【課題】測定精度の低下を抑えつつ測定対象物の形状測定を行うことが可能な形状測定方法、形状測定システム及び形状測定装置を提供する。
【解決手段】予めサンプリングモードを実行して、ＸＹステージ１４を一定速度で駆動した場合における受光面１９ａでの経時的な最大受光量変化情報を取得する。そして、測定モード実行時には、その最大受光量変化に基づきＸＹステージ１４の移動速度を変更しつつ、照射スポットＱの各移動位置におけるワークＷの距離測定を行う。サンプリングモード実行時において受光量変化が大きかった照射スポットＱの各移動位置では、ＸＹステージ１４の移動速度を下げてフィーバック制御の追従遅れによる測定精度の低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 管腔の所望の位置にその先端を安定した状態で固定させる。
【解決手段】 該断層からの反射光を取得するＯＣＴプローブと、ＯＣＴプローブが挿通される挿通路を有した枠体と、枠体の周方向に沿って所定の間隔で取り付けられ、その内部に流動体が封入され得る少なくとも三つの流動体封入手段と、任意の流動体封入手段に流動体を供給可能な流動体供給手段とを備えたＯＣＴ観察器具を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料の微小平面の角度を光学顕微鏡の接眼レンズ及び対物レンズの中間に２個のビームスプリッタを設置した光学系を用いて測定することにより、数十μm程度 (マイクロビッカース試験の領域に対応) の測定面に対し、高い精度で角度測定が行える装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の微小平面の角度測定装置は、試料テーブルに裁置される試料の微小平面の角度を光学系を用いて測定する装置において、光学系の光軸を通る参照光と試料の微小平面で反射した測定光とを撮像素子に入射させ、撮像素子における参照光と測定光の位置のずれから試料の微小平面の角度を測定するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 その先端を観察対象に相対的に固定させた状態で、且つ、当該観察対象を本来の性状で術者に観察させる。
【解決手段】 断層からの反射光を取得するＯＣＴプローブと、ＯＣＴプローブがスライド可能に挿通される挿通路を有した枠体と、枠体の側壁に取り付けられ、その内部に流動体が封入されることにより、その一部が該管腔内に密着し得る流動体封入手段とを備えたＯＣＴ観察器具を提供する。 （もっと読む）

【課題】 単純な構成でコンパクトであり、弾性体の内部に硬さの異なる部分を高精度で検出することができ非接触型変形状態検出装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る非接触型変形状態検出装置は、ノズルを通して空気が吹き付けられた弾性体表面の変形状態を検知する変形感知センサと、開閉弁を介して前記ノズルに加圧空気を供給する空圧源と、前記変形感知センサからの信号を受けこれを処理するデータ処理装置と、からなる非接触型変形状態検出装置であって、前記変形感知センサは、その先端から被測定部までの距離と被測定部における表面の傾斜角度に依存する出力特性を有するとともに、両者の出力曲線の勾配が同じ符号を有するものである。 （もっと読む）

【課題】従来の技術のタイプの方法および装置を、歯科技工用の物体の形状を無接触で容易に決定することができるように改善することである。
【解決手段】マトリックスカメラ（３２，３４）は、第１の、第２のおよび第３のピクセルを有するカラーマトリックスカメラであり、マトリックスカメラによって、一方の種類のピクセル（第１のピクセル）に実質的に特徴的な波長範囲にある光を検出し、２つの第１の位置座標（Ｙ座標およびＺ座標）を決定するために、他方の種類のピクセル（第２のおよび第３のピクセル）のうちの少なくとも１の値を分析する。 （もっと読む）

【課題】従来、人間によって指定又は調整を行なわなければならず問題であった基準マークの登録、ＸＹθステージと同上システムとの間の座標軸の自由度調整、カメラの配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側かの判定・調整および基準マークのカメラ視野内への捕捉を完全に自動化したＸＹθステージ位置アライメントシステムを提供する。
【解決手段】カメラの視野から幾何学的に特徴的なパターンを特別な画像処理アルゴリズムにより基準マークとして抽出・登録し、ＸＹθステージの所定の動作に対するカメラの撮像画像上での動きを計測してＸＹθステージの座標軸の方向・符号と位置アライメントシステムのそれとの関係の調整と、カメラのＸＹθステージに対する配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側にあるかの判定・同上システムでの調整を行い、また独自の視野移動方法で基準マーク含む探索パターンのカメラ視野内への捕捉を自動的に行う。 （もっと読む）

