【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】面位置センサの設置位置を計測し、該計測された設置位置に基づいて面位置センサを用いて移動体の２次元移動面の垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、移動体を安定かつ高精度に駆動する。
【解決手段】 干渉計システムを用いてウエハステージＷＳＴのＸＹ位置を監視しながらウエハステージを移動させて、面位置センサ７２_ｋ，７４_ｉ，７６_ｊを用いてＹスケール３９Ｙ₃，３９Ｙ₄を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に走査することにより、面位置センサのＸＹ設置位置を計測する。得られた設置位置情報に基づいて、面位置センサを用いて、ウエハステージのＸＹ平面（移動面）に対する垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、ウエハステージを安定かつ高精度に駆動する。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して温度を適切に測定することができる温度計測システム、基板処理装置及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測システム１は、光源１０、分光器１４、光伝達機構１１，１２、光路長算出部１６及び温度算出部２０を備える。光源１０は、測定光を発生させる。光伝達機構１１，１２は、測定対象物１３の表面１３ａ及び裏面１３ｂからの反射光を分光器１４へ出射する。分光器１４は、反射光の強度分布である干渉強度分布を測定する。光路長算出部１６は、フーリエ変換し光路長を算出する。温度算出部２０は、光路長と温度との関係に基づいて測定対象物１３の温度を算出する。光源１０は、分光器１４の波長スパンΔｗに基づいた条件を満たす半値半幅Δλの光源スペクトルを有する。分光器１４は、波長スパンΔｗと計測最大厚さｄとに基づいた条件を満たすサンプリング数Ｎ_ｃで強度分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】軸受の複数のパラメータを検出する光ファイバ感知デバイスのための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサシステムは、光ファイバケーブルと、１つまたは複数の分離タブ２１８によって互いに接合された第１の接続端と第２の接続端２０４を含むキャリア２００とを備え、第１の接続端は、光ファイバケーブルの遠位端を第１の接続端に固定するように構成された第１のファイバ取付け点２１０を含み、第２の接続端は、光ファイバケーブルを第２の接続端に固定するように構成された第２のファイバ取付け点２１２を含み、さらに１つまたは複数の分離タブは、キャリアおよび分離タブよりも構造的に弱いブレークエリアを使用して第１の接続端と第２の接続端に接合されている。 （もっと読む）

【課題】光干渉を利用して測定対象物の温度を適切に計測することができる温度計測装置、基板処理装置、及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】温度計測装置１は、データ入力部１６と、ピーク間隔算出部１７と、光路長算出部２０と、温度算出部２１とを備える。データ入力部１６は、測定対象物１３の表面１３ａへ測定光が照射され、表面１３ａにおいて反射された測定光と裏面１３ｂにおいて反射された測定光とが干渉して得られる干渉光のスペクトルを入力する。ピーク間隔算出部１７は、入力されたスペクトルのピーク間隔を算出する。光路長算出部２０は、ピーク間隔に基づいて光路長を算出する。温度算出部２１は、光路長に基づいて、測定対象物１３の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】容易且つ安価に計測対象物の変位量を表示可能な歪量表示方法等を提供する。
【解決手段】歪量表示方法は、模様１１ｂ、１２ｂが形成された模様領域１１ａ、１２ａを有する一対の基体１１、１２の前記模様領域１１ａ、１２ａが重なり合うようにして、所定の間隔を有して計測対象物に固定され、前記模様１１ｂ、１２ｂの干渉によって発生するモアレ縞５によって前記計測対象物にかかる歪量を表示する。また、そのモアレ縞を撮影して、計測対象物の健全性を評価する。 （もっと読む）

