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Fターム[2F065DD09]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 目的 (6,263) | コントラストの増大又は制御 (217)

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【課題】3次元形状の測定精度をより改善できる3次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の3次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第1方向にN回入射した後、測定対象物に格子イメージを第2方向にN’回入射する投影部と(N及びN’は2以上の自然数)、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の3次元状態を算出する制御部と、を含む。 (もっと読む)


【課題】コントラストの高いパターン画像の表示を低コストにて実現する。
【解決手段】パターン画像表示装置の画像取得部13は、光照射部131、ラインセンサ132、角度変更機構、および、表示対象であるガラス基板9を移動する移動機構を備える。光照射部131からは、ガラス基板9の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部131からの光の照射角θ1およびラインセンサ132により撮像が行われる検出角θ2は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン画像表示装置では、予め画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてコントラストの高い画像をラインセンサ132により取得し、ディスプレイに表示することができ、パターン画像表示装置の製造コストも削減することができる。 (もっと読む)


【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン3が形成されている側に粘着シート4を貼り付けたうえで透明なステージ7に固定し、ステージ7の上方から同軸透過照明光L1と斜光透過照明光L2とを重畳的に照射するとともに、ステージ7の下方側からステージ7を介して裏面観察手段6で観察することで、観察像においては、デバイスパターン3に対応して、暗い(黒色の)デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像IP1以外の部分は明るく観察される。また、気泡5に対応する部分IB1についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン3の形状を明確に特定することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】ノイズの少ない方法で、容易には測定できない位相特性を測定し、また、振幅特性を強調された方法で
測定する。
【解決手段】振幅及び位相を有する分析対象波面に対して、フーリエ変換処理を行い、該分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、該複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、該複数の強度マップを用いて該分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する。 (もっと読む)


【課題】原板が有する凹凸パターンを容易にかつ高い位置精度で基板上の転写液層にインプリントすることのできる技術を提供する。
【解決手段】原板Mの凹凸パターンP面が基板S上に塗布された転写液層UVRに接触した状態で、原板Mおよび基板Sのそれぞれに形成されたアライメントマークALを、1つの認識手段により、両アライメントマークALが重なる方向から同時に撮像して得られた1つの画像から両アライメントマークALの位置を別々に認識処理することで原板Mと基板Sとのアライメントを行う。そのため、撮像された原板Mおよび基板Sのアライメントマーク画像に相対的な位置誤差が生じるおそれがなく、振動や異なる走査タイミングに起因する位置誤差が生じることを防止できる。 (もっと読む)


【課題】原板が有する凹凸パターンを容易にかつ高い位置精度で基板上の転写液層にインプリントすることのできる技術を提供する。
【解決手段】原板Mの凹凸パターンP面が基板S上に塗布された転写液層に接触した状態で、原板Mおよび基板のそれぞれに形成されたアライメントマークを、1つの認識手段3により、両アライメントマークが重なる方向から、一方のアライメントマークを撮像した後、他方のアライメントマークを撮像し、得られた両アライメントマークの画像にそれぞれ位置誤差補正処理を行う。そのため、補正後の両アライメントマーク画像を用いて高精度なアライメントを行うことが可能になる。 (もっと読む)


【課題】撮像対象とする電子部品がチップ部品である場合であっても基板への装着状態の検査を精度よく行うことができるようにした部品実装システム及び部品実装システムにおける検査用画像の生成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検査ヘッド40の光電変換素子40aが出力したアナログ信号をA/D変換して輝度値を表す所定のビット数のディジタル信号を生成するA/D変換部40b、A/D変換部40bが生成したディジタル信号から、撮像対象となる部品4の種類に応じて可変的に設定された一又は複数のビットを省いてA/D変換部40bによりA/D変換したときよりも少ないビット数のディジタル信号に圧縮する信号圧縮部40c及び信号圧縮部40cが圧縮したディジタル信号に基づいて検査用画像を生成する画像生成部40dを備え、部品4がチップ部品である場合には、ディジタル信号の圧縮時に省くビットを上位側ビットに設定する。 (もっと読む)


