【課題】高速かつ高感度で欠陥検査を行うことができる検査装置、及び検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかると、対物レンズ１３と、対物レンズ１３の視野の一部である検査領域５２を照明する反射照明光学系６１と、検査領域５２と検査領域５１とを照明する透過照明光学系６２と、透過照明光学系６２に設けられ、検査領域５２に入射する透過照明光の光強度を検査領域５１に入射する透過照明光の光強度よりも低くする部分透過板４と、検査領域５２において、透過照明光学系６２からの透過照明光のうち試料を透過した透過光と反射照明光学系６１からの反射照明光のうち試料で反射した反射光とを検出するＴＤＩカメラ１６ｂと、検査領域５１において、透過照明光学系からの光のうち試料を透過した透過光を検出するＴＤＩカメラ１６ａと、を備えるものである。 （もっと読む）

光学的放射の手段による対象物の表面の特性を決定するための測定機器は、光学的放射源及び測定表面から反射した放射を受信する検出器を具備する。更に、測定デバイスは、放射される光学的放射の処理装置を具備し、それは、光源から放射される光学的放射を、別の波長へ分割し、前述の波長の内、少なくとも最も短い波長及び最も長い波長が、測定表面の法線方向において、測定対象物の異なる半分且つ異なる高さに集中するように、前述の測定対象物への分割された波長を測定表面の通常から異なる方向に向けるように調整される。更に、測定デバイスは、反射光の放射線処理装置を具備し、被測定物から少なくとも鏡面反射の方向に反射光学的放射線を受けるように調整され、測定表面の法線方向とは異なり、受信した光学的放射を前述の検出器へ向ける。更に、測定デバイスは、検出器によって生成された電子シグナルを分析し、そこに集中した放射線の強度に比例し、更に、被測定物の表面の光沢（光沢度）及び／又は厚さ特性を、その波長の強度、測定面に位置する、焦点に基づいて決定するように調整され、波長は鏡面のジオメトリにおいて検出器へのその点から反射された最も強いものであった。 （もっと読む）

【課題】ウエハを保持するステージを高精度で駆動する。
【解決手段】 微動ステージＷＦＳ１と微動ステージＷＦＳ１を支持する粗動ステージＷＣＳ１とにより囲まれる空間内に位置決めされる計測アーム７１Ａがエンコーダヘッドを有し、該ヘッドにより微動ステージＷＦＳ１に設けられたグレーティングＲＧに計測ビームを照射し、グレーティングＲＧからの戻りビームを受光する。ヘッドの出力に基づいて、微動ステージ位置計測系が微動ステージＷＦＳ１の位置情報を計測する。計測アーム位置計測系７２Ａ_０が、計測アーム７１Ａの光軸ＡＸに対する相対位置情報を計測する。従って、微動ステージ位置計測系と計測アーム位置計測系７２Ａ_０との計測結果に基づいて、光軸ＡＸを基準とする微動ステージＷＦＳ１の位置情報を高精度で計測する。 （もっと読む）

様々な計測システムおよび計測方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】クロマティックコンフォーカル変位計の高分解能且つ高速応答化及び小型化を可能とする。
【解決手段】対物レンズ１２に対し、測定対象（８）と反対側の共焦点に広帯域光源２２を配置し、測定対象からの反射光が戻るときの共焦点位置に空間フィルタを設けて透過させ、測定対象に合焦した波長の被測定光を抽出し、該被測定光の波長を特定することにより、測定対象の位置を測定する光学式変位計において、コリメートされて一方向に伝播される被測定光を、その伝播方向Ｚと直交する２方向のＸ、Ｙの直線偏光に分ける偏光子５２と、該２方向の直線偏光を通過させて、光波長に応じた位相差を持つ楕円偏光とする波長板５４と、該楕円偏光を、ＸＹ間の２つの方向の偏光成分に分ける偏光分離素子５６と、各偏光成分の光量を検出する受光素子５８Ａ、５８Ｂとを備え、該受光素子で検出した光量信号Ａ、Ｂを用いて、（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）の演算を行う。 （もっと読む）

