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Fターム[2F065FF00]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 測定方法 (22,691)

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【課題】計測対象物の所定領域を高さ基準面として適正に利用可能であって、しかも、簡素化によりコストを低減させると共に三次元計測に要する時間を低減させた三次元計測装置を提供する。
【解決手段】計測基準領域とそれに応じた照明装置10の輝度との対応関係が基板用テーブル27Bとして照明用データベース27に記憶されている。そして、この基板用テーブル27Bに基づき、計測基準領域に応じた照明装置10の輝度(背景用輝度)が設定可能となっている。かかる構成の下、背景用輝度での照射によって得られる画像データに基づき、プリント基板の計測基準領域の三次元計測を行う。また、検査対象領域の計測を目的とする撮像に前後して計測基準領域の計測を目的とする撮像を1回だけ行い、各撮像ごとに三次元計測を行う。 (もっと読む)


本発明は、車両と対象物との間、及び、特に、歩行者と車両のフロントバンパ(12)との間の衝突を検知する装置並びに方法に関する。光ファイバアレイ(14)はバンパ(12)に沿って延びており、前記アレイ(14)は、前記バンパ(12)に沿って離間されているセンサを有する。センサは、ファイバ上に周辺方向及び軸心方向で離間される光損失領域を有する。衝突がセンサを変形させ、そして、変調している光が1つ又は複数のファイバに沿って伝達される。信号が生成され、それは信号プロセッサにより加工され、そして、出力信号が生じる。前記出力信号を使用して、安全装置の起動、例えば、車両ボンネットをもち上げてボンネットとエンジンとの間での空間を増やし、そして被害の深刻性を減少させる。
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【課題】黒鉛等のように赤外線の吸収量が大きい素材や、基材の素材と赤外線の吸収量に対して同じような性質を有する素材によって形成された膜の厚さであっても測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】被測定対象Aの加熱面HSにおける温度の時間変動特性と、温度測定手段によって測定された被測定対象Aの加熱面HSの温度とに基づいて、被測定対象Aの膜厚Dを算出する演算手段5とを備えており、温度測定手段がガルバノミラー走査型の赤外線サーモグラフィ2であり、演算手段5は加熱手段10による加熱によって被測定対象Aの加熱面HSの温度上昇が開始したタイミングを算出する加熱タイミング検出部6と、加熱タイミング検出部6によって検出された被測定対象Aの加熱面HSの温度上昇開始タイミングT0と、被測定対象Aの加熱面HSの温度に基づいて、被測定対象Aの膜厚Dを算出する膜厚算出部7とを備えている。 (もっと読む)


【課題】 移動体としてのステージ自体に歪みが生じていてもステージの位置検出精度を向上させることができる面形状計測方法等を提供する。
【解決手段】 レーザ干渉計13を用いてウェハステージWSTに設けられた移動鏡12のZ軸に対する傾きを計測し、この計測結果に基づいてZ軸に対する移動鏡12の傾きが零となるようにウェハステージWSTの姿勢を制御し、多点フォーカス位置検出系21を用いてこのときのウェハステージWSTの姿勢を計測する。以上の処理を計測対象の移動鏡12の鏡面に沿ってウェハステージWSTを微小移動させながら繰り返す。 (もっと読む)


本発明は、三次元の物体を一視角方向逆光シャドウグラフィによって測定する方法に関する。本発明によれば、物体の光学特性を決定し、この光学特性を用いてその物体を通過する光の伝搬の少なくとも1つの光学モデルを構築し、このモデルが、物体の画像の直接的な観察の結果にパラメータを関連付ける等式を含むことにより、このような物体(32)の少なくとも1つの幾何学的パラメータ、例えば可視光に対して透明又は半透明の中空球の厚みを測定することができる。前記画像は、一視角方向逆光シャドウグラフィによる物体の観察により生成されるもので、画像を作成し、観察を行い、等式及び観察の結果によりパラメータを決定する。
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構造体の境界上に敷設された光ファイバセンサ2を用いてこの光ファイバセンサ3が敷設された境界Г上の各点における構造体Sの歪みを計測する計測部3と、この計測部3による測定歪みを境界条件として構造体Sの所定の点における歪みを数値解析手法により算出する数値解析部5と、この数値解析部5による解析歪みに関する情報を構造体Sの位置と関連付けて表示する表示部6とを備える。
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【課題】 本発明の目的は、操作性を向上することのできる近接場分析装置を提供することにある。
【解決手段】 照射光学系12はその光軸Xの位置ないし傾きを変更自在な照射側可変光学系を含み、集光光学系14はその光軸Xの位置ないし傾きを変更自在な集光側可変光学系を含み、該照射側可変光学系を介して調整面に照射側ガイド光を照射し、該集光側可変光学系を介して該調整面に集光側ガイド光を照射し、該調整面で観察される照射側ガイド光のスポット及び集光側ガイド光のスポットが重なるように該照射側可変光学系の位置ないし傾きを調整する照射側調整手段60と、該調整面で観察される照射側ガイド光のスポット及び集光側ガイド光のスポットが重なるように該集光側可変光学系の位置ないし傾きを調整する集光側調整手段62と、を備えたことを特徴とする近接場分析装置10。 (もっと読む)