【課題】予備位置合わせセンサ用一体照明システムがあるエンドエフェクタを提供する。
【解決手段】装置は、位置合わせマーカを有する要素を支持するように構成された第一支持構造を含む。装置は、第一支持構造上に一体形成され、位置合わせマーカを照明する光ビームを提供するように構成された光源と、要素を透過した光ビームを分析することによって、位置合わせマーカの位置を検出するように構成された少なくとも１つの検出器とも含む。このような装置は、第一支持構造に対して要素を位置合わせするために使用することができる。 （もっと読む）

【課題】計測基準点を正確に設定して、レーザ素子の自己結合効果を利用した距離計測を信頼性良く高精度に実行することのできるレーザ測長器を提供する。
【解決手段】計測対象物に向けて波長変調したレーザ光を照射すると共に、上記計測対象物にて反射した上記レーザ光が導入される自己結合型のレーザ素子の前面に設けられて、例えば前記レーザ素子を保護する透明カバー、または前記レーザ素子からのレーザ光を計測対象部位まで導く光ファイバ等からなる透明体の片面にだけ無反射防止処理を施し、上記透明体の無反射防止処理を施していない面を計測基準点として用いる。 （もっと読む）

【課題】被写体画像の実際の大きさを画像と共に表示できるディスプレーを有するデジタルカメラ等の画像表示装置を提供すること。
【解決手段】レンズ１１とメカ機構１２を介しＣＣＤ１３によって取得された被写体の撮像画像を表示する画像表示装置であって、ＣＣＤ１３における撮像画像での合焦点の位置情報を取得し、取得した位置情報に対応する被写体とＣＣＤ１３間の距離情報を取得し、取得した距離情報に基づいて、合焦点における被写体の大きさを示すスケール情報を取得し、合焦点の位置情報と、距離情報およびスケール情報の少なくともいずれかとを、前記撮像画像に関連付ける。撮像画像に関連付けられた合焦点と、距離情報およびスケール情報の少なくともいずれかとを、撮像画像と共に表示するＯＳＤ制御部２０を備える。 （もっと読む）

【課題】 安定性と精度とが両立した位置及び姿勢の計測を行うことの可能な位置姿勢測定装置を提供すること。
【解決手段】 空間中に配置された指標を含む画像を撮像し、撮像画像から指標を検出する。複数の指標が検出された場合には、その分布範囲を求め、その大きさに応じて位置姿勢算出に適用するアルゴリズムを選択する（Ｓ３０３３、Ｓ３０５０、Ｓ３０６０）。例えば、指標が十分広い範囲に分布している場合は、撮像装置の位置及び姿勢の６パラメータを未知数として算出する（Ｓ３０７０）。指標の分布範囲が小さくなるほど、求めるべき未知パラメータの自由度を小さくする（Ｓ３０３５，Ｓ３０２５）。 （もっと読む）

【課題】 三次元形状計測装置の台数が増加しても短時間に三次元形状を計測可能で、大規模な形状計測も可能な三次元形状計測システム等を提供する。
【解決手段】 測定対象物１０７に正弦波格子パターンを投射する格子パターン投射手段１０１と、格子パターン投射手段を保持しながら、格子パターン投射手段を一定の方向に一定量ずつ移動させる格子駆動手段と、正弦波格子パターンが投射された測定対象物の画像を撮影する画像撮影手段１００とを備えた複数台の三次元形状計測装置１０３〜１０６を有する三次元形状計測システムにおいて、各々の格子パターン投射手段は、互いに異なる波長の正弦波格子パターンを同時に投射する。投射される格子パターンの波長が異なるため、隣接する装置同士のパターン光が干渉しても三次元形状の計測が可能となり、各三次元形状計測装置が同時に計測することができる。 （もっと読む）

【課題】計測光路の温度揺らぎを抑えて位置計測精度を向上させて高精度な露光を行う。
【解決手段】可動子と固定子とを有する駆動部と、前記駆動部によって移動する移動体の位置を光を用いて計測する計測部と、気体を排気するための排気部とを備え、前記排気部を前記固定子に設けた。 （もっと読む）

