【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度（直交位相）異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、９０度異なる２つの干渉出力値ｉ１、ｉ２を得て、その参照光と計測光の値ｒ、ｓとから、参照光と計測光の位相差をθとして、２つの余弦値ｃｏｓθ１、ｃｏｓθ２を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ１、θ２を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±９０度（半波長）を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】移動体が移動する際の安全を確保するための画像処理装置を提供する。
【解決手段】移動体の予測軌道と、三次元モデルにおける移動体の位置及び大きさと、三次元モデルにおける立体物の大きさ及び位置とに基づいて、三次元モデルにおいて予測軌道上で移動体が立体物に接触するか否か判定する接触判定部２６０を備える。また、ステレオカメラの画像に基づいて距離を測定し、立体物の位置及び大きさを算出する。さらに、算出した横幅の接触量に基づいて予測軌道を変更した上で接触するか否か判定する。 （もっと読む）

【課題】天候及び距離によらず好適に物体までの距離を算出する。
【解決手段】画像処理装置は、取得された第１の車両の前方の画像から、第１の車両の前方の第２の車両の画像を検出する車両検出部と、第１の車両と第２の車両との距離を算出するために必要な複数のパラメータのうち、第２の車両の画像と前方の画像とから取得できないパラメータを判定する状況判定部と、第２の車両の画像と前方の画像とからパラメータを取得し、取得されたパラメータによって第１の車両と第２の車両との距離を算出する少なくとも一つの距離測定部と、を備え、状況判定部が、取得できないパラメータを判定した場合、少なくとも一つの距離測定部は、状況判定部によって判定された取得できないパラメータ以外のパラメータを用いて第１の車両と第２の車両との距離を算出するため、第２の車両の画像と前方の画像とを取得する。 （もっと読む）

【課題】コークガイド車などの移動体の移動路に沿って設けられた目標体とコークス炉の位置関係に誤差が生じても移動機を簡易に目標とする位置にする。
【解決手段】コークガイド車１の移動路に沿って設けられた目標体９を検出し、目標体検出装置４で目標体９を検出したときのコークガイド車１の規定位置に対し、目標位置検出装置５で目標位置を検出しながら規定位置から目標位置までコークガイド車１を移動し、検出された目標位置と規定位置との位置誤差を記憶し、以降、目標体９を検出した位置から記憶された位置誤差分だけ移動してコークガイド車１を目標位置にすることにより、目標体９とコークス炉７の位置関係に誤差が生じても、一度、目標体９を検出したときの規定位置と目標位置との位置誤差を記憶してしまえば、以降はコークガイド車１を簡易に目標とする位置にすることができる。 （もっと読む）

【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するＡＤ変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】コストの増加を抑えながら参照面と被検面との間の光路長差の変化に起因する計測誤差を低減し、参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置を提供する。
【解決手段】周波数を走査可能なｎ（ｎ＝２以上の整数）個の光源と、前記ｎ個の光源からのそれぞれの光を分割し、参照面と被検面とに入射させる分割素子と、前記参照面で反射された光と、前記被検面で反射された光との干渉により形成されるｎ個の干渉光を検出して干渉信号を出力する検出部と、前記距離を求める処理部と、前記処理部は、前記ｎ個の光源のうち１つの第１光源からの光の周波数を第１方向に第１走査速度で走査するように制御し、且つ、前記ｎ個の光源のうち他の１つの第２光源からの光の周波数を第１方向とは逆の第２方向に前記第１走査速度とは異なる第２走査速度で走査するように制御し、前記ｎ個の光源を制御している間の前記干渉信号に基づいて、前記距離を求める。 （もっと読む）

