【課題】高い測定精度を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、被測定物体１５の形状を測定して測定値を出力するプローブ１２と、所定の空間内でプローブ１２を移動させる移動機構部であるアーム部１１に、プローブ１２を着脱する取付部１６と、空間内におけるプローブ１２の空間座標を測定する空間座標測定部３０と、プローブ１２により測定された被測定物体１５の測定値を、空間座標測定部３０により測定されたプローブ１２の空間座標により補正する制御部２０，５０と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安価な構造で温度とひずみを同時に計測できる光ファイバセンサ装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、ＯＦＤＲ方式に適用される光ファイバセンサ装置であって、光ファイバのコアに形成したＦＢＧからなるひずみ検知用のセンサ部３と、該ひずみ検知用のセンサ部に接続されてその端部に反射部を備えた温度検知用光ファイバからなる温度検知用のセンサ部７とを具備した光ファイバセンサＳと、参照用反射端１６と、光源１２と、受光器１３とが備えられ、前記温度検知用光ファイバの光路長の変化量から温度変化を計測し、前記ＦＢＧのブラッグ波長のシフト量から前記計測された温度変化に相当するブラッグ波長のシフト量を減算することによりひずみを計測する。 （もっと読む）

【課題】サファイアや石英等の可視光に対して透過性を有する材料で形成されたワークであっても、ワークの上面高さ位置を確実に精度高く検出できるようにする。
【解決手段】ワークＷに照射された環状のスポット形状を有するレーザビームは、ワークＷの上面および下面で反射するが、ワークＷの下面で反射した環状のスポット形状の反射光はピンホールマスク４５によって遮断し、ピンホールマスク４５を通過したワークＷの上面で反射した環状スポット形状の反射光に基づいて受光強度を検出するので、ワークＷが可視光に対して透過性を有する場合であってもその上面高さ位置を検出できる。この際、ワークＷの上面で反射した環状スポット形状の反射光に関してレーザビーム拡散手段４６で拡散された強度を所定面積の検出面４７ａを有する検出手段４７で検出することで、環状スポット形状にバラツキがあっても、ワークＷの上面高さ位置を確実に精度高く検出できる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、被検査体全面において短時間で不良領域を検出でき、かつ検出結果を検査工程以降の工程に反映することのできる検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明は、基体の表面に微細な凹凸パターンを形成した被検査体に放射波を照射する照射機構と、被検査体を透過した放射波を検出する検出機構を備えた検査装置、検査方法において、前記照射機構は前記被検査体の表面または裏面のいずれか一方に配置され、前記検出機構は被検査体を介して照射機構とは相対する面に配置されており、検出機構で得られた被検査体の面内の透過率分布から凹凸パターンの不良領域を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、歪みおよび／または温度を高空間分解能で測定可能としつつ、計測可能距離を伸ばしてより遠くまで測定することができる分布型光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】本発明にかかる、ブリルアン散乱現象を利用して歪みおよび／または温度を測定する分布型光ファイバセンサＳでは、スペクトル拡散方式を用いたメイン光パルスと無変調のサブ光パルスとが検出用光ファイバ１５に入射され、そして、検出用光ファイバ１５から射出されるこれら光の相互作用によって生じるブリルアン散乱現象にかかる光に基づいて検出用光ファイバ１５に生じた歪みおよび／または温度が測定される。 （もっと読む）

