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Fターム[2F065FF06]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 測定方法 (22,691) | 画像計測、写真計測 (6,129) | モアレ縞 (294)

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【課題】物体の形状認識を正確に、かつ、高速に行うことのできる部品実装装置を提供する。
【解決手段】撮像部10と、輝度変化光を斜めから照射する照射部20と、対象物および基準点42を撮像部および照射部に対し第二方向に相対的に移動させて、対象物および基準点を撮像対象領域に対して通過させる移動部40と、基準点データと対象物データとを取得するデータ取得部と、それぞれの撮像のタイミングT1〜T4での基準点位置と基準点基位置との位置ずれを導出する位置ずれ導出部と、それぞれの撮像のタイミングの対象物基位置に対して、導出された位置ずれを加算して得られた対象物の測定部位の位置に対応する輝度値を取得する輝度値取得部と、取得された輝度値に基づいて、位相シフト法による波形を作成する波形作成部とを備える。 (もっと読む)


【課題】3次元形状の測定精度をより改善できる3次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の3次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第1方向にN回入射した後、測定対象物に格子イメージを第2方向にN’回入射する投影部と(N及びN’は2以上の自然数)、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の3次元状態を算出する制御部と、を含む。 (もっと読む)


【課題】 複数の3次元形状計測法、表面計測手法を相補的に組み合わせることで、測定対象の形状によらず高い計測精度を確保した3次元形状検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、検査対象の参照モデルの形状データである参照データを格納する格納部と、前記参照データから第1の形状データを取得する領域を特定する領域特定部と、前記領域特定部で特定した領域について前記第1の形状データを取得する第1の3次元形状センサと、前記領域特定部で特定した領域以外の領域について前記検査対象の前記第1の形状データとは異なる第2の形状データを取得する第2の3次元形状センサと、前記第1の形状データと前記第2の形状データとを統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする3次元形状検査装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】対象物の奥行方向に対する計測精度の低下を抑制し、計測空間全域において良好な計測精度を得る。
【解決手段】計測空間への投影動作を実行する投影部と、投影動作が実行された計測空間中の対象物を撮影する撮影部と、撮影された画像に基づいて対象物の三次元形状を計測する計測部と、を備え、計測空間は、撮影部の撮影光学系のフォーカス位置の基準となる計測基準面を含み、且つ投影部の投影範囲と撮影部の撮影範囲とに基づいて規定されており、フォーカス位置は、撮影部から観察した場合に計測基準面の位置よりも奥に設定されている。 (もっと読む)


【課題】風や反射光などの外乱の影響による誤検出を低減させ正確な変位量を検出することができる、安価で高精度な変位検出警報システムを提供すること。
【解決手段】再帰反射材を用いた1枚のターゲットに対して、異なる方向から複数の変位検出装置によって撮影することで、昼夜問わず外乱による誤検出を低減させることができる。さらに、変位検出装置で撮影した画像データと過去の計測データと気象データを統合することにより、気温の変化によるターゲットもしくは変位検出装置の変形や、両方の変形、降雨や風による変位の誤検出が発生しやすい場合でも、高確率で正しい判定が可能になる。また、各変位検出装置でデータを分散して保存することにより、変位検出装置が最後の1台になっても、計測を継続することが可能である。 (もっと読む)


【課題】物体の形状計測を非接触且つ高精度で行い得る形状計測装置及び形状計測方法を提供する。
【解決手段】 本発明の形状計測装置1は、少なくとも5つの光源を等間隔に直線状に配列した光源アレイ11、1次元格子の格子面を有する格子プレート12、1次元格子が投影される計測対象物体21を撮影するカメラ13及び制御ユニット50を備える。制御ユニット50は、少なくとも5つの光源のうち隣接配置の少なくとも4つの光源からなる光源組を2組設定し、この2組の光源組における各光源を順次点灯するよう光源アレイ11を制御するとともに、それぞれ計測対象物体21に投影される1次元格子を撮影するようカメラ13を制御し、撮影された画像から2組の光源組による計測対象物体21上に投影された1次元格子の位相をそれぞれ算出し、当該2つの位相の差を位相シフト量として予め定めた換算式に基づいて計測対象物体21に関する高さ座標を求める。 (もっと読む)