【課題】雰囲気温度に応じた温度補償を行いつつ、小型化することを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ＦＢＧひずみセンサ１は、ＦＢＧ３が形成された光ファイバ２と、光ファイバ２を被測定部Ｗに固定するための温度補償部材１１とを備えている。光ファイバ２と温度補償部材１１とは、これらが当接する全面において接着剤１２によって固定されている。一方、温度補償部材１１と被測定部Ｗとは、温度補償部材１１の両端部において接着剤１３によって固定されている。温度補償部材１１は、光ファイバ２の熱膨張係数に対して正負が逆となる値の熱膨張係数を有する材料から形成されており、ひずみ量の測定時において、雰囲気温度に応じたＦＢＧ３の熱膨張と光ファイバ２の屈折率変化との影響による反射光Ｌ２の波長のシフト量を相殺可能となっている。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 ウエハＷを保持し所定面内で移動するウエハステージＷＳＴと、所定面内と実質的に平行に配置される移動スケール４４Ａ〜４４Ｄに、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋを介してそれぞれ所定平面と交差する方向からビームを照射して、ウエハステージＷＳＴの位置情報を計測するエンコーダシステムと、エンコーダシステムの計測情報に基づいてウエハステージＷＳＴを制御する制御システムによって、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋのうち移動スケール４４Ａ〜４４Ｄと対向する複数のヘッド４８ａ〜４８ｋの数が変化するとともに、ウエハステージＷＳＴの移動によって、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋのうち位置情報の計測に用いられるヘッドが別のヘッドに切り換わる。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】投影装置の温度ドリフトによる影響を軽減する３次元計測装置、および３次元計測方法を提供することを目的としている。
【解決手段】所定の照射パターンの光を照射する投光部３０と、投光部により照射された光による反射光を含む像を撮像する撮像部２０とを有する３次元計測装置１であって、投光部に対して照射パターンの光の照射位置を制御する照射指示を出力し、撮像部が撮像した画像データから計測データを算出する計測部４０を備え、計測部は、投光部に照射パターンの光を照射し続けさせ、撮像部により撮像される領域を含む計測領域内で走査を繰り返すように制御し、照射指示による照射位置を撮像された画像データから検出し、検出した異なる時刻且つ同一位置への照射指示による照射位置を示す情報同士を比較して、計測値の校正のための校正データを補正する。 （もっと読む）

【課題】温度センサ等を追加しなくても、環境温度の変化に応じた適正な補正を行うことのできる光学式位置検出装置および光学式位置検出方法を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０および光学式位置検出方法において、補正条件決定部６４は、対象物体Ｏｂが存在しないデフォルト状態により位置検出部５０で検出されたデフォルト二次元座標データの第１座標値と第２座標値との比較結果に基づいて補正条件を決定し、位置検出部５０により対象物体Ｏｂの二次元座標データを検出する際、補正条件に対応する補正が行われる。従って、環境温度を直接、測定しなくても、温度補正を行うことができるので、検出用光源１２からの検出光の出射強度が環境温度によって変化した場合でも、対象物体Ｏｂの二次元座標データを精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】干渉計を利用した測長において、環境変動により測定光路上の光学窓の厚みが変動しても影響の小さい測長装置を提供する。
【解決手段】測定光路上に、内部が真空で両端に光学窓１０ｂ、１０ｃを有する真空管１０を配置する。各光学窓１０ｂ、１０ｃは、厚みが異なる２つの部分を有する構成とする。各光学窓１０ｂ、１０ｃの厚みが異なる部位へ２本の測長レーザ２ａ、２ｂの測定光を入射させ、測定ミラー５でそれぞれ反射させて、参照ミラー６による参照光と干渉させる。測長レーザ２ａ、２ｂによる２つの測長値を用いて、環境変動に起因する光学窓１０ｂ、１０ｃの厚み変化による光路長変動の影響を除去した測長を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】磁気センサや大型マグネットを用いることなく、簡単な構成で、１ｍｍ以上の位置センシングが良好にでき、反射型フォトセンサの温度特性をキャンセルする。
【解決手段】１対の反射型フォトセンサＰＲ１,ＰＲ２を対向配置し、この１対のフォトセンサ間に、可動体に取り付けられた両面反射板５を移動可能に配置し、これらフォトセンサＰＲ１,ＰＲ２の２つの出力から反射板５の移動位置を検出する。この位置検出では、反射板の移動距離に応じてリニアな値が得られる演算式を用い、例えば１対の反射型フォトセンサの一方の出力をＶｏ１、他方の出力をＶｏ２とすると、（Ｖｏ１−Ｖｏ２）／（Ｖｏ１＋Ｖｏ２）の演算式を用いて位置検出を行う。 （もっと読む）

