【課題】 低消費電力でコストを掛けずに直感的な遠隔操作を行えるようにすることにある。
【解決手段】 入力装置（１０）は、離隔位置にある所定立体形状のマーカ体（１８、３３、４２）を画像認識する画像認識手段（８）と、前記画像認識手段の認識結果に基づいて前記マーカ体の姿勢を判定する姿勢判定手段（１３）と、前記姿勢判定手段の判定結果に対応したイベントを発生するイベント発生手段（１５）とを備える。マーカ体（１８、３３、４２）の画像を認識し、その画像に基づいてマーカ体の姿勢を判定して遠隔操作用のイベントを発生する。リモコンに適用する場合は、リモコン本体にマーカ体を取り付ければよい。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、試料を加熱しつつ正確に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、試料Ａを保持する位置または試料Ａに対向する位置に配置され、透明基板１２１と透明基板１２１の表面に設けられた透明導電膜１２２を有する透明部材１２と、試料Ａを撮影する光検出部２２と、透明部材１２の透明導電膜１２２に印加する電圧を制御することにより、透明部材１２の温度を制御する熱制御部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】発熱の抑制、低消費電力化、及び光源の長寿命化を達成する。
【解決手段】ワークに直線状の光を照射する光源と、ワークを撮像する撮像装置と、撮像装置の受光量によって光源の発光量を調整する制御部とを有し、撮像装置は、受光素子が配列形成されてワークの画像を行方向または列方向に逐次的に受光し、制御部は、各受光素子の受光時に、受光量が最大値を超えた受光素子が存在する場合には次の受光時における光源の光量を低下させ、受光量が最大値を超えた受光素子が存在しない場合には次の受光時における光源の光量を増加させ、更に、受光素子の受光時に、光源の光量が最大光量に達し、且つ受光量が最小値を下回っている場合には、次の受光時における光源の光量を最小光量にする。 （もっと読む）

【課題】電力消費量が少なく高熱の発生を伴わずに太陽光に近い白色光で被測定物を照明できる照明手段を備えた二次元測定機を提供する。
【解決手段】
テーブル12に載置した被測定物Wに対して垂直を保持したままＸ−Ｙ方向に自在に移動する顕微鏡一体型ＣＣＤカメラ30と、顕微鏡光学系と同軸状の被測定物照明手段と、を備えた二次元測定機で、前記照明手段を、顕微鏡20の鏡筒21内のハーフミラー24と、ハーフミラー24に対応する鏡筒21側方延長位置に配置したクロスプリズム54と、該クロスプリズム54を取囲んで配置した赤,青,緑の単色ＬＥＤ52R,G,Bで構成し、単色ＬＥＤ52R,G,Bの発光がクロスプリズム54で合成されてハーフミラー24に導かれる。単色ＬＥＤ52R,G,Bの同時点灯で、太陽光に近い十分な光量の白色照明光が得られ、モニタ画面に映し出されるカラー画像が非常に見易い。照明用光源の電力消費量，発熱量が小さく、省エネルギー対策にも合致する。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の良い長寸法測定装置を提供すること。
【解決手段】長寸法測定装置１は、試料２が載置し、配置位置が固定されている試料台１０と、試料２に形成されたパターンに照明光を照射する照明ユニット２０と、照明光から得られたパターンの像を撮像する撮像ユニット３０と、試料台１０の平面度を調整し試料台１０を支持する平面度調整機構１２と、エアを試料台１０に送気し、試料台１０からエアを吸引する送気吸引部１６と、試料台１０にて浮上している試料２に吸着する吸着機構４０と、撮像ユニット３０をＺ方向に移動させるＺステージ５１と、撮像ユニット３０をＸ方向に移動させるＸステージ５２と、吸着機構４０を介して試料２をＹ方向に移動させるＹステージ５３と、試料２に形成されたパターン上の２点間の距離を測定する干渉測定ユニット６０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】検出光の出射空間のサイズを可変にすることのできる光学式位置検出装置を提供
すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０Ａにおいて、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を出射
した際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を
検出する。第１検出用光源部１２Ａ〜第４検出用光源部１２Ｄは、第１発光素子１２Ａ₁
、１２Ｂ₁、１２Ｃ₁、１２Ｄ₁〜第３発光素子１２Ａ₃、１２Ｂ₃、１２Ｃ₃、１２Ｄ₃を備
えている。対象物体Ｏｂの検出空間１０Ｒを広く設定する場合には、点灯する発光素子の
数を増やして出射空間を広げる一方、対象物体Ｏｂの検出空間１０Ｒを狭く設定する場合
には、点灯する発光素子の数を減らして出射空間を狭める。 （もっと読む）