【課題】検知可能な位置を飛躍的に拡張でき、しかも比較的安価で高い安定性を有して侵入を検知する。
【解決手段】光ファイバー10A,10Bの長さ方向に一定間隔でファイバーガラスの屈折率が異なる複数種類のFBG(グレーティング部)を設け、両光ファイバーの同じ位置のFBGの反射波長が異なる組み合わせとして検知対象範囲に沿って敷設し、光信号発生器11からの光入力に対して各FBGからの波長λ1〜λ8の反射波をハーフミラー12A,12Bで導出し、波長シフト検出器15A,15Bで波長シフトが生じた各FBG位置をタイミングパルスとして検出し、論理和演算部17で論理和を得、侵入位置判定部18で当該FBGの反射波長の違いの組み合わせから侵入位置を検知する。 (もっと読む)


【課題】従来のセンサ用ファイバと同様に高感度でありながら、さらに容易に製造することが可能なセンサ用ファイバとその製造方法並びにそれを組み込んだセンサシステムを提供する。
【解決手段】光伝送路として配設される光ファイバである本線体10の中途部に、光ファイバであるセンサ部20が接続されている。センサ部20は、本線体10のコア11の径より小さなコアを有するセンサ中央部23と、本線体10とセンサ中央部23の間において本線体10からセンサ中央部23にかけて異なるコア径をなめらかに接続するコア形状を有するセンサ接続部24とを含み、本線体から入射する光をセンサ部20においてリークさせる構成とする。 (もっと読む)


【課題】 反射像が歪んで見える反射歪みを定量的に測定することのできる表面形状測定方法及び表面形状測定装置を提供する。また、測定対象物の表面形状を短時間で精度良く測定することのできる表面形状測定方法及び表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 縞パターンを被測定面2A上全体に照射しガラス2の被測定面2Aで反射された変形縞パターンをCCDカメラ9で撮像しCCDカメラ9の各画素の視線が到達する格子グリッド4A上の各点を特定した。同様に基準ガラスの被測定面で反射された基準縞パターンをCCDカメラ9で撮像しCCDカメラ9の各画素の視線が到達する格子グリッド4A上の各点を特定した。ガラス2の被測定面2Aにて反射されるCCDカメラ9の各画素の視線と、基準ガラスの被測定面にて反射されるCCDカメラ9の各画素の視線とから各点の偏倚量を算出し、それに基づいてレンズパワーを算出する。 (もっと読む)


【課題】 たとえ基板が絶縁性であっても、基板表面又は該基板表面の面上の原子を操作することができる原子操作方法などを提供する。
【解決手段】 Sn原子60aの上方に探針32の先端を移動させ(図3(d))。探針32に所定の原子間力が作用するまで基板51に近づけ(図3(e))、探針32に所定の原子間力が作用した状態を維持しながら、Ge原子70aに対応する位置まで、探針32を主走査方向(横方向)に移動させる(図3(f))。そして、探針32に作用する原子間力が弱くなるように、探針32を基板51から遠ざける(図3(g))。図3(d)〜図3(g)の処理を繰り返し、探針32に所定の原子間力が作用した状態で、探針32を横方向に移動するとき(図3(e)→図3(f))に、探針32の先端とSn原子60a及びGe原子70aとの間に作用した原子間力によって、Sn原子60aとGe原子70aとの位置が交換される。 (もっと読む)


【課題】 大きい物体、形状が複雑な測定対象物でも、運動パラメータを簡単かつ高精度に求め、高精度の三次元形状を得る計測システム等を提供する。
【解決手段】 測定対象物163に正弦波格子パターンを投射する格子パターン投射手段101と、格子パターン投射手段を一定の方向に一定量ずつ移動させる格子駆動手段と、独自の原点と座標軸からなる座標系を有し、正弦波格子パターンが投射された測定対象物の画像を撮影する画像撮影手段100と、画像撮影手段を移動させる移動手段と、測定対象物に正弦波格子パターンを投射する補助的な第2の格子パターン投射手段162と、第2の格子パターン投射手段を一定の方向に一定量ずつ移動させる第2の格子駆動手段と、移動前後の画像撮影手段の各々の座標系を一致させる統合キャリブレーション手段とを備える三次元形状計測システム等。 (もっと読む)


【課題】 回転体の大きさおよび回転数にかかわらず、必要な時に物理量を精度よく計測できる回転体物理量計測方法および回転体物理量計測装置を提供する。
【解決手段】 光源60から出力された計測光は、光カプラ44を介してレンズ22から放射され、回転体12に向けて空間を伝搬する。空間を伝搬した計測光は、レンズ24で集光され、光ファイバ26を伝搬して計測用光ファイバに入射する。計測光は、計測用光ファイバを伝搬する過程で、ひずみ量に応じて反射され、戻り光を生じる。戻り光は、光ファイバ26を計測光と逆方向に伝搬して、レンズ24から放射され、固定側に向けて空間を伝搬する。空間を伝搬した戻り光は、レンズ22で集光され、光カプラ44を介して計測部70に入射する。計測部70は、戻り光の時間的な強度変化を計測して、ひずみ量を算出する。 (もっと読む)