【課題】
簡単な構成を用いて検査範囲の照度を均一化して検査領域を広範囲とし、溶接部の円形輪郭の全周を抽出し高精度に溶接部の位置を検出することで、所望の位置に溶接が施されているかを検査すること。
【解決手段】
本発明は、上記課題を解決するために、検査対象表面の2次元検査領域に対して傾斜した角度で異なる少なくとも2方向から前記2次元検査領域を照明すると共に、該2次元検査領域に対向した位置から前記異なる少なくとも2方向から照明された複数の画像を取得し、該複数の取得した画像から溶接部のくぼみ傾斜部分に対応する輪郭情報をそれぞれ抽出し、該抽出した複数の輪郭情報を合成することで円形の輪郭を得、該円形の輪郭に円を当てはめて前記溶接部として認識し、該溶接部として認識した円の中心座標を溶接位置とすることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】より明瞭に撮像できる視覚装置を提供する。
【解決手段】被撮像物1を撮像する撮像手段11と、照明光を発生する照明光発生手段12と、照明光を拡散させる照明光拡散手段13とを備え、照明光拡散手段13は、撮像手段11の光軸の延長上に配置された筒状の部材であり、照明光発生手段12は、照明光拡散手段13の筒壁の外面に照明光を照射できる位置に配置され、照明光拡散手段13の筒壁は、照明光発生手段12から照射された照明光を照明光拡散手段13の内部に透過させ、照明光拡散手段13の内部に透過した照明光を反射・拡散させることができるように形成されており、照明光拡散手段13の内部で反射・拡散された照明光が被撮像物1に当たり、被撮像物1に反射した照明光が照明光拡散手段13の内部を通じて撮像手段11に送られる。 (もっと読む)


【課題】薄型化したチップをダイボンディングする工程において、ウエハシートからチップをピックアップする際に、ピックアップ対象のチップを正確に認識できる技術を提供する。
【解決手段】カメラCAM1は鏡筒KT1の一端と接続され、鏡筒KT1の他端には対物レンズが取り付けられ、この対物レンズを通してチップ1Cの主面の画像を撮影する構成とし、鏡筒KT1とチップ1Cとの間には、面発光照明SSL1、拡散板KB1およびハーフミラーTK1を内部に備え、カメラCAM1と同じ光軸でチップ1Cの主面に光を照射する同軸落射照明の機能を有する鏡筒KT2を配置する。 (もっと読む)


【課題】切削部の境界が明確に検出できる溶接ビード切削幅測定方法を提供する。
【解決手段】溶接ビード切削部11を照明装置で照射し、照射された領域をカメラ3で撮影し、その撮影画像を画像処理装置4で処理して溶接ビード切削幅を測定する溶接ビード切削幅測定方法において、前記照明装置として、溶接ビード切削部に対し左側から照射する左側照明装置1と右側から照射する右側照明装置2との2つを用い、左側からの照射と右側からの照射を交互に行う。 (もっと読む)


【課題】確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行う。
【解決手段】ラインセンサ25を構成するラインピクセル上の合焦時の光点像(レーザスポットS)では、レーザ光の光量が絞られる調整制御が行われ、合焦ピクセルから離れた位置となる非合焦時の光点像(レーザスポットS)では、レーザ光の光量が増加される調整制御が行われるように、あらかじめ定められたテーブルデータに従ったフィードフォワード制御が行われることで、確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行うことができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 (もっと読む)


【課題】ライン状(線状)の撮像領域を用いて移動する計測対象物の撮像を行う際にも、高輝度な照明光を用いることなく明るい画像を取得することが可能な三次元形状計測装置を提供する。
【解決手段】この表面実装機100は、各々がX1方向に並べられるとともにX1方向と直交するY2方向にライン状に延びるライン状撮像領域63a〜63fを含み、部品120を撮像する二次元イメージセンサ63と、二次元イメージセンサ63に対してX1方向に相対的に移動する部品120に向けて正弦波状の光強度分布を有するパターン光Gを投影する照明部61と、二次元イメージセンサ63が、ライン状撮像領域63a〜63fを用いて部品120の領域P1を順次撮像する場合に、領域P1の画像信号を、投影されたパターン光Gが有する周期Lの2分の1の積分範囲dで積算する制御を行う撮像制御部73とを備える。 (もっと読む)