【課題】ダムの堤体に配置したワイヤの水平方向および鉛直方向の変位を検出でき、ダム堤体の変位を精度良く検出できるダム堤体の変位測定装置を提供すること。
【解決手段】ダム堤体の変位測定装置１は、堤体内部に鉛直に配置された測定ワイヤ２と、測定ワイヤ２に固定された金属球２０と、金属球２０を撮影する２台のカメラ２１，２２および照明装置２３，２４と、各カメラ２１，２２で撮影された画像を処理する画像処理装置３０とを備える。カメラ２１，２２は、レンズの光軸が水平面内で互いに直交する位置に配置する。画像処理装置３０は、撮影画像データから金属球２０を認識して重心位置を検出し、その重心位置の変位によって、ダム堤体の変位を測定する。金属球２０を２台のカメラ２１，２２で撮影して重心位置を検出しているので、金属球２０の三次元方向の変位量を測定でき、ダム堤体の変位を精度良く検出できる。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】高温、高輝度の被写体の撮影に好適な撮影装置および撮影装置を備えた遠隔計測装置を提供すること。
【解決手段】撮影装置は、カメラと、予め設定されたシャッタースピードで被写体を繰り返し撮影指示するカメラ制御手段と、撮影された画像の所定の領域の輝度の平均値を求める手段と、輝度平均値が所定の範囲内にあるか否かを判定する手段と、輝度平均値が所定の範囲内にあると判定された場合に直近に撮影された画像を出力する手段とを備える。遠隔計測装置は、この撮影装置と、出力画像から被写体の所定の箇所の長さを読み取る手段と、読み取った長さを常温時の長さに補正する補正手段とを備える。予め定められた一定の輝度、温度の状態において画像の撮影および計測が行われるので、常に最良の画像が取得でき、計測値を確実に取得できる。 （もっと読む）

【課題】光センサーの光学系において１／４波長板が出射光に位相のずれを生じる場合でも、確実に直線偏光を円偏光に変換する。
【解決手段】振動検出用光センサー１は光源２、偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４、波長板ユニット５及び１個の受光素子６を備える。波長板ユニットは一体化した１／４波長板７と振動板８と位相補正素子９とからなる。位相補正素子は透明基板間に挟持した液晶層１３からなり、１／４波長板の出射光に位相のずれを生じる場合に、動作温度に対応した電圧を液晶層に印加してリタデーション値を変化させ、直線偏光を完全な円偏光に変換する。受光素子はその光軸ｘ2を反射光の光軸ｘ1と平行かつ僅かにずらして配置され、入射するビームスポット形状がその中心ｃを受光面６ａの中心Ｏから僅かにずらした位置に投影されるので、検出される光量が振動板の変位に対応して増減する。 （もっと読む）

【課題】温度が変化しても安定した検出精度を得ることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、照射光を出射する照射部ＥＵと、照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤからの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を検出する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、温度を検出する温度検出部ＴＳＵと、温度検出部ＴＳＵの検出結果に基づいて、増幅部１００が有する回路素子の回路定数ＣＮＴを設定する処理を行う制御部４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】安定した検出精度を得ることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、検出用光源部ＬＳ１、ＬＳ２と調整用光源部ＬＳＤとを有する照射部ＥＵと、照射部ＥＵからの照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤからの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を検出する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、調整用光源部ＬＳＤの発光時における受光素子ＰＤの受光結果に基づいて、増幅部１００が有する回路素子の回路定数ＣＮＴを設定する処理を行う制御部４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】
１本の光ファイバにより歪と温度の両方を測定し、より正確な歪情報を測定することが可能であると共に、コストの増加を抑制した光測定システムを提供すること。
【解決手段】
光ファイバを用いて温度及び歪みを測定可能な光測定システムにおいて、１本の光ファイバ２を用いて温度及び歪みに係る測定光を検知し、測定対象物に配置された該光ファイバの一部に、該測定対象物から該光ファイバに加わる応力を遮断するシールド部材３が配置され、該シールド部材内に配置される該光ファイバの状態に基づく測定光から温度を検出する温度検出手段と、該シールド部材以外に配置される該光ファイバの状態に基づく測定光から歪みを検出する歪検出手段と、該歪検出手段の結果を、該温度検出手段の結果で補償する温度補償手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）