【課題】比較的小型の遮蔽部材を用いることができるとともに、遮蔽部材の周りに遮蔽部材との干渉を避けるための過大な空きスペースを確保する必要がなく、かつ、監視方向以外からの赤外線の入射を避けることができる赤外線監視装置を提供すること。
【解決手段】赤外線監視装置Ｓにおいて、焦電センサ２に対向するフレネルレンズからなる集光レンズ部３２には３つの監視方向の各々に対応する３つの入射領域３２ａ、３２ｂ、３２ｃが設定され、集光レンズ部３２の近傍位置では、２つの入射領域を遮蔽可能な遮蔽部材４が配置されている。遮蔽部材４は、端部の１つの入射領域のみを開状態とする第１モードと、および連続する２つの入射領域を同時に開状態とした第２モードとを実現し、焦電センサ２での受光結果、および遮蔽部材４の位置情報に基づいて、いずれの入射領域から焦電センサ２に赤外線が入射したか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】透明な基板のエッジ位置を該基板に特別な加工を施すことなく非接触で検出することができるとともに、低コスト化を図ることができる透明基板のエッジ位置検出方法及びエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】透明基板Ｗのエッジ位置検出装置１０は、透明な基板Ｗを保持可能であるとともに、基板Ｗのエッジに対して交差する方向に延びるマーク１２が設けられた基板保持部１１と、マーク１２と基板Ｗとを光の屈折を利用して撮像する撮像手段１３と、撮像手段１３による基板Ｗを通したマーク１２の撮像画像と基板Ｗのエッジ外でのマーク１２の撮像画像との境部の位置情報を基に基板Ｗのエッジ位置を検出する位置検出手段１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 装置の機械的な動きを伴うことなく３次元の形状を測定することが可能な３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】形状測定装置１は、所定の波長帯域の中で波長を変えて光を出力することができる光源２と、繰り返しパターンを有する２次元チャート３と、所定の量の色収差を有し、光源２から出力された光によって照明された２次元チャート３の像を被測定体Ｓに投影する対物光学系７と、被測定体Ｓで散乱された２次元チャート３の投影像を撮像する撮像装置１０〜１２と、保存されたチャートデータ及び対物光学系７の色収差量に基づいて被測定体Ｓの３次元形状を算出する制御ユニット１３とを備える。撮像装置１０〜１２はまた、２次元チャート３の投影像を得た際の光源２からの出力光の波長に対応させて、撮像された２次元チャート３の投影像をチャートデータとして保存領域に保存する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ワークの三次元形状情報を広範囲測定した際のデータ校正を良好に行うことのできる校正用治具を提供することにある。
【解決手段】回転ステージ12上のワーク24を異なる角度から分割測定した複数データを統合し該ワーク24の三次元形状情報を得る広範囲測定を行う際、該プローブ14高さを変える毎に該ステージ12に置かれ、該ステージ12回転軸情報及び該回転軸上での高さ情報を得るため該プローブ14により視野内のワーク24上の各点の位置情報が測定される校正用治具22であって、該回転軸情報を得るための互いに平行でない二平面60,62と該高さ情報を得るための高さ位置校正用特徴部位64とを備え、該平面60,62上の各点の位置情報に基づく平面60,62情報により決定される交線66が回転軸26と一致するように該ステージ12に置かれ、該部位64が所定の高さに設けられていることを特徴とする校正用治具22。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ワークの三次元形状情報の広範囲測定を良好に行うことのできる非接触三次元計測装置を提供することにある。
【解決手段】非接触プローブ12の測定位置を二軸方向に平行移動することによりワーク20を異なる測定位置から分割測定し該分割測定された複数のデータを統合することにより該ワーク20の三次元形状情報を得る広範囲測定を行う非接触三次元計測装置10であって、測定位置に静止した状態で視野に入るワーク20上の各点の位置情報を検出し該測定位置でのデータを得る該プローブ12と、該プローブ12の測定位置を二軸方向に平行移動する位置変更手段16と、該プローブ12の測定位置情報を得る位置検出手段16と、該非接触プローブ12の平行移動量に基づき該隣り合う測定位置で得られた複数データの平行移動方向の位置合わせを行う統合手段18とを備えたことを特徴とする非接触三次元計測装置10。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して構造の簡略化を図ることができるとともに、移動制御を容易に行うことができる平面度測定装置を提供する。
【解決手段】基台１１上に立設支持されたシート状の被測定物Ｗの上方において、被測定物Ｗに沿って延びるように、基台上１１に横軸ガイドレール１４を架設する。横軸ガイドレール１４には横軸スライダ１５を横方向へ移動可能に支持する。被測定物Ｗの表裏両面に沿って平行に延びるように、横軸スライダ１５には一対の縦軸ガイドレール１６を吊下する。各縦軸ガイドレール１６には一対の縦軸スライダ１９を縦方向へ移動可能に支持する。被測定物Ｗの表裏両面に対向するように、各縦軸スライダ１９には一対のセンサ２０を支持する。 （もっと読む）