【課題】３次元計測時の計測位置および姿勢を容易に決定し、３次元計測における操作性を向上させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】３次元計測システム１は、ＣＡＤデータに含まれるアノテーション情報に基づいて、計測対象物のプリミティブを特定する特定部３４と、計測対象物のうち、特定されたプリミティブに相当する部分を撮影対象領域とするように、計測用カメラの位置および姿勢を決定する決定部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 センサ原点のドリフトを抑制する。
【解決手段】 被計測手段のリファレンスの位置を計測手段で定期的に計測して該計測結果を記憶手段に記録データとして記憶し、システムリセットが発生した時に、前記計測手段を初期化し（Ｓ２３）、前記記憶手段に記憶された記録データのうち最新の記録データに基づいて原点オフセットを算出し（Ｓ２５）、被計測手段の位置を前記計測手段で計測し（Ｓ２６）、当該計測結果及び原点オフセットに基づいて定められる位置を位置調整動作の基準となる原点とする。 （もっと読む）

【課題】 可動部材に余計な負荷が掛からずに、位置検出を可能としたステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置を提供する。
【解決手段】 固定支持基板１０に対して、特定のＸ方向及びＹ方向に直線移動可能なＸＹ移動部材３０、３１、３６を備え、固定支持基板に、Ｘ用光源５１とその受光位置をＸ方向について認識可能なＸ用受光部材５２とをＸ方向に並べて固定し、ＸＹ移動部材に、Ｘ用光源から出た光を反射してＸ用受光部材に導くＸ用反射部材５３を固定したことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】 現状の方式では調整できない照明瞳面の「光量ムラ」を極力抑えて、高集積化や記憶容量の増加の下で、「照明光のムラ」を極力排除すること。
【解決手段】 光ファイバ４の出射端面の瞳面状態の「光量ムラ」が比較的大きい場合に、焦点切換用レンズ３１により、ＣＣＤカメラ１８の撮像面の焦点を、ウェハ１４の試料から、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面に切り換える。画像処理部１９で、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面の「光量ムラ」を算出・解析し、この解析結果に基づいて、照明光学系内で、光ファイバ４の出射端面の位置を調整する。これにより、光ファイバ４の出射端面の照明瞳面を、「光量ムラ」の少ない箇所に切り換えることができる。 （もっと読む）

【目的】金属格子の表面を透明誘電体膜で成膜することで、金属格子の安定性を向上させる。
【構成】断面形状が矩形状のレリーフ型回折格子を有する表面反射型位相格子２１は、基板２２に第１の金属膜２３が成膜され、その上層に第１の金属膜２３と異なる材質から成る第２の金属膜２４による厚さｄの断面矩形状の金属格子２５が形成されている。なお、この金属格子２５の厚さｄは一次回折が最大となるように設定され、更に金属格子２５の表面及びその間に露出した第１の金属膜２３上に、ＳｉＯ₂から成る透明誘電体膜２６が成膜されている。 （もっと読む）

【課題】非接触測定機の測定範囲よりも広い範囲を、非接触測定機を移動しながら簡単且つ高精度に測定できるようにする。
【解決手段】複数のマーカー４２、４６をワーク設置用プレート４０上に分散配置して、値付けし、該プレート４０上に配置したワーク３０、３０’、３０ａ、３０ｂ、３０ｃを、前記マーカー４２、４６の一部も測定範囲１４に含めて、非接触測定機１０により測定し、前記マーカー４２、４６の位置とワーク３０の関係により、各測定点の測定値を合成する。 （もっと読む）

【課題】 第１ステージまたは第２ステージの位置ずれによる投影位置のずれを正確に補正できる露光装置を提供する。
【解決手段】 露光装置において、マスクと感光性基板のうちの一方を保持して移動する第１ステージ１５の位置を計測する第１位置計測手段１７Ｘ，１７Ｙと、計測された第１ステージの位置に基づいて、マスクと感光性基板のうちの他方を保持して移動する第２ステージ２０の目標位置を算出する目標位置算出手段５０と、算出された第２ステージの目標位置に基づいて、第２ステージの位置を調整する調整手段１８Ｘ，１８Ｙと、調整された第２ステージの位置を計測する第２位置計測手段１９Ｘ，１９Ｙと、第２ステージの目標位置と第２ステージの位置との差分を算出する差分算出手段５０と、算出された差分に基づいて、投影光学系が有する投影光学系によるマスクのパターンの感光性基板上における投影位置を補正する補正手段１２０とを備える。 （もっと読む）