【課題】低コストで広い温度範囲に対応させることを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ひずみ量計測システム１０は、計測用ＦＢＧ２１が設けられた第１の光ファイバ１１と基準波長反射用ＦＢＧ２２が設けられた第２の光ファイバ１２とを備えており、第１の光ファイバ１１と第２の光ファイバ１２とは、被計測部Ｗａに固定された計測用ＦＢＧ２１の反射光を、固定用治具部材Ｗｂに固定された基準波長反射用ＦＢＧ２２に入射可能となるように接続されている。計測用ＦＢＧ２１と基準波長反射用ＦＢＧ２２とは同様の格子間隔に加工されており、被計測部Ｗａと固定用治具部材Ｗｂとは、同じ材料から形成されている。また、光源１３は広帯域の光を計測用ＦＢＧ２１に入射し、計測機１５は、基準波長反射用ＦＢＧ２２の反射光の総光量に基づいて被計測部Ｗａのひずみ量を計測する。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】光無線通信システムのトラッキング機構の小型化、測定精度向上等を実現する。
【解決手段】送信ユニット１１に２つの距離センサ１４，１５を設け、受信ユニット２１に位置指標部２３と基準高さ部２４を設ける。位置指標部２３は、複数のエリアに区画され且つ各エリア毎に高さが異なる三次元形状に形成され、基準高さ部２４を基準とした各エリアの高さとエリア位置との関係を変位測定テーブルデータとして記憶する。各距離センサ１４，１５によって位置指標部２３の１つのエリアまでの距離と基準高さ部２４までの距離をそれぞれ測定し、これら２つの距離測定値の差分と変位測定テーブルデータとに基づいて位置指標部２３のうちの第１の距離センサ１４で測定したエリア位置を特定することで、受信ユニット２１の変位量及び変位方向を判定し、その判定結果に基づいて送信部１２と受信部２２との光軸ずれを補正するように光軸ずれ補正機能を作動させる。 （もっと読む）

【課題】計測装置の測長軸の調整を不要とし、簡便な取り付け及び光学素子の汚染防止の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置であって、光源からの光を分割させる光分割素子と、前記参照面、前記被検面及び前記光分割素子を内部に収納すると共に、前記内部において前記参照面及び前記光分割素子を固定するハウジングと、前記ハウジングの外部に設けられ、前記光分割素子から前記参照面までの第１の光路長と前記光分割素子から前記被検面までの第２の光路長とが等しくなるときの前記被検面の位置を示す測長基点を表示する第１の表示部と、前記ハウジングの外部に設けられ、前記第２の光の光路に平行な軸を示す測長軸を表示する第２の表示部と、前記参照面と前記被検面からの反射光との干渉信号から前記参照面と前記被検面との間の距離を算出する処理部と、を有することを特徴とする計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】センサ全体を大型化することなく、簡単な構成で温度補償を行うことを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ＦＢＧひずみセンサ１は、ＦＢＧ３が形成された光ファイバ２と、光ファイバ２を被測定部Ｗに固定するための温度補償部材１１とを備えている。光ファイバ２と温度補償部材１１とは、これらが当接する全面において接着剤１２によって固定されている。一方、温度補償部材１１と被測定部Ｗとは、温度補償部材１１の両端部において接着剤１３によって固定されている。温度補償部材１１は、熱膨張係数がゼロである材料から形成されており、ＦＢＧ３の伸縮が温度補償部材１１によって拘束されている。したがって、雰囲気温度に応じたＦＢＧ３の熱膨張は温度補償部材１１によって抑制された状態となっており、被測定部Ｗに生じるひずみのみがＦＢＧ３に印加される。 （もっと読む）

【課題】ダムの堤体に配置したワイヤの水平方向および鉛直方向の変位を検出でき、ダム堤体の変位を精度良く検出できるダム堤体の変位測定装置を提供すること。
【解決手段】ダム堤体の変位測定装置１は、堤体内部に鉛直に配置された測定ワイヤ２と、測定ワイヤ２に固定された金属球２０と、金属球２０を撮影する２台のカメラ２１，２２および照明装置２３，２４と、各カメラ２１，２２で撮影された画像を処理する画像処理装置３０とを備える。カメラ２１，２２は、レンズの光軸が水平面内で互いに直交する位置に配置する。画像処理装置３０は、撮影画像データから金属球２０を認識して重心位置を検出し、その重心位置の変位によって、ダム堤体の変位を測定する。金属球２０を２台のカメラ２１，２２で撮影して重心位置を検出しているので、金属球２０の三次元方向の変位量を測定でき、ダム堤体の変位を精度良く検出できる。 （もっと読む）