【課題】内燃機関に好適に用いられ、液膜の蛍光現象を用いて液膜の厚さを高精度に計測することが可能な液膜厚さ計測装置を提供する。
【解決手段】液膜厚さ計測装置は、紫外光を発光する発光素子と、発光素子からの紫外光を透過させると共に液膜側からの蛍光を含む光を反射させるハーフミラーと、ハーフミラーを透過した発光素子からの紫外光を液膜に向けて伝送すると共に液膜から発せられた蛍光を含む光をハーフミラー側に伝送する光ファイバと、ハーフミラーにて反射された蛍光を含む光から紫外光をカットして蛍光のみを透過させる紫外光カットフィルタと、紫外光カットフィルタを透過した蛍光を受光して液膜の蛍光強度を検出すると共に液膜の蛍光強度に応じた電圧値を出力する光センサとを含む。それらの各構成要素は１つの筐体内に収容されている。これにより、光センサの出力電圧値に基づき液膜の厚さを算出することが可能な液膜厚さ計測装置が得られる。 （もっと読む）

超高分解能走査光学測定装置が開示され、該走査光学測定装置は、光源と、光源から照射された光を集束させる第１レンズと、第１レンズの次に配される第１ピンホールと、第１ピンホールを通過した光を発散させる第２レンズと、第２レンズを通過した光を走査するための走査ユニットと、第２レンズと走査ユニットとの間に配された第１ビームスプリッタと、走査ユニットから出てきた光を第１経路上に配させるものであり、被検体をスキャニングするためのスキャニング・ユニットと、スキャニング・ユニットを通過した光を被検体に集束するための対物レンズと、被検体が置かれるスライドと、光源から照射された後、被検体を通過した光を反射させる光学探針と、スキャニング・ユニットと対物レンズとの間に配された第２ビームスプリッタと、被検体と光学探針とから反射され、第１ビームスプリッタを経由した光を検出するための第１光検出器と、第１ビームスプリッタと第１光検出器との間に配された第２ピンホールと、被検体と光学探針とから反射され、第２ビームスプリッタを経由した光を検出するための第２光検出器とを含む。
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【課題】歪みゲージの配線を不要とし、且つ従来の光学的手法により、従来技術より遙かに高精度に歪みを測定でき、また特定の方向の歪みにのみ感度を有するようにしたことで歪みの方向が特定できることを可能にする光学的歪測定素子および光学的歪測定装置などを提供すること。
【解決手段】入射光の波長以下の大きさの金属微小体を複数用いて前記金属微小体の大きさよりも小さい間隔で並べた金属微小構造体が配列された光学式歪測定素子。 （もっと読む）

【課題】本発明は、歪み及び／又は温度をより高精度で測定可能な分布型光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】本発明に係る、ブリルアン散乱現象を利用して歪み及び／又は温度を測定する分布型光ファイバセンサでは、メイン光パルスと、メイン光パルスに先立ち、最大光強度がメイン光パルスの光強度よりも小さく、エネルギーが立ち上がりからメイン光パルスの立ち上がりまで最大光強度で一定の光パルスにおけるエネルギーよりも小さいサブ光パルスとが検出用光ファイバ１５に入射され、連続光が検出用光ファイバ１５に入射され、そして、検出用光ファイバ１５から射出されるこれら光の相互作用によって生じるブリルアン散乱現象に係る光に基づいて検出用光ファイバ１５に生じた歪み及び／又は温度が測定される。 （もっと読む）

