒンジ取付穴を基準に互いに突き合わせて、サイドドアのパーティング部での建付精度を演算・解析する。 （もっと読む）

【課題】コストがかかることがなく、姿勢角または走行する平面を検出する。
【解決手段】距離演算部２８は、受光装置２０で受光された反射光に基づいて、床面上の複数の点までの距離Ｌｍ_（ｉ）を演算する。姿勢検出部３０は、受光装置２０の各受光素子の出力から演算された各々の距離Ｌｍ_（ｉ）と、複数の候補姿勢角θ´の各々の場合における距離計測装置１２から床面までの理論上の各々の距離Ｌｒ_（θ´）とに基づいて、姿勢角θを検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、死角領域をできるだけ少なくした対象物体全体の３次元形状データを得ることができる３次元形状復元処理装置及び方法並びにプログラムを提供することを目的とするものである。
【解決手段】対象物体Ｓに対して反射ミラー２４及び２５を介して撮像素子Ｄにより撮影を行う。反射ミラー２５を光軸Ａを中心とする円周Ｃ上に周回移動させて異なる角度位置から撮影を行い、各角度位置において焦点距離を変化させて撮影した複数の撮影画像の合焦領域に基づいて各角度位置の立体形状データを生成する。そして、立体形状データの死角領域を除去する編集処理を行った後、編集形状データを共通座標系に変換処理して統合することで死角領域の少ない３次元形状データを復元することができる。 （もっと読む）

【課題】 装置を大型化させずに、形状データが取得されない死角領域の範囲を狭めることが可能な３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 ３次元形状測定装置１００は、レーザー照射器１２から出射して測定対象物ＯＢに照射されるライン光の経路中に設けられ、ライン光の進行方向を測定対象物に向かう方向に変更する第１ミラー２０を備える。このため第１ミラー２０によりライン光の進路が変更する分だけライン光の進行距離が延びる。したがって、ライン光が測定対象物ＯＢに向かって広がる角度が小さくなり、測定対象物ＯＢに形成される死角領域の範囲を狭めることができる。よって、装置を大型化せずに測定対象物の死角領域の形成範囲を狭めることができる。 （もっと読む）

【課題】投影部及び撮影部が高速に動作するものでなくても、手振れによる影響を十分に低減できる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】
この３次元計測装置１は、所定角度ずつ位相をシフトして１組の縞パターンを被写体２に投影する投影部４と、各縞パターンが投影された被写体２を撮影して１組の縞パターン画像を得る撮影部５と、１組の縞パターン画像から画素ごとに位相値を復元する画像処理部６と、を備えて被写体２の表面形状を計測するものにおいて、画像処理部６は、１組の縞パターン画像相互の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段６１と、位置ずれ量分だけ画素の位置を移動し、かつ、位置ずれ量を縞パターンの波長と比較して得られる位相ずれ量を縞パターンの位相に加算する位置ずれ量補正手段６２と、を有してなる。 （もっと読む）

【課題】正確な三次元形状測定を行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】パタン投影系２０が、投影パターンの投影方向を、第１の投影方向Ａ１と、第１の投影方向に対して撮像系の光軸を中心に１８０度回転対称となる第２の投影方向Ａ２とで切り替える投影方向切替手段３０を有して構成され、形状測定部５０は、被検物の表面上における同一の測定点に対し、第１の投影方向Ａ１で投影された投影パターンが基準線に対して変形した量から求まる測定点の第１の高さ情報と、第２の投影方向で投影された投影パターンが基準線に対して変形した量から求まる第２の高さ情報との差から算出可能な撮像系のディストーションに因り発生する高さ情報を、第１又は第２の高さ情報から除いて、測定点の高さを測定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の検査を短時間で精度良く行い、回路形成の歩留まりを向上させることのできる金属箔張り積層板の外観検査技術を提供する。
【解決手段】外観検査装置Ａは、金属箔張り積層板１の表面の打痕、キズ、ピンホール、シワなどの欠陥の有無を判定するため、金属箔張り積層板１の表面を撮像するためのカメラ２と、モニター９を有しカメラ２の撮像により得られた画像に基づいて欠陥の有無を判定するためのリファレンス部２０とを備える。リファレンス部２０には、目視により確認された金属箔張り積層板１の欠陥箇所にマーキングされたマーキング部の画像がカメラ２で撮像されて入力されるとともに、検査対象の金属箔張り積層板１の表面に形成する予定の外層回路パターンの画像が入力されて、両者の画像がモニター９上に合成表示され、マーキング部の外層回路パターンへの干渉により欠陥の有無が判定される。 （もっと読む）

