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Fターム[2F065DD03]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 目的 (6,263) | 分解能向上 (726)

Fターム[2F065DD03]に分類される特許

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【課題】ゴム試験片の接触面形状を得るとともに接触面内の歪み分布を算出することで、ゴム試験片の摩擦摩耗特性を適切に評価できるゴム摩擦試験方法及びゴム摩擦試験装置を提供する。
【解決手段】本発明のゴム摩擦試験方法は、ドーナツ状のゴム試験片1の外周面11に画像解析用パターン13を形成するパターン形成工程と、ゴム試験片1の外周面11を、円筒部21が透明材料で形成された回転式ドラム2に接触させつつ、ゴム試験片1及び回転式ドラム2を回転させる摩擦試験工程と、摩擦試験工程と同時に、外周面11を円筒部21を通して撮影して外周面画像11Pを取得する画像取得工程と、取得した外周面画像11Pからゴム試験片1の接触面形状を得るとともに、外周面画像11Pに含まれる画像解析用パターン13に基いてゴム試験片1の接触面内の歪み分布を算出することにより、ゴム試験片1の摩擦摩耗特性を評価する評価工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】2つの基板のそれぞれに形成されたアライメントマークの両方に同時にピントを合わせることができない場合であっても、それらの位置合わせを高精度に行うことを可能にする。
【解決手段】パターンを転写される基板に形成されるアライメントマークAM1は、正方形の中実図形であるアライメントパターンAP101〜AP109、AP111〜AP114を配列してなるものとする。一方、基板に転写すべきパターンを担持するブランケットには、アライメントマークAM2として、環状の中空矩形のアライメントパターンAP2をパターンと同じ材料で形成する。アライメントマークAM1は、低い空間周波数成分をアライメントパターンAP2よりも多く含むパターンにより構成されており、ピントが合わない状態で撮像された場合でも重心位置を精度よく検出することが可能である。 (もっと読む)


【課題】特異な輝度を持つ画素に影響されない重心位置算出を行い、変位測定の精度を向上する変位測定方法および変位測定装置を得る。
【解決手段】計測対象1にスリット光3を照射するスリット光照射装置2と、スリット光3を計測対象1に照射することによって生成される光切断線4を撮影するカメラ5と、カメラ5により得られた光切断線像から計測対象1の変位を求める画像処理装置7と、を備え、画像処理装置7は、カメラ5により得られた光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から光切断線像の重心位置を算出して計測対象1の変位を求める。 (もっと読む)


【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置1〜4及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ6を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面7にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 (もっと読む)


【課題】被計測物を精度よく計測することができる3次元計測装置およびそれに用いられる照明装置を提供する。
【解決手段】3次元計測装置1は、被計測物8に円偏光を照射する照明手段2と、照明手段2を移動させる移動手段3とを備える。また、3次元計測装置1は、被計測物8の被照射面からの反射光を受けて上記被照射面を撮像する撮像手段4と、撮像手段4で撮像された撮像画像を用いて反射光の偏光状態を検出し、被計測物8の被照射面の向きを求める演算手段5とをさらに備える。照明手段2は、円偏光を被計測物8の一部に照射する。移動手段3は、被計測物8において被照射面の位置が変わるように照明手段2を移動させる。 (もっと読む)


【課題】複雑で時間のかかるキャリブレーションを必要とせずに、高精度の路面の縦断プロファイルを作成できる移動式の三次元レーザ計測システムを提供する。
【解決手段】本発明の計測システムでは、以下の3段階のステップで路面の縦断プロファイルを作成する。最初に、計測車2に搭載されたレーザスキャナ21を用いて、走行しながら道路の路面の平面位置と高さを計測して第1の三次元点群データG1を取得する。次に、第1の三次元点群データG1を、計測車2に搭載されたGPS受信機22および慣性計測装置23を用いて取得したデータに基づいて修正して、地理座標系で表示された第2の三次元点群データG2を作成する。最後に、第2の三次元点群データG2から計測車2のいずれかのタイヤの軌跡に対応する第3の三次元点群データG3を切り出し、この第3の三次元点群データG3に基づいて、路面の縦断プロファイルを作成する。 (もっと読む)