【課題】ＴＶカメラ自体が有する画素分解能よりも高い分解能を有する映像を作成することにより、欠陥の視認性を向上させた検査画像を得構造物の検査装置及びその検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象物１００を撮影するＴＶカメラ１０１と、ＴＶカメラ１０１を検査対象物に対して走査運動を行わせるＴＶカメラ駆動装置１０２と、ＴＶカメラ１０１の映像をデジタル画像として取り込む画像取込装置１０５と、ＴＶカメラ１０１の走査運動を測定するカメラ運動測定装置１０４と、画像取込装置に取り込まれた複数のデジタル画像とカメラ運動測定装置１０４で測定したＴＶカメラ１０１の走査運動データからＴＶカメラ１０１が有する画素分解能よりも高い画素分解能を有する高精細画像を作成する高精細画像作成装置１０６と、高精細画像を表示する表示装置１０７と、検査対象物の位置情報を記録保存する記録装置１０８とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物が低反射性或いは光吸収性材質の場合でも、その微小変位を高感度に検出する方法、および小型で安価な高感度微小変位計を提供する。
【解決手段】入射計測光が金属薄膜１の界面に金属増強エバネッセント光を発生させるように、透明誘電体２に金属薄膜１を密着形成した光結合器を構成し、測定対象物５に対し間隙層６を介してこの光結合器を配置する。入射計測光により金属薄膜１の間隙層６側の界面に発生させた金属増強エバネッセント光が近接する測定対象物５と光学的に相互作用して、金属薄膜１と測定対象物５間の微小距離に依存した、光結合器からの反射検出光を、光検出器４で計測することによって、測定対象物５の微小変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】試料を汚染せずに、かつ、高い分解能で信頼性の高い測定結果を得ることができるようにする。
【解決手段】プローブ１４は、円錐凹状に形成され、プローブ１４の内面には、表面プラズモン共鳴が起きるように、金属蒸着によって金属膜コート３０がプローブ１４の先端まで形成されている。プローブ１４において、情報検出レーザ光１９を先端にフォーカスさせると、金属膜コート３０の表面でプラズモン共鳴を起こし、先端から近接場光３１が発生し、近接場光３１が試料に照射される。 （もっと読む）

【課題】 溶接部にスパッタなどの付着物が存在する場合に、溶接部の溶接品質を正しく評価できる溶接品質の評価方法を提供する。
【解決手段】 光照射式の凹凸測定器により取得した溶接部の表面の凹凸情報を、溶接ビードに平行な方向にローパスフィルタ処理して溶接部に存在するスパッタなどの付着物によるノイズを除去し（ステップ２）、このフィルタ処理済みの凹凸データを用いて、溶接ビードに垂直な面内における左右に位置する母材の接線をそれぞれ求め（ステップ３）、溶接ビードに垂直な方向の凹凸情報と左右の各母材の接線とから、溶接ビード全長にわたって該溶接ビードのビード端を算出し（ステップ４）、前記算出したビード端，母材の接線，凹凸情報のうち、少なくともビード端を用いて求めた溶接部の外観形状の特徴量に基づいて、溶接部の溶接品質を評価する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く精度の良い被測定物の形状計測を行う。
【解決手段】保持している光線制御データに基づき、明暗のピッチ幅を順次半減したストライプ状の投影パターンを有する光線を発光して被測定物Ｍに照射する光線照射手段２０と、光線が照射された被測定物Ｍを撮像して画像情報を出力する撮像手段３０と、撮像された画像情報から被測定物Ｍの形状を算出する画像情報演算手段４０とを備え、ストライプ状の投影パターンにおける明暗の変化部分が所定の勾配を有している。 （もっと読む）