【課題】投影光学系及び結像光学系におけるディストーション等の影響を軽減し、計測精度が高い三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】投影対象に所定の投影パターンを投影する投影部と、パターンの投影された前記投影対象を撮像する撮像部と、前記投影対象に対する前記撮像部の光軸方向の相対位置を調整する位置調整部と、平面形状を有する校正用プレートに前記投影パターンを投影し、前記撮像部により撮像されたプレート撮像画像から、光軸方向の位置毎にデータを記憶する校正データ記憶部と、被検査物にパターンを投影し、撮像された被検物撮像画像から前記被検物の光軸方向の高さを演算する形状演算部と、前記形状演算部により得られた前記高さ毎に、記憶された前記校正データを用いて、前記高さを演算するのに用いた前記被検物撮像画像のデータを校正し、校正画像を取得する校正画像取得部とを備えることを特徴とする形状測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】高精度な波面収差測定を行うこと
【解決手段】波面収差測定機は、２次元的に配列された複数の第１ピンホールを有し光源からの放射光に基づいて第１の理想的球面波を発生させる第１のピンホール部材と；被検光学系による複数の第１ピンホールの複数の結像位置のそれぞれに対応した位置に配列された複数の第２ピンホールを有する第２のピンホール部材と；前記第１及び第２のピンホール部材の間の光路中に配置されて０次回折光を第２のピンホール部材へ到達させるように配置された回折格子と；回折格子による回折光のうち所定次数の回折光を選択的に通過させる回折光選択手段と；０次回折光が第２のピンホール部材を経由した際に発生する第２の理想的球面波と、回折光選択手段を通過した所定次数の回折光との干渉により得られた干渉縞から被検光学系の波面収差を算出する手段と；を有する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の形状分析のための指標を、ライン光の走査位置に依存せず常に一定に維持することができ、カメラによる撮像光の分析をより正確且つ適正に行なう。
【解決手段】電子部品Ｐに対してライン光Ｌを照射すると共に該ライン光Ｌを当該ライン光の照射ライン方向と交差する方向（ｘ方向）に走査し、この拡散光（反射光）Ｌｒを撮像カメラ２３にて取得することによって電子部品Ｐの走査面の形状または高さを測定する電子部品Ｐの三次元測定装置１４において、ライン光Ｌの走査位置Ｘ（Ｘ１、Ｘｃ、Ｘ２）に依存して、該ライン光Ｌの前記電子部品Ｐの走査面への入射方向に対して前記カメラに向かう散乱光の出射方向のなす角度α（α１、αｃ、α２）が変化することに起因する前記カメラでの受光量の変化を補正する補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】座標測定に用いるレーザ干渉計のエラーの影響をなくする。
【解決手段】 基板上の少なくとも一つの構造の座標を高精度に計測する方法である。Ｘ／Ｙ座標方向にトラバースできるステージが提供され、これは干渉法光計測システムに配置される。基板上の構造は、Ｚ座標方向に配向された光軸２０を持つ計測オブジェクティブ２１を通じて少なくとも一つの検出器３４上に撮像される。該構造は所謂デュアルスキャンで撮像される。システマチックなエラーはこのようにして無くされる。 （もっと読む）

【課題】容易に製作できる装置により、半導体ウェーハ（薄片試料）の端面の傷の有無を自動検査できること。
【解決手段】ウェーハ１の面に直交する一の平面内に配置され、被検査端部Ｐに対し異なる方向から光を照射する複数のＬＥＤ１２と、被検査端部Ｐの画像データを得るカメラ２０とを備え、計算機３０が、順次異なる一部のＬＥＤ１２のみが点灯した一部点灯状態になるよう制御を行い、さらに、その一部点灯状態の画像データに基づいて、点灯中のＬＥＤ１２の光の正反射光の像の領域（正反射光領域）を特定し、順次異なる一部のＬＥＤ１２のみが消灯した一部消灯状態になるよう制御を行い、その一部消灯状態の画像データついて、点灯中のＬＥＤ１２に対応する正反射領域以外の画像領域であって消灯中のＬＥＤ１２に対応する正反射領域と重複する興味領域の範囲内に、高輝度部が存在するか否かにより、被検査端部Ｐにおける傷の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】変位センサにおいて、撮像して得られたラインビームに沿う方向に対する高さの分布上の複数の局所領域または特徴点に基づく計測処理を実行する際の設定作業を簡易化する。
【解決手段】撮像画像を表示部に表示して、入力部を通じて確定指示の入力が行われたときに表示部に表示されている撮像画像を設定対象画像として画像ティーチングを実行し、計測処理として、基準位置の指定を含めた計測処理の候補である計測アイテムを表示して選択を受け付け設定するとともに、１の計測対象領域となる切り取り領域の指定を受け付けて、設定された計測処理および基準位置の情報に基づいて、計測対象領域中に、計測に用いる局所領域あるいは特徴点からなる測定点を自動設定する。 （もっと読む）

【課題】バー塗布装置等に使用される円柱状部材の真直度を精度よく測定するのに好適な真直度測定装置、方法、及び該真直度測定装置で測定した円柱状部材を使用した塗布方法を提供する。
【解決手段】バーＢの上端部を把持しながら糸状部材１４により吊り下げ、バーの上端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第１の支持部材２４により支持するとともに、バーの下端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第２の支持部材２６により支持し、バーを回転駆動させるとともに、変位センサ２０をバーに沿って移動させながらバーの振れを非接触で検出する。 （もっと読む）