【課題】小型であり、かつ構成部材の位置合せが容易なエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】エンコーダヘッド２０は、光源部からの計測光をスケール５（回折格子）に向けて反射させる第１プリズム２１と、第１プリズム２１により反射された計測光を二つの直線偏光に分割する偏光ビームスプリッタ膜２２と、偏光ビームスプリッタ膜２２を透過した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の一方の位置に照射させる第１波長板２３と、偏光ビームスプリッタ膜２２で反射した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の他方の位置に照射させる第２波長板２４と、スケール５で反射回折した±１次回折光を干渉させて光検出器に向けて反射させる第２プリズム２５とを有し、偏光ビームスプリッタ膜２２が第１プリズム２１と第２プリズム２５に挟まれて設けられ第１プリズム２１、第２プリズム２５および偏光ビームスプリッタ膜２２が一体に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、前記被検物の温度を計測する温度計測手段と、前記被検物の温度を調整する気体流を形成する気体流形成手段と、前記温度計測手段からの情報に基づいて、前記気体流形成手段を制御して、前記被検物の温度を所定温度範囲に保持する温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の濃淡に基づき対象物の形状を測定する光学干渉測定装置において、干渉縞の観測対象領域を自動的に設定する。
【解決手段】ベースプレート３６と、これの上に置いたブロックゲージ３４の干渉縞画像を複数得る。取得した複数の画像において、ベースプレートとブロックゲージの境界であるエッジ抽出を行い、エッジ画像を得る。エッジ画像を加算して、さらに所定のしきい値により二値化し、ベースプレートとブロックゲージの境界を抽出する。得られた境界に基づきブロックゲージ上の干渉縞画像を得る。 （もっと読む）

【課題】熱的に補償されたクロマティック共焦点センサ用のレンズ構成を提供する。
【解決手段】熱補償を含む色分散レンズ構成が色範囲感知用のクロマティック共焦点センサ光学ペンに用いられ得る。レンズ構成は負の屈折力の複レンズおよび正の屈折力のレンズ部分を含み得る。正の屈折力のレンズ部分は、クロマティック共焦点センサ光学ペンの全体的な熱感度を補償する少なくとも２つのレンズ素子を含む。熱感度を補償する正の屈折力のレンズ部分のレンズ素子は、小さくても１０ｐｐｍ／℃の範囲にある平均熱焦点ずれ係数を有する。レンズ構成は、標準の市販のクロマティック共焦点センサ光学ペンに適合する一方、色範囲感知に十分な光学性能レベルを維持する寸法で実装できる。 （もっと読む）

光学測定装置は、固定された主軸台（５７）が取り付けられた基準支持体（４０）、ならびに、固定された主軸台に対向し、および測定される部品を主軸台（５７）と心押し台（６０）との間で維持するために主軸台（５７）に近づいてくる、またはそこから離れて移動するための線形軸（ｘ）に沿って移動可能である、移動可能な心押し台（６０）、ならびに線形軸（ｘ）に沿って移動可能な可動式往復台（１００）を含むものであって、往復台は、コリメート光束が測定中の部品によって遮られるようにｘ軸を横切って方向付けるための光源（１１０）を担持し、往復台は、光源（１１０）に配列され、および測定中の部品によって遮られなかったコリメート光束の残留光を受けるように配置されている光学検出器（１２０）を、さらに担持する。測定装置は、光学往復台（１００）および心押し台（６０）が摺動可能に係合されている基準支持体（４０）上に固定されている直線状ガイド（４７）を有するのに対し、主軸台（５７）は、基準表面上に固定され、少なくとも一部が前記直線状ガイド（４７）上に懸下している主軸台担持部（５０）上に設置されている。
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【課題】測定精度が可動物体の動作によって実質的にほとんど影響されない、可動物体の位置依存信号を測定するように構成された好ましくはエンコーダ型高精度測定システムを提供する。
【解決手段】エンコーダ型測定システムは可動物体の位置依存信号を測定するように構成され、可動物体の上に取付け可能な少なくとも１つのセンサと、実質的に静止したフレームの上に取付け可能なセンサターゲットと、実質的に静止したフレームの上にセンサターゲットを取付けるように構成された取付けデバイスとを含む。実質的に静止したフレームに対するセンサターゲット物体の移動および／または変形を補償するように構成された補償デバイスをさらに含む。補償デバイスは受動型または能動型制振デバイスおよび／またはフィードバック位置制御システムを含むことができる。代替の実施形態において、補償デバイスは、センサターゲット物体の位置を固定する把持デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】高い精度を有して良好に操作でき且つ安定な長さ測定装置を創作すること。
【解決手段】長さ測定装置は、支持体（１２）とその支持体に摩擦の乏しく固定された物差し（１１）とを包含する構成ユニット（１）を有する。支持体（１２）は位置測定するために、測定すべき物体（１３）に固定式に固定できる。さらに、保持体（３）が設けられていて、この保持体により物差し（１１）が固定点（Ｐ）に支持体（１２）を避けて測定すべき物体（１３）に固定できる。 （もっと読む）