光源を備えるシーンを照明するための構造化光生成器であり、光導波路（３０４）が、長手方向軸線を有し、かつ万華鏡風にシーンに向かって光源の個別の画像の配列を投射するように配置される略反射側部を有する筒状部を備え、前記光生成器は、投射軸線および光導波路軸線が互いに対して傾斜しているように光を再配向する光偏向素子を含む。このように、概して細長い構造体である光導波路は、光投射の方向から遠ざかるように「折り畳まれる」ことができ、それにより、投射の方向の厚さが望ましく最小限にされる光生成器のパッケージによって利点が提供される。
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【課題】外光の存在下においても投影装置からの光出力を増加させることなく対象物の３次元形状を計測することを可能にする。
【解決手段】投影装置１からスリット光が物体Ｏｂに投影され、物体Ｏｂの表面に形成されるパターンが投影装置２により撮像される。制御回路部３は、投影装置１から光パターンを投影する照射期間と投影しない非照射期間とを設ける。撮像装置２は、電荷の集積と保持とが可能な感光部を備え、画像生成部４は、照射期間に対応する感光部からの受光出力と非照射期間に対応する感光部からの受光出力との差分である反射強度値を画素値とする反射強度画像を生成する。目的画素抽出部５は、反射強度画像において光パターンに対応する画素の位置を抽出する。位置演算部６では、目的画素抽出部５で抽出した画素の位置を用いて対象物の３次元位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】より低消費電力で高速・高精度に指示体の検出が可能な光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置は、複数の光源部１０とカメラ部２０と検出部３０と制御部４０とからなる。複数の光源部１０は、検出面の所定の領域を照らす光をそれぞれ発し、これらを組み合わせて検出面全面を選択的に照らす。カメラ部２０は、検出面全面を撮像可能な画角を有し、光源部１０により照らされる指示体２の像を撮像する。検出部３０は、カメラ部２０により撮像される指示体２の像を用いて指示体２の指示位置を算出する。制御部４０は、初期スキャン時に複数の光源部１０を所定の順序で点灯させると共に、一旦検出部３０により指示体２の指示位置が検出されると、検出される指示体２の指示位置をカバーする範囲を照らす光源部１０を点灯させ、それ以外の光源部１０を消灯させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の測定範囲が撮像領域と比較して極小・広大の何れの場合であってもその測定対象物の表面上の位置を測定可能な位置測定装置及び位置測定方法を提供する。
【解決手段】ワーク２６よりも小さい寸法の撮像領域３０を有する撮像素子５０を、ワーク２６の表面３２上を相対的に移動させながら、ワーク２６の表面３２を撮像する。撮像領域３０内の画像Ｉ（ｔ）からワーク２６の表面３２上の模様（例えば、丸型溝８２）を抽出し、抽出された前記模様の、撮像領域３０内の画像Ｉ（ｔ＋１）中での変位量を検出し、検出された前記変位量及び前記寸法に基づいてワーク２６の表面３２上の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】機器の周辺でこの機器を使用し又は使おうとしている人の有無を、小型かつ簡単な構成で検知でき、機器の省エネを図ることができる光学センサを提供すること。
【解決手段】１つのパッケージに、パッケージの外部の被写体を撮像して画像信号を出力するイメージセンサ部１２と、イメージセンサ部１２が出力する画像信号を処理する信号処理回路部１３とが収容されている。信号処理回路部１３は、画像信号が表す画像内に人の顔が存在するか否かを判定して、画像内に人の顔が存在すると判定したとき、実空間でのイメージセンサ部と顔との間の距離及びイメージセンサ部に対する顔の向きを検知する。 （もっと読む）