【課題】さらに付加的な情報の取得が可能で、かつ堅牢な装置構造と高度な測定精度とを有する光干渉測定技術の提供。
【解決手段】光干渉測定装置は、光源１からの出発ビーム２を測定ビーム３と第１の参照ビーム４ａとに分割するビームスプリッタ５ａと、光の重ね合わせ手段と、第１の検出器８ａとを備える。重ね合わせ手段と第１の検出器８ａとは互いに連携する。物体７によって反射された測定ビームと第１の参照ビームとが第１の検出器の検出面で重ね合わされる。ビームスプリッタ５ａは、出発ビーム２を測定ビーム３と、第１の参照ビーム４ａと、少なくとも第２の参照ビーム４ｂとに分割する。重ね合わせ手段と互いに連係する第２の検出器８ｂが備えられ、物体７によって散乱させられた第１の受信ビーム４ｂ’としての測定ビームと第２の参照ビーム４ｂとが第２の検出器８ｂの検出面で重ね合わされる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の寿命に影響する熱歪（拘束歪）を容易に測定する。
【解決手段】歪測定装置は、コンピュータ１と、測定対象物の第１ステレオ画像ＰＳ１を生成する第１ステレオカメラ２と、第１ステレオカメラ２と離間した位置に配設され、測定対象物５の第２ステレオ画像ＰＳ２を生成する第２ステレオカメラ３と、測定対象物の温度分布を検出するサーモビュア４と、を備える。また、コンピュータ１は、第１ステレオ画像ＰＳ１及び第２ステレオ画像ＰＳ２から測定対象物の三次元形状を求めて、実歪εｃ（ｉ，ｊ）を求める実歪算出部１２と、サーモビュア４によって検出された温度分布から熱自由歪εｔ（ｉ，ｊ）を求める熱自由歪算出部１７と、実歪εｃ（ｉ，ｊ）から熱自由歪εｔ（ｉ，ｊ）を減じた差を、拘束歪εｒ（ｉ，ｊ）として求める拘束歪算出部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】老朽化したコークス炉における炭化室の炉壁の変形状態（壁面の凹凸、窯幅の変化）を、炭化室内部に測定装置を入れることなく、炭化室外部から簡便に精度良く測定することができるコークス炉の炉壁診断方法およびコークス炉の炉壁補修方法を提供する。
【解決手段】炭化室１０の外側にレーザー式３次元形状測定装置２０を配置し、レーザー式３次元形状測定装置２０によって、蓋１２をとった状態の窯口１１から斜めにレーザー２１を照射して、炉壁（壁面）１３の形状を点群として測定する工程を、炭化室１０の左右の壁面１３ａ、１３ｂに対して独立して実施した後、左右を独立して測定した壁面の形状を、炭化室１０周辺の基準物２２を元に合成して、一つの形状データ（点群）にまとめて左右合成炉壁形状とし、その左右合成炉壁形状から左右の壁面間の距離（窯幅）を計算して、炉壁形状（壁面の凹凸、窯幅の変化）の診断を行う。 （もっと読む）

【課題】基板表面に対して光ビームを照射して描画する描画装置およびその焦点調整方法において、収束光学系の経時変化に対応することができ、しかも描画時の基板表面に収束光学系の焦点位置を適正に調整することのできる技術を提供する。
【解決手段】観察光学系８０のダミー基板８０１と観察用カメラ８０３とを一体的に昇降可能とする。ダミー基板８０１の上面８０１ａをステージ１０上の基板Ｗの表面Ｓと略同一の高さに設定し、観察用カメラ８０３により観察されるダミー基板上面８０１ａでの描画光学像が最も小さくなるように、光学ヘッド４０ａのフォーカシングレンズ４３１の位置を調整する。このときの光学ヘッド４３１とダミー基板上面８０１ａとの距離を基準距離として、オートフォーカス部４４１，４４２によるオートフォーカス動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を上げて入味容量のバラツキを少なくできるようにする。
【解決手段】キャップ天面高さと満注容量との相関関係を予め測定して第１相関関係情報を取得すると共に、最低充填容量を設定し、満注容量よりも所定量減量した液状収容物をボトルに充填した場合の入味線高さとキャップ天面との高低差と、所定量との相関関係を求めて第２相関関係情報を取得しておいて、被検査用ボトルに対するキャップ天面高さを計測して第１相関関係情報から満注容量を決定すると共に、満注容量と最低充填容量との差に対応する差分高さを第２相関関係情報から算出して、被検査用ボトルに対応する許容最低入味線高さを求め、液状収容物の実入味線高さを計測し、許容最低入味線高さと実入味線高さとを比較して、実入味線高さが高ければ良品と判定し、実入味線高さが低ければ不良品と判定する。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】着用物の種別に関わらず身体との間の空隙量を正確に測定することのできる空隙量測定装置及び空隙量測定方法を提供すること。
【解決手段】空隙量測定装置１は、人体模型２０を載置する台座部１２及び測定対象物に対してレーザー光を投光することで当該測定対象物までの距離を測定するセンサ部１１を備える距離測定装置１０と、センサ部１１のレーザー光を透過する部材で構成され、上部が開口するとともにその内部が空洞状に形成された人体模型２０と、距離測定装置１０が測定した距離から着用物と人体模型との間の空隙量を算出する演算装置３０と、を備える。このとき、センサ部１１は、人体模型２０の内部から当該人体模型２０に着用された着用物の着用面に対してレーザー光を投光することで着用面までの距離を測定し、演算装置３０は、着用物の着用面までの距離から空隙量を算出する。 （もっと読む）