【課題】ガラス容器中の応力曲線に加えて応力層の厚さおよび壁厚の両者を迅速かつ正確に確定するために蛍光発光を使用する、ガラス容器壁中の応力および壁の厚さを測定するための装置および方法が開示される。
【解決手段】本装置および方法を、ガラス容器の全周囲にわたるガラス容器側壁中の応力および側壁の厚さの両者を迅速かつ正確に測定するために使用することができる。本装置および方法は、大規模ガラス容器製造に適合され、ガラス容器の側壁中の応力および側壁の厚さの高速測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】高スループットかつ高感度の欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】広帯域波長の照明を用いて結像性能を向上させることが有効である。そこで、従来の屈折型光学系より広帯域波長の照明が使用可能な反射型光学系を用い、更に良好な収差状態を得られるレンズ外周部の円弧形状のスリット状視野にする。しかしこの方式は、受光面での各検出画素寸法の違いによる明るさの差と、センサの出力配列を視野内の位置座標に対応付けることが課題である。課題を解決するために、明るさの差及び座標を画素位置に応じて個別に補正する。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を含む光を射出する光源部と、前記光源部から射出された光のうち、紫外光を透過し、熱線を吸収する紫外光透過性熱線吸収膜と、所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に前記紫外光を用いた直線偏光を照射する照明部と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出部と、検出部で検出された偏光成分に基づいて、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、照明部または検査部の光路上に、直線偏光または偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設される。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、
前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設されると共に、前記密閉部材３６のうちの前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成されている。 （もっと読む）

オーバーレイオフセットを特定するための方法は：第１の散乱測定セルに関する第１の逆対称差分信号（ΔＳ１）の取得と；第２の散乱測定セルに関する第２の逆対称差分信号（ΔＳ２）の取得及び第１の散乱測定セルに関する第１の逆対称差分信号（ΔＳ１）及び第２の散乱測定セルに関する第２の逆対称差分信号（ΔＳ２）からのオーバーレイオフセットの計算を含むがそれに制限されるものではない。 （もっと読む）

【課題】 可動部に傾きが生じても、細かい干渉縞の発生を防止することが可能な変位計測装置を提案する。
【解決手段】 変位計測装置１は、第一のベース２と、第一のベース２に対して可動に設置された第二のベース３と、を有している。第一のベース２には、光源４と、光源４から照射される光を測定光と基準光とに分岐するビームスプリッタ５と、ビームスプリッタ５からの基準光を第一の反射板６の方に向けて反射する第三の反射板８と、第一の反射板６で反射された基準光と第二の反射板７で反射された測定光との干渉光を検出する光検出器９およびλ／４波長板１０が設けられている。第二のベース３には、反射面が第二の反射板７の反射面と平行に設置されている第一の反射板６およびビームスプリッタ５からの測定光を反射する第二の反射板７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】試料表面のパターン形状の良否を、環境温度変化の影響を受けることなく判定する表面検査方法を提供する。
【解決手段】偏光子７及び対物レンズ９を含み、ウェハ１０の表面を照明する照明光学系２１と、ウェハ１０の表面からの反射光を、対物レンズ９を介して集光し、偏光子７とクロスニコル条件を満たすように配置された検光子１２を通して対物レンズ９の瞳面の像を結像する検出光学系２２と、瞳面の像を検出する第１の撮像素子１７と、を有する表面検査装置１００による表面検査方法は、第１の基準像を取得する第１のステップと、検査像を取得する第２のステップと、第２の基準像を取得する第３のステップと、第１及び第２の基準像の階調値の差を求め、当該差が所定値を越えたときに、検査像の階調値を補正する第４のステップと、補正後の検査像及び第１若しくは第２の基準像の階調値を用いてウェハ１０の欠陥を検出する第５のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】干渉計における位相シフトを複数の偏光板を用いて光学的に行う場合に生じる位相シフトの誤差の影響を受けない形状測定の結果を簡易に得る。
【解決手段】装置校正用工程において，物体光及び参照光の光路長を一定にし，物体光及び参照光各々を遮断したときの４つの光検出器の検出強度が一致するよう干渉光抽出用の４つの偏光板の保持角度を調節し（Ｓ１２），その後，物体光又は参照光の光路長に変動を与えつつ，４つの干渉光の強度の時系列変化の振幅が一致するよう光強度の線形補正のゲインを設定する（Ｓ１３）とともに，４つの干渉光それぞれの強度の時系列変化から得られるリサージュ波形に基づいて，３つの非基準の干渉光の位相シフトの誤差を算出し（Ｓ１４），被測定物について得られた干渉光の強度及び前記位相シフトの誤差とに基づいて，前記被測定物についての物体光と参照光との位相差を算出する（Ｓ１７）。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定対象が広範囲である場合における測定の所要時間を短縮できるとともに、製造コストを低減することを可能とする三次元形状測定システムを提供する。
【解決手段】パルス光を生成するパルス光源３６と、生成されたパルス光を分配する光分配器６４と、分配された各パルス光に基づいて、色が規則的に経時変化するチャープ光パルスを生成する複数のチャープ導入装置８４と、生成された各チャープ光パルスをワーク３２の各照射領域９４に照射し、ワーク３２で反射された各チャープ光パルスの各反射光像を取得する複数の反射光像取得部１１４と、取得された前記各反射光像の二次元情報及び色情報を用いて、ワーク３２の三次元情報を取得するカラー二次元検出器１０６とを有する。 （もっと読む）