【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ4及びレジスト膜5の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ4の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第1仮想基準面K1として設定し、さらに当該第1仮想基準面K1をベース基板2の表面2aに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第2仮想基準面K2として設定する。そして、当該第2仮想基準面K2からの各クリームハンダ4の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ4の印刷状態の良否を判定する。 (もっと読む)


【課題】 三次元位置計測において、投影パターンのパターン形状を適切に設定することを目的とする。
【解決手段】 計測対象に対してパターン光を投影する投影手段と、前記パターン光が投影された前記計測対象を撮影し、前記計測対象の撮影画像を取得する撮影手段と、前記撮影画像と、前記投影手段の位置および姿勢と、前記撮影手段の位置および姿勢とに基づいて、前記計測対象の位置および/または姿勢を計測する計測手段と、前記計測対象の位置および/または姿勢の変動範囲に基づいて、以降に投影される前記パターン光のパターン形状を変更する変更手段と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 位置合わせに用いるマークからの光量を多くして検出しやすくする位置検出装置、及び、それを用いたインプリント装置を提供する。
【解決手段】 本発明の位置検出装置は、第一方向と、第一方向と異なる第二方向にそれぞれ周期をもつ第一回折格子と、第1回折格子の第二方向の周期と異なる周期を第二方向にもつ第二回折格子と、を斜入射照明する照明光学系と、第一回折格子と第二回折格子とからの回折光を検出する検出光学系と、を備え、検出した回折光に基づいて第一回折格子と第二回折格子との第二方向に関する相対的な位置を検出する位置検出装置であって、照明光学系はその瞳面において、第一方向に、複数の極を有する光を照明することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】プリント配線板等のそり測定において、測定精度の向上と測定時間の短縮が可能なそり測定方法を提供するとともに、量産機として使用できるそり測定装置を提供する。
【解決手段】平面度が300μm以下である平滑板上に、測定対象物を積載して、測定対象物の平面度を測定するそり測定方法。また、このそり測定方法により、測定対象物の平面度を測定する、好ましくはインライン化されたそり測定装置。 (もっと読む)


【課題】 異なる2つの物体の回転ずれを計測する際に、従来と比較して計測時間の短い検出装置、検出方法、インプリント装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】 異なる2つの物体にそれぞれ形成された格子マークが重なることによって生じる干渉縞を用いて、前記2つの物体の相対的な回転ずれ量を求める検出装置において、前記干渉縞を検出する検出器と、該検出器で検出された前記干渉縞の傾きから前記異なる2つの物体の相対的な回転ずれ量を求める演算部と、を有することを特徴とする検出装置。 (もっと読む)


【課題】容易且つ安価に計測対象物の変位量を表示可能な歪量表示方法等を提供する。
【解決手段】歪量表示方法は、模様11b、12bが形成された模様領域11a、12aを有する一対の基体11、12の前記模様領域11a、12aが重なり合うようにして、所定の間隔を有して計測対象物に固定され、前記模様11b、12bの干渉によって発生するモアレ縞5によって前記計測対象物にかかる歪量を表示する。また、そのモアレ縞を撮影して、計測対象物の健全性を評価する。 (もっと読む)


【課題】3次元形状測定装置および測定方法を提供すること。
【解決手段】3次元形状測定方法は、測定対象物の第1測定領域で第1画像を撮影する段階と、第1中央処理ユニットを通じて前記第1画像を演算処理し、前記第1測定領域での3次元形状を算出する段階と、前記第1中央処理ユニットが前記第1画像を演算処理する間に、前記測定対象物の第2測定領域で第2画像を撮影する段階と、第2中央処理ユニットを通じて前記第2画像を演算処理し、前記第2測定領域での3次元形状を算出する段階と、を含む。これにより、3次元形状の測定時間を短縮させることができる。 (もっと読む)