【課題】合焦精度の低下を軽減する。
【解決手段】ラインピクセルにより受光される光量データが飽和したとき、ラインピクセルの略中央のピクセルである合焦ピクセルを過ぎたときの前後2ピークのピークピクセルを決定し(S11)、決定したピークピクセルにおけるZ軸カウンタ値を取得し(S12)、取得したZ軸カウンタ値を直線補間して、合焦ピクセルにおけるZ軸カウンタ値を推定し(S13)、推定された合焦ピクセルにおけるZ軸カウンタ値に基づいて、対象物2の面位置を検出する(S14)ので、受光される光量が飽和したときでも、合焦精度の低下を軽減することができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 (もっと読む)


【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ16Bは、レーザ照明部11により照明された対象物2の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ16Aは、対象物2の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部17は、正常時は、高感度のラインセンサ16Bからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部18は、データ処理部17により選択された受光データに基づいて、対象物2の像の合焦状態を検出することで、対象物2の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 (もっと読む)


【課題】 基板に実装された部品を検査する基板検査方法に関わり、より詳細には正確な端子領域を検出して部品の実装状態を検査することのできる基板検査方法を提供する。
【解決手段】印刷回路基板上に形成された部品の端子のチップ位置設定方法は基板上に形成された部品の端子と隣接して形成されたハンダに対して測定された測定高さを設定された基準高さと比較して仮象チップラインを設定することと、端子の長さ方向に沿って端子の幅方向に関する中心ラインを設定することと、仮象チップライン及び中心ラインの交差点から中心ラインによる測定高さを用いて端子のチップ位置を設定することと、を含む。従って、より正確な端子のチップ位置を獲得することができる。 (もっと読む)


【課題】空間符号化法において、反射光がぼやけてしまうような場合に明部と暗部との境界位置を適切に決定できるようにする。
【解決手段】プロジェクター12からビット数の異なる複数の縞パターン光を被写体に投影し、カメラ13によりこれらの反射光を撮影する。そして、信頼度算出部15は、これらの反射光から複数の縞パターン光のそれぞれに対応する信頼度を算出し、信頼度が閾値以上の縞パターン光を決定する。さらに、プロジェクター12から信頼度が閾値以上の縞パターン光を所定の周期分シフトさせた縞パターン光を投影し、信頼度が閾値以上の縞パターン光及びこれらの所定の周期分シフトさせた縞パターン光に対応する被写体の距離情報を取得する。 (もっと読む)


【課題】低コストでありながら操作性及び機能の優れた干渉対物レンズ装置、及び当該干渉対物レンズ装置を備えた光干渉測定装置を提供する。
【解決手段】光出射部10から出力された光をワークWに対して収束させる対物レンズ31と、対物レンズ31よりもワークW側に配される参照ミラー32と、対物レンズ31を透過してきた光を、参照ミラー32を有する参照光路とワークWを配置した測定光路とに分岐させると共に、参照ミラー32からの反射光とワークWからの反射光とを合成して干渉光として出力させる分岐合成部材33と、参照ミラー32からの反射光又はワークWからの反射光の何れか一方の他方に対する光量を調節する光量調節手段(液晶パネル34及び制御部70)を備える。 (もっと読む)


【課題】生体細胞のような位相物体の観察に用いられてきた従来の位相差顕微鏡に代わって、広くて深い測定視界を持ち、位相差の干渉画像が鮮明に得られる、単純で簡便な位相物体画像の識別、検査の方法と装置を提供する。
【解決手段】可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズで構成される広い測定視界中に置かれた位相物体から得られるフーリエ変換像(光回折パターン)の零次光だけを高次の回折光と異なる位相差参照光として、高次光回折パターンで得られる位相物体像と干渉させて鮮明な位相差画像を得る。また、位相物体の位相差を含めて異なる形状の複数形状粒子群を形状ごとに数や挙動や位置を自動計測するために、多重マッチトフィルタ法を含んだ位相差画像を検査する。 (もっと読む)


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