【課題】微弱信号を増幅可能な増幅装置を提供する。
【解決手段】増幅装置は、被測定系の観測量^Aを測定する際に、測定器と、初期状態が事前選択された被測定系を相互作用させ、次に被測定系の終状態を事後選択し、測定器の波動関数ξ(p)を用いて物理量の測定を行う。被測定系の量子状態の事前選択状態、事後選択状態それぞれのベクトルを|i>、|f>とするとき、式(1)の弱値Aが既知であり、A=<f|^A|i>/<f|i>…(1)、測定器と被測定系の相互作用ハミルトニアンHが、測定器の運動量演算子^pおよび結合係数g(ただしg>0)を用いて式(2)で与えられ、H=g・δ(t−t)・^A・^p…(2)、^A=1のときに、測定器は、波動関数ξ(p)が運動量表示で実質的に式(3)となる。
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【課題】基板表面の高さレベルを決定する際のより多くの融通性及び/又は効率的レベルセンサ技術を提供する。
【解決手段】基板W表面の高さレベルを決定するように構成されたレベルセンサであって、基板W上の反射後に測定ビームを受光するように配置された検出ユニットを備え、検出ユニットは、各検出素子が測定エリア81、82、83、84の測定サブエリア8a上に反射した測定ビームの一部を受光するように配置された検出素子のアレイを備え、それぞれの検出素子によって受光された測定ビームの部分に基づいて測定信号を提供するように構成され、処理ユニットは、測定サブエリア8aでの選択された解像度に応じて、測定サブエリア8aの高さレベルを計算し、又は複数の測定サブエリア8aの組合せの高さレベルを計算するように構成された、レベルセンサを提供する。 (もっと読む)


【課題】対象物(被写体)の位置及び移動方向に限定されることなく、移動する対象物を撮像することによって、その対象物の移動距離を計測すること。
【解決手段】移動している被写体を撮像して、前記被写体の移動距離を計測する移動距離計測装置であって、撮像する位置から前記被写体までの距離に関する距離データを取得する測距手段と、撮像レンズを用いて、所定の時間間隔で前記被写体を撮像して、複数の画像を生成する画像生成手段と、前記距離データに基づいて前記複数の画像のうちの任意の2つの画像の前記被写体の位置に関する位置データを算出し、該位置データに基づいて前記撮像レンズの光軸の方向に対して垂直な平面に関する被写体の移動距離を算出する算出手段とを有することを特徴とする移動距離計測装置により上記の課題が達成される。 (もっと読む)


【課題】搬送される鋼管が跳ねた場合や楕円または外径の変動が鋼管に生じている場合も正確に測定できるとともに、工数を増大させることなく測定間隔を短くして定量的に測定できる外面曲がりの測定方法を提供する。
【解決手段】複数のローラ31によって鋼管11をその周方向に回転させつつ長手方向に搬送し、ローラ31のうちで隣り合うローラ31の間に鋼管外面の上端および下端の位置を検出する検出器21を等間隔に3台配置し、検出器21で検出した上端および下端の位置から鋼管外面の中心位置を3台の検出器についてそれぞれ求め、下記(1)式により振れwを算出すること特徴とする鋼管の外面曲がり測定方法である。ここで、3台の検出器21のうちで上流側(A位置)での中心位置をCA、中央(B位置)での中心位置をCB、下流側(C位置)での中心位置をCCとする。
w=CB−(CA+CC)/2 ・・・(1) (もっと読む)


【課題】 本発明の解決課題は、ワーク寸法を連続的に測定できる螺子類の寸法測定装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明の螺子類の寸法測定装置は、移動通路と分離手段と搬送体と光学式測定手段を備えたものである。本発明では、螺子類を良品と不良品に仕分ける仕分け手段や、移動通路への螺子類の供給を停止する供給制御機構を設けることもできる。分離手段を螺子類の移動速度よりも速く回転する回転式のローラ或いはベルトとし、回転中に螺子類に接触して先頭の螺子類を後続の螺子類から離せるようにしてもよい。搬送体は螺子類の頭部上面に接触して移動通路側に押すことのできる回転ベルトとしてもよい。回転ベルトは数本の螺子類の頭部上面に接触する長さとしてもよい。発光素子と受光素子を螺子類の軸部の軸方向に離して二対配置し、二対の配置間隔を螺子類の公差と同一又は略同一寸法としてもよい。 (もっと読む)


【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測を実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板2に対し縞状の光パターンを照射する照射装置4A,4Bと、これを撮像するカメラ5と、撮像された画像データを基に三次元計測を行う制御装置6とを備えている。制御装置6は、第1照射装置4Aから第1光パターンを照射して得られた画像データを基に第1計測値を取得し、第2照射装置4Bから第2光パターンを照射して得られた画像データを基に第2計測値を取得する。そして、両光パターンが照射される全照射領域に関しては、両計測値から特定される値を当該領域の高さデータとし、いずれか一方のみ照射される一部照射領域に関しては、前記全照射領域の高さデータから算出した補完データを基に当該領域に係る計測値の縞次数を特定し、当該領域に係る高さデータを取得する。 (もっと読む)


【課題】複数の検出用導光部材に光を好適に分配し得る光学式センサを提供する。
【解決手段】光学式センサは、光源10と、光源10に光学的に結合された光ファイバー20と、光ファイバー束40と、光ファイバー20から光ファイバー束40に光を分配する光分配部30と、光ファイバー束40によって導光された光を分離して検出する光分離検出器50を有している。光ファイバー束40は、複数の光ファイバー41A,41B,41C,41D,41E,41Fを有している。光ファイバー41A〜41Fは、それぞれ、物理化学状態に応じて光学特性が変化する特性検出部42A,42B,42C,42D,42E,42Fを有している。 (もっと読む)


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