【課題】回転体である被測定物の熱変位により変位した位置を簡易な構成で且つ正確に検出し得る被測定物位置検出装置及びその被測定物位置検出装置を備える切削機械を提供する。
【解決手段】位置検出手段１８がチャック１２に連結したフランジ６６に対向し、チャック１２の熱変位により変位した位置を検出する。即ち、簡易な構成で且つ正確にチャック１２の上記位置を検出し得る。また、位置検出装置１８がチャックの熱変位に対応する位置を正確に検出するので、バイト２５又は２６を精度良く切削位置へ移動し得る。更に、チャック１２の位置データなどを、回転するチャック１２とは別部材である位置検出装置１８を介して出力させることができるので、例えばブラシホルダーなどを不要にできる。 （もっと読む）

【課題】大気圧の変動に拘わらず高精度な撮像が可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】三次元形状測定装置１に搭載された撮像装置１０は、測定対象物体２からの光を受光して結像させる撮像光学系１５と、撮像光学系１５により結像した測定対象物体２の像を撮像する撮像素子２０と、大気圧を測定する大気圧測定部２５とを備え、撮像光学系１５の少なくとも一部を密閉状態にする密閉部３１と、大気圧測定部２５により測定された大気圧に基づいて、撮像光学系１５における密閉部３１に密閉された部分の気圧を制御することにより、大気圧変動に伴う撮像光学系１５の撮像倍率の変化を補正する圧力制御部３２とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】露光光の強度が大きいか又は露光時間が長い場合にも高い重ね合わせ精度を得る。
【解決手段】露光用の照明光ＩＬでレチクルＲのパターンを照明し、照明光ＩＬでそのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷを露光する露光方法において、空間像計測系３４でレチクルＲのパターンの像の位置を計測し、そのパターンの像の位置の変動量をレチクルステージＲＳＴの温度情報から予測し、この予測結果に基づいてそのパターンの像とウエハＷとの位置合わせ情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板と接着剤の屈折率差の大小に依存することなく、接着剤の膜厚を算出することを可能とする。
【解決手段】膜厚測定装置１は、基台１１上に設けられるとともに被検物４を載置させるための加熱器１２と、被検物４の加熱温度を制御するための加熱制御部１４と、被検物４の上方に配置されていて加熱された被検物４の膨張による高さ方向の変化量を測定するためのレーザー変位計１３と、被検物４の接着剤３の線膨張係数を入力するための入力部１５と、レーザー変位計１３により測定した被検物４の高さ方向の変化量、加熱温度、入力部１５で入力した接着剤３の線膨張係数に基づいて接着剤３の膜厚を算出する演算部１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ステージ装置の位置制御をより精密に行うことが可能な露光装置及び露光方法を提供すること。
【解決手段】マスクを用いて基板に露光処理を行う露光装置であって、前記マスクを移動可能に保持するステージ装置と、前記ステージ装置に光を照射し、前記光の反射光を用いて前記ステージ装置の位置に関する情報を検出する光干渉装置と、前記光の光路周辺の空間の光屈折率を検出し、検出結果を用いて前記情報の補正を行う補正装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】大型の二次元測定機において、基台とＸ軸フレーム等の各部とで熱膨張率が異なっていても、温度変化によって、Ｘ軸フレームの位置制御の精度が悪化したり、Ｘ軸フレームがロックしたりしないようにする。
【解決手段】一対のガイドレール（１２）それぞれに案内されるスライダ（２４）と、両スライダ間に架け渡されたＸ軸フレーム（１４）とを有する二次元測定機において、Ｘ軸フレームの一端がスライダと固定されるが、Ｘ軸フレームの他端がスライダにＸ軸フレームと平行方向に変位可能に直動案内機器（５０）を介して連結される。 （もっと読む）

【課題】近年の基板サイズの大型化傾向に従って、基板を戴置するためのステージも大きくなってきている。このため、測定装置そのものが大きくなってきているこの大きくなった装置を収容するべく、サーマルチャンバは、送風ブース内のスペースの内容積が大きくなり、従って温同調節に必要な雰囲気容量が多くなるため、そのスペース内の温度性能を保つため、温調ユニットを大くしなければならないという問題があった。
【解決手段】測定装置のステージ部架台より出された支持金具によって、サーマルチャンバの送風ブースを支持し、石定盤より上方のステージ部分のみ、一定温度に保つ構造とし、更に好ましくは、温調ユニットと送風ブースとを分離することにより、温調ユニットの機械振動を送風ブースに伝えない機能を備えたサーマルチャンバとした。 （もっと読む）