【課題】カメラのキャリブレーション装置および方法において、車両の周囲に広いスペースを確保する必要がなく、しかも走行中であっても実行することができるものとする。
【解決手段】車両２００に設置されて、後部バンパ２１０の輪郭２１１を調整パターンとして含む映像を撮影するカメラ１と、カメラ１の設置姿勢を特定するパラメータを記憶するパラメータ保存メモリ３と、後部バンパ２１０の輪郭２１１を模した調整マーカＭを、パラメータに応じた姿勢で生成するマーカ生成部２１と、調整パターン２１１を含む映像に調整マーカＭを重畳的に表示させるモニタ５と、調整マーカＭの表示姿勢を調整する指示が入力される外部入力インタフェース６と、入力された調整の指示に対応する新たなパラメータを算出して、パラメータ保存メモリ３に記憶させるパラメータ演算部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面の一部に撮像不可能な部分があっても、精度の良い形状検査を行うことが可能な形状検査装置、形状検査システムおよび形状検査方法を提供する。
【解決手段】形状検査装置３０にクランク軸２の三次元形状のうち測定不可能である部分を仮補完用三次元モデルで補完して仮判定用三次元モデルを作成する仮判定用三次元モデル作成部３４、仮判定用三次元モデルの傾向を把握し、複数の補完用三次元モデルのうちクランク軸２の三次元形状を補完した場合に仮判定用三次元モデルの傾向を最も強調する補完用三次元モデルを選択する三次元モデル仮判定部３５、クランク軸２の三次元形状のうち測定不可能である部分を三次元モデル仮判定部３５により選択された補完用三次元モデルで補完して判定用三次元モデルを作成する判定用三次元モデル作成部３６、判定用三次元モデルが所定の基準を満たすか否かを判定する三次元モデル判定部３７を具備した。 （もっと読む）

【課題】測定値のバラツキを少なくすることで、測定精度を向上させた。
【解決手段】旧ゴムゲージ測定機１は、スチールベルト層３１のベルト外周面Ｌｃまでの第１測定距離Ｄ１を測定する渦電流センサー２１と、渦電流センサー２１に接して固定され、バフタイヤ３０の外周面までの第２測定距離Ｄ２を測定するレーザー変位センサーとを備えている。渦電流センサー２１の検出コイル２１ａ及びレーザー変位センサー２２の検出端２２ａは、固定された回転軸を中心に回転するバフタイヤ３０の外周面Ｌａより一定距離をもって固定されている。両センサー２１、２２のセンサー間距離Ｄ３は一定であり、第１測定距離Ｄ１とセンサー間距離Ｄ３の和から第２測定距離Ｄ２を減じることで旧ゴムゲージＧが算出される。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの基板上に形成された塗布膜の表面形状を短時間で、低コストに検査可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】基板１１上に形成された塗布膜１２の表面検査装置であって、点光源２０と、点光源２０から発せられた光の光路に設けられたハーフミラー２１と、ハーフミラー２１を経由した光を平行光に変換して塗布膜１２の表面に照射するとともに塗布膜１２の表面からの反射光を集光するように配置されたフレネルレンズ２２と、フレネルレンズ２２により集光されハーフミラー２１により点光源２０とは別の光路に導かれた反射光の集光結像された光学像を観察するＣＣＤカメラ２６とを有し、フレネルレンズ２２より高い剛性を有する補強平板４０がフレネルレンズ２２に固定されることなくフレネルレンズ２２の凹凸面に接して設けられている。 （もっと読む）

【課題】例えば面取り部、ベベル、フィレット及びその他の部品特徴形状部に見ることができるようなエッジ鋭利部を生じる可能性がある、部品特徴部及び／又は幾何学的不連続部のようなエッジ急変部を特徴付けるためのコンピュータ実行の方法、システム及びコンピュータプログラムコードを提供する。
【解決手段】部品内のエッジの最初のセグメントに対応するウィンドーサイズを設定するためのインタフェースと、前記部品内のエッジ急変部を含む前記エッジのイメージングデータポイントを処理するプロセッサと、前記エッジに適合する直線に基づく複数の相互接続直線によって形成された線を生成する３６プロセッサと、前記エッジの勾配差を計算する３８プロセッサと、前記計算した勾配差の大きさの変化に基づいて、第１のエッジ急変ポイントを特定する４０プロセッサと、前記第１の湾曲屈曲部を特徴付けるために曲率半径を計算するプロセッサと、を含む。 （もっと読む）

【課題】検査対象ワークに光沢がある被検査電子部品に対して、照明の発光部下に小型孔がある拡散板を用いることで、ハレーションを防止させ、容易に表明状態（異物、傷）を検出する表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象ワーク５に照明３を照射してカメラ１により上記検査対象ワーク５の光沢を有した表面を検査する表面検査方法において、
上記照明３と上記検査対象ワーク５の間に設けたハレーション９を防止する拡散板４の小型孔６を、上記検査対象ワーク５に隣接させ、上記照明３の光を上記小型孔６を通過させて上記検査対象ワーク５に照射し、上記検査対象ワーク５の表面を検査する構成とする。 （もっと読む）