【課題】画像を撮像する複数の撮像装置の光軸のずれを検出する光軸検出装置において、撮像装置の光軸方向のずれを効率よく検出できるようにすることを目的とする。
【解決手段】撮像装置の前方に配置された複数種類のターゲットを認識する認識手段と、上記ターゲットを認識した位置に基づいて光軸のずれを検出する検出手段と、を備え、上記認識手段は、上記撮像装置で撮像した撮像画像の画素のうちから、上記撮像画像の一部の画素集合を選択し、当該一部の画素集合内の画素の輝度に関する所定の和算および減算からなる演算に基づいて、当該演算の結果が最大値または最小値となる上記画素集合を探索する探索手段を複数種類備え、上記探索手段が探索した上記最大値または最小値に基づいて、上記ターゲットを認識する。 （もっと読む）

装置は、光伝播パネル（１）の接触面上にある少なくとも１の対象（Ｏ１）の位置を決定するように動作する。装置の照射機構は、接触面と対向面との間の内部反射による伝播用にビーム（Ｂ１、Ｂ２）の放射線をパネル（１）に誘導し、感知領域内の接触面に沿って各々のビーム（Ｂ１、Ｂ２）を掃引するように動作する。これによって、感知領域内の接触面に接触する対象（Ｏ１）が、少なくとも２のビームの一時的な減衰を生じさせるように感知領域が照射される。照射機構は、各々のビーム（Ｂ１、Ｂ２）が前記感知領域の下流で、パネル（１）上の細長い１以上の出力結合部位（ｏｕｔｃｏｕｐｌｉｎｇ ｓｉｔｅ）に沿って掃引されるように構成される。少なくとも１の光センサ（９Ａ、９Ｂ）は出力結合部位に光学接続され、出力結合部位内で受信されるビーム（Ｂ１、Ｂ２）のエネルギーを測定するように動作する。データ処理装置（７）は、光センサ（９Ａ、９Ｂ）から、時間の関数として出力結合部位内で受信されるビーム（Ｂ１、Ｂ２）のエネルギーを示す出力信号（Ｓ１、Ｓ２）を取得し、異なるビーム（Ｂ１、Ｂ２）に対する出力信号（Ｓ１、Ｓ２）に基づいて対象の位置を同定するように動作する。 （もっと読む）

【課題】安価に構成することができ、使用することができる状況の制約が少なく、２次元画像情報及び３次元情報の両方を高速に生成することができる画像情報生成装置を提供する。
【解決手段】処理選択部２６０は、投影用光源２０４を消灯させ照明用光源２１４を点灯させているフレームＦＬ１，ＦＬ３，ＦＬ５，・・・にカメラ２２４に第１の撮像を行わせ生成させた画像信号をデジタル化した第１の画像データＤ１，Ｄ３，Ｄ５，・・・を投影可否判定部２７０に処理させ、照明用光源２１４を消灯させ投影用光源２０４を点灯させているフレームＦＬ２，ＦＬ４，ＦＬ６，・・・にカメラ２２４に第２の撮像を行わせ生成させた画像信号をデジタル化した第２の画像データＤ２，Ｄ４，Ｄ６，・・・を３次元情報生成部２６２に処理させる。３次元情報生成部２６２は、半導体ウエハＷに関する３次元情報を画像データＤ２，Ｄ４，Ｄ６，・・・から生成する。 （もっと読む）