【課題】高精度に被検面と参照面の間の絶対距離を計測可能な計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】第１の基準波長λ_１と第２の基準波長λ_２との間で波長走査が可能な光源１１と、第３の基準波長λ_３の光を射出する光源１０を有する光波干渉計測装置は、各波長に対応した干渉光の信号に基づいて被検面と参照面との間の光路長に相当する位相の誤差を補正し、誤差が補正された位相に基づいて被検面と参照面の間の絶対距離を算出する処理部１９を有する。 （もっと読む）

【課題】十分に平行に配設された二つのプレート間で、高精度で干渉計方式により間隔測定するための機構を提供する。
【解決手段】光源３．１から発せられた光束が、第一プレート１にある分光器要素１．２に傾斜して当たり、そこで反射される参照光束と透過する測定光束に分割される。測定光束は第二プレート２にあるリフレクタ要素２．２に当たり、そこで第一逆反射を受ける。参照光束は第一屈折要素３．２ａを、測定光束は第二屈折要素３．２ｂを通過し、二つの光束は引き続いて、それぞれ関連配置された逆反射器３．３を通過して、測定光束は第三屈折要素３．２ｃを、参照光束は第四屈折要素３．２ｄを通過する。そして参照光束は第一プレート１で反射を、測定光束は第二プレート２のリフレクタ要素２．２で第二逆反射を受け、それにより二つの光束が、共直線で検知ユニット３の方向に伝播し、そこで位相がずれた複数の走査検知信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ４及びレジスト膜５の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ４の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第１仮想基準面Ｋ１として設定し、さらに当該第１仮想基準面Ｋ１をベース基板２の表面２ａに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第２仮想基準面Ｋ２として設定する。そして、当該第２仮想基準面Ｋ２からの各クリームハンダ４の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ４の印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】プラットフォームの位置を識別するための方法および装置を提供する。
【解決手段】プラットフォームが動いている間、プラットフォームに関連するカメラシステムによって生成された一連の画像内の特徴が識別される。カメラシステムのパースペクティブの移動が、一連の画像内の特徴の位置の移動から識別される。プラットフォームの位置の変化が、パースペクティブの移動に基づいて識別される。 （もっと読む）

【課題】 計測誤差の校正が可能な三次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定のパターンを投影する投影部と、パターンが投影された被写体を撮像する撮像部とを有する三次元計測装置は、撮像部によって撮像された画像において、計測空間内の同一平面上に予め設定された複数のパターン検出領域に投影されたパターンの撮像画素面上の位置情報を検出する検出部と、位置情報を用いて、計測時前に予め検出した投影部の投影画素面上のパターンと計測時における投影部の投影画素面上のパターンとの対応関係を算出する対応関係算出部と、を有する。 （もっと読む）