【課題】観察対象物の表面の3次元ビューを表示し、表面の凹凸、寸法を取得する方法及び装置を提供する。
【解決手段】複数の表面点の第1の座標系における3次元座標を決定し、観察対象物の表面の複数の測定点を選択し、複数の測定点のうちの1つまたは複数に隣接した複数の表面点のうちの3つ以上の第1の座標系における3次元座標に基づいて基準表面250を決定し、基準表面および複数の測定点に基づいて第1の座標系とは異なる第2の座標系を設け、複数の表面点の第1の座標系における3次元座標を第2の座標系における3次元座標に変換し、複数の測定点に基づいて、観察対象物202の表面210の対象領域262内である複数の表面点のサブセットを決定し、第2の座標系の3次元座標に複数の表面点のサブセットの描画された3次元ビューを表示する。 (もっと読む)


【課題】乗物用シートの剛性を低下させることなく、着座した乗員の体格を検知可能な乗物用シートを提供する。
【解決手段】乗員が背中を凭せ掛けるシートバック部20と、乗員が腰を下ろすシートクッション部30とを備え、シートバック部20またはシートクッション部30の少なくとも一方は枠部22を有しており、枠部22に2重となるように取り付けられる伸縮性を有する網状の表皮23と、シートバック部20またはシートクッション部30に対して乗員の反対側に配置されているとともに乗員が着座することで表皮に浮き出た模様を撮像する撮像手段Ca、Cbと、撮像した模様に基づいて着座している乗員の体格を判定する処理手段Cuとを備えている。 (もっと読む)


【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、計測精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置8は、プリント基板に対し光を照射する照明装置10と、当該プリント基板を撮像するCCDカメラ11と、制御装置12とを備えている。制御装置12は、CCDカメラ11により撮像された元画像データを記憶する元画像データ記憶手段24と、元画像データからRGB各色成分を抜き出す抜き出し画像データ作成手段25と、抜き出し画像データのデータ欠落部分を補完する補完画像データ作成手段26と、当該補完画像データを基にカラー輝度画像を作成するカラー画像作成手段27と、当該カラー輝度画像を基に計測対象領域を抽出する二次元計測手段28と、当該計測対象の三次元計測を行う三次元計測手段29と、当該計測結果を基にハンダの印刷状態を検査する判定手段30とを備えている。 (もっと読む)


【課題】測定対象物の表面に発生するひずみを、直接測定すること無く離れた位置から簡易に、かつ、高精度に計測可能なひずみ計測方法及びひずみ計測システムを提供する。
【解決手段】ひずみ計測システム1は、測定対象物2の表面の計測対象領域Sを正面から撮像する第1撮像装置3と、測定対象物2の側面を撮像する第2撮像装置5と、第1撮像装置3及び第2撮像装置5により撮像された画像に基づいて測定対象物2に発生するひずみを算出する計測装置10と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】交点間隔を正しく求め、精度良く三次元計測を行える三次元計測装置及び方法を提供する。
【解決手段】明部と暗部を交互に配置する第1のパターン光と、前記第1のパターン光の位相をずらした第2のパターン光とを測定対象物に投影する投影手段と、第1または第2のパターン光が投影された測定対象物を撮像する撮像手段とを有する三次元計測装置は、撮像手段により得られた、第1及び第2のパターン光の画像データの階調値から、-階調値の交点位置を算出して三次元位置を計算する。ここで、パターン光の明部と暗部の繰り返しの周期を1周期とし、撮像手段が有する1画素が測定対象物面上において撮像する範囲を撮像間隔とし、投影されたパターン光の測定対象物面上での1周期の長さを撮像間隔のM倍としたときに、「2×N−0.2≦M≦2×N+0.2(ただし、Nは2以上の整数値)」を満たすように投影手段と撮像手段が配置されている。 (もっと読む)


【課題】 ショット領域間の相対位置の計測を容易に行いうるインプリント装置を提供する。
【解決手段】 インプリント装置は、基準マークが形成されたモールドを保持する支持体と、各ショット領域に第1マーク及び第2マークが形成された基板を保持する基板ステージと、前記各ショット領域に形成された前記第1マーク及び前記第2マークと前記モールドに形成された前記基準マークとを検出することによって前記各ショット領域間の相対位置を計測する検出器とを備える。前記検出器は、隣接しあう2つのショット領域のそれぞれに形成された隣接しあう前記第1マーク及び前記第2マークそれぞれの前記基準マークに対する位置を検出することによって、隣接しあう前記2つのショット領域間の相対位置を検出する。 (もっと読む)


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