【課題】部品の画像認識を長期に渡って安定して高精度に行うことにある。
【解決手段】スキャンユニット７１を駆動するリニアモータ７３は、永久磁石７３２からなる可動子と、コイル部７３３からなる可動子とを有する。そして、このリニアモータ７３は、スキャンユニット７１の移動範囲に対応するコイル部７３３の移動範囲よりも広い範囲に亘っての前記永久磁石７３２が配列されており、その結果、スキャンユニット７１の移動範囲の両端位置においても、それ以外の位置と遜色なくコイル部７３３と永久磁石７３２との間に磁束が形成される構成となっている。 （もっと読む）

位相解析を用いて対象物体を検査するための非接触法および装置。プロジェクタは、検査される対象物体の表面上に光学的パターンを投影する。次いで、光学的パターンが投影される表面の少なくとも第１の画像および第２の画像を得る。表面上の光学的パターンの位相は、対象物体に相対的にプロジェクタを移動することによって前記第１の画像と第２の画像との間で変化される。
（もっと読む）

【課題】撮像手段によって撮像される画像にズレが生ずることがない加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を撮像するための光学系と撮像素子を備えた撮像手段と、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、チャックテーブルを該撮像手段の撮像領域を含む加工送り方向に移動せしめる移動手段と、撮像手段と該加工手段および該移動手段を制御する制御手段とを具備する加工装置であって、撮像素子に電力を供給する電源回路に開閉スイッチが配設されており、制御手段は撮像手段による撮像工程を実施する際に開閉スイッチを閉路し、撮像手段による撮像工程が終了したら開閉スイッチを開路する。 （もっと読む）

【課題】波長２００ｎｍ近傍の次世代マスク検査光源として、小型で低消費電力のマスク検査光源及びそのマスク検査光源を用いたマスク検査装置を提供する。
【解決手段】発振波長の異なる複数の半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄと、複数の半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄそれぞれに対応する波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄとを有する深紫外光源１１であって、深紫外光源１１は、半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄそれぞれから発振されるレーザ光を波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄで波長変換し、波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄで波長変換されたレーザ光を合成したレーザ光を出射することを特徴とする深紫外光源。 （もっと読む）

【課題】 光の干渉を利用した位置計測を単純な構成で低コストで行うための光源モジュールおよびこれを用いた位置計測システムを提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、レーザ光を放射する光源２および異なる光路を通過するレーザ光により同心円状の干渉模様を形成する光学レンズ系１−３を有する光源モジュール３と、干渉模様を検出する検出装置１１と、検出装置からの検出信号に基いて光源および検出装置および干渉模様の位置の少なくとも一つの位置を求める演算装置１２とを備える。光学レンズ系１−３は、一つの光源から放出された光を光軸上平面において仮想的に２つの光源から放出された光であるように対象物に投影し干渉模様を形成し得るレンズ面を備える。 （もっと読む）

【課題】電源の使用効率を十分に向上させ、回路設計の複雑性が減少し、外在の環境因子により及ぼされた誤動作の確率を低減でき、さらに解像度がより高いという利点を有する手指の接触検出機能を具する光学式指紋ピックアップ装置及びその方法を提供する。
【解決手段】一つの基板上に、一つの光源３、一つの光学式指紋センサー・モジュール２と一つの手指の接触検出センサー素子１を具備する。その中でも、手指の接触センサー素子１は、光学式指紋センサー・モジュール２に電気的に接続し且つその周囲に設けられ、手指の接触検出センサー素子１により、測定待ちの手指１１が既に光学式指紋センサー・モジュール２に接触するかどうかを検出するが、測定待ちの手指１１が既に光学式指紋センサー・モジュール２に接触していると検出すれば、光学式指紋センサー・モジュール２を起動することにより、指紋ピックアップ作業を実行する。 （もっと読む）