単一の撮像経路を使用して三次元画像情報を生成するための方法と装置を開示する。当該方法は、当該方法は、前記単一の撮像経路の第１および第２のそれぞれの部位を通して第１および第２の画像を選択的に受信するステップを有し、前記第１の部位が、前記視野内の第１の透視点を有しており、前記第２の部位が、前記視野内の第２の透視点を有しており、前記第１および第２の画像が協働して、前記視野内の物体の三次元空間属性を表現するように働くことができるものである。当該方法は、また、前記第１および第２の画像を受信しつつ、前記撮像経路の前記第１および第２の部位の範囲を変化させて前記第１および第２の透視点の位置を変化させるステップを有し、前記透視点の位置の変化により、前記三次元空間属性の前記表現に対応する変化がもたらされるものである。当該方法は、さらに、前記第１および第２の部位の範囲を変化させるときに、前記第１および第２の画像の各々に関係する画像強度が概して一定の画像強度レベルに維持されるように、前記撮像経路の前記第１および第２の部位を通過する透過の変化を補償するステップを有する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成されたパターンの断面形状の非対称性を短時間で精度良く測定するパターン検査方法を提供すること。
【解決手段】基板上のパターンに光照射して得られた反射光画像上で、パターン方向に垂直な線を軸として線対称にある２点の反射光強度の差分を算出することによって検査パターンの強度差分を算出し、検査パターンの反射光画像の中から検査パターンの強度差分が最大値を示す第１の位置を抽出し、測定パターンの強度差分を算出して強度差分の最大値を抽出するとともに、測定パターンの断面形状を第１の位置で測定した場合の非対称性と、測定パターンの強度差分の最大値と、を対応付けした検量線を作成し、製品パターンの強度差分を算出して強度差分の最大値を抽出するとともに、製品パターンの強度差分の最大値および対応情報に基づいて、製品パターンの断面形状の非対称性を測定する。 （もっと読む）

【課題】 パターン投影法により測定対象物の表面形状を測定する測定システムにおいて、表面形状の測定時に、あわせて測定対象物の散乱特性を抽出することを目的とする。
【解決手段】 測定システムであって、ドットパターン光を所定の入射角で測定対象物１００に照射する照明部１１０と、反射光を、前記入射角と略等しい反射角で受光する反射光測定部１２０と、前記受光された反射光の受光位置と、所定の基準位置との間のずれ量に基づいて、測定対象物１００の表面の傾きを表面形状に関する情報として抽出するとともに、前記反射光の輝度値と、前記ドットパターン光のドットの径とを、散乱特性に関する情報として抽出する反射光抽出部１３０と、前記抽出された表面形状に関する情報と散乱特性に関する情報を、出力する出力部１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果に基づいて移動体が駆動される。この場合、アーム部材からグレーティングＲＧに計測ビームを照射する構成が採用されているので、ステージ定盤にエンコーダシステムを設ける場合とは異なり、移動体の駆動に起因する悪影響はない。従って、移動体を精度良く駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】感度の高い表面検査が可能な表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定のパターンが形成されたウェハ２０の表面に直線偏光Ｌ１を照射する照明部１０と、ウェハ２０から出射される楕円偏光を受光し、直線偏光Ｌ１と振動方向が異なる第２の直線偏光成分のみを通過させる検光子３と、ウェハ２０の像の信号強度を検出し、信号強度に基づいて被検基板の表面におけるパターンが形成されている位置を検出する位置検出部８ｂと、パターンが形成されている位置の信号強度が最小となるように、楕円偏光及び検光子３のいずれか一方を他方に対して相対回転させ、上記位置の信号強度が最小となる楕円偏光に対する検光子３の相対位置を決定し、上記相対位置に相対回転させる回転駆動装置３０と、検光子３を通過した第２の直線偏光成分を検出し、パターンを検査する表面検査部とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光弾性計測法を用いて、例えば、チェーンのリンクプレートなどのような組立体の構成部品の歪み、形状、内部応力及び外観などを精度良く検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】透明又は半透明な被検知体Ｍと被検知体Ｍに対して検査光を照射する光源と検査光の進行方向上であって光源と被検知体Ｍとの間に配置された第１偏光手段１１０と被検知体Ｍに対して第１偏光手段１１０と反対方向の検査光の進行方向上に配置された第２偏光手段１２０とを有し、検査光が第１偏光手段１１０及び第２偏光手段１２０を通ることによって生じる干渉模様を撮像する撮像手段１４０とを有し、光源が積層式の有機ＥＬ照明板１３０であることによって前記の課題を解決する。 （もっと読む）