3次元オブジェクトを、単一視点方式の光学系を用いるシャドウグラフ法により、光伝搬の光学法則を使用して測定する方法である。
本発明によれば、オブジェクト(32)、例えば可視光に対して半透明または透明の中空球を測定するために、光がオブジェクトを通過して伝搬する現象に関するスネル−デカルトの法則から、オブジェクトの幾何光学的パラメータを、オブジェクトの画像に対して直接行なわれる観察の結果に関連付ける方程式を導き、前記画像は、前記オブジェクトを、単一視点方式の光学系を用いるシャドウグラフ法を使用して観察することにより取得され、前記画像を取得し、観察を行ない、そしてオブジェクトの少なくとも一つの幾何学または光学パラメータを、方程式及び観察結果を使用して求める。 (もっと読む)


光ファイバコア2aとクラッド2bと被覆層2cとを有する光ファイバー芯線2と、この光ファイバー芯線2を保持する基材3と、この基材3を構造物1に取り付けるための取り合い部材4とを備えた。
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【課題】 各種光ファイバを組み合わせたハイブリッド伝送路における光ファイバの測長を、OTDRを用いて高精度に行う。
【解決手段】 OTDR10にて光ファイバ11の長さを測定する際の設定値として用いる群屈折率nを、ハイブリッド伝送路を構成するシングルモードファイバ及び分散補償ファイバの長さ比率Psmf、Pdcfによって重み付けされたそれぞれの群屈折率nsmf、ndcfから求める。 (もっと読む)


【課題】2点法または3点法による表面形状測定装置において、2軸または3軸の変位センサーとしてレーザ測長器を用いることで精度を向上させる。
【解決手段】3点法のレーザ測長器である干渉計1、2、3を搭載する第一の移動ステージ4は、第二の移動ステージ6によってガイド7に沿ってZ方向に移動可能であり、第一、第二の移動ステージ4、6は、参照ミラー5とともに第三の移動ステージ11によって、ガイド12上を移動し、測定対象W1 に対してX方向に走査され、各計測軸による測長データを取り込む。測定対象を入れ替えたときは、第一の移動ステージ4をX方向に駆動し、各干渉計1〜3を測定対象および参照ミラー5の同一位置に位置決めして、リセットまたは初期値入力処理を行う。 (もっと読む)


【課題】複数の糸条の外径を測定する場合にも、大型の走査機構を必要とせず、安いコストで測定できる測定方法および装置を提供する。
【解決手段】形状測定手段と信号処理手段と走査手段と測定ロールとを用い、測定ロール上にある複数の糸条に対し、走査手段により走査させつつ形状測定手段で所定の糸条の表面形状を測定し、得られた表面形状から信号処理手段により測定ロール表面と糸条頂部を認識し、これらの高さの差から糸条の外径を測定することを特徴とする糸条外径測定方法、および糸条外径測定装置。 (もっと読む)


組織の1つ以上の構造的変化に関連するデータを決定するためのシステム、プロセスおよびソフトウェア構成。より詳細には、第1の応力レベルでの組織に関する第1の情報を含む第1の光コヒーレンス断層撮影法(「OCT」)信号と、第2の応力レベルでの組織に関する第2の情報を含む第2のOCT信号とが受信される。第1の情報と第2の情報とが、比較情報を生成するために比較される。1つ以上の構造的変化に関連するデータが、比較情報と、(i)組織の少なくとも1つの既知の特性及び/又は(ii)OCTシステムの特性に関連する更に別の情報との関数として決定される。更に、組織に関する情報を含む1つ以上の光コヒーレンス断層撮影法(「OCT」)信号が受信され、組織の弾性率が、受信された1つ以上のOCT信号の関数として決定される。 (もっと読む)


【課題】 手術を受ける状態での角膜の三次元形状をより精度良く測定でき、また、取扱いが容易で、装置のコンパクト化を可能にする。
【解決手段】 治療用レーザ光源からのレーザ光により角膜組織を切除するレーザ照射光学系を備える角膜手術装置は、該装置の内部に配置された角膜形状測定ユニットであって、広帯域の波長幅の光を出射する測定光源と,測定光源からの測定光を分割する分割ミラーと,分割された測定光の一方の光路に配置された参照ミラーと、角膜からの反射光と参照ミラーで反射された参照光とによる干渉光を受光する位置に配置された光検出器とを含み、光検出器で検出される干渉光によるOCTを用いて角膜の三次元形状を得る角膜形状測定ユニットを備え、角膜形状データに基づいて角膜切除データを得てレーザ照射光学系により角膜を切除する。治療用レーザ光源は角膜形状測定ユニットの測定用光源を兼ねると共に超短パルスレーザ光を発生する。 (もっと読む)


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