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Fターム[2F065FF49]の内容

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【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
20と、パターンで反射した照明光を検出する受光系30および撮像装置35と、撮像装
置35により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部42とを備えている。 (もっと読む)


【課題】微弱信号を増幅可能な増幅装置を提供する。
【解決手段】増幅装置は、被測定系の観測量^Aを測定する際に、測定器と、初期状態が事前選択された被測定系を相互作用させ、次に被測定系の終状態を事後選択し、測定器の波動関数ξ(p)を用いて物理量の測定を行う。被測定系の量子状態の事前選択状態、事後選択状態それぞれのベクトルを|i>、|f>とするとき、式(1)の弱値Aが既知であり、A=<f|^A|i>/<f|i>…(1)、測定器と被測定系の相互作用ハミルトニアンHが、測定器の運動量演算子^pおよび結合係数g(ただしg>0)を用いて式(2)で与えられ、H=g・δ(t−t)・^A・^p…(2)、^A=1のときに、測定器は、波動関数ξ(p)が運動量表示で実質的に式(3)となる。
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【課題】パターンの凹部の厚さの計測に有利な技術を提供する。
【解決手段】残膜厚を算出するときに用いる光の入射条件を決定する方法は、残膜厚RLTとパターンの厚みとの計測感度の差が大きな第1偏光状態の反射光を生成する光の複数の第1入射条件と、残膜厚RLTの計測感度が良い第2偏光状態の反射光を生成する光の複数の第2入射条件とを組み合わせた複数の組み合わせのそれぞれについて、得られた反射光の強度を独立変数とし、前記情報を用いて得られた前記凹部の厚さを従属変数とする回帰式を作成し、作成された複数の回帰式のうち回帰誤差が許容条件を満たす回帰式に対応する第1入射条件を前記第1偏光状態の反射光を生成する入射条件として、該回帰式に対応する第2入射条件を前記第2偏光状態の反射光を生成する入射条件として、それぞれ決定する。 (もっと読む)


【課題】複数の検出用導光部材に光を好適に分配し得る光学式センサを提供する。
【解決手段】光学式センサは、光源10と、光源10に光学的に結合された光ファイバー20と、光ファイバー束40と、光ファイバー20から光ファイバー束40に光を分配する光分配部30と、光ファイバー束40によって導光された光を分離して検出する光分離検出器50を有している。光ファイバー束40は、複数の光ファイバー41A,41B,41C,41D,41E,41Fを有している。光ファイバー41A〜41Fは、それぞれ、物理化学状態に応じて光学特性が変化する特性検出部42A,42B,42C,42D,42E,42Fを有している。 (もっと読む)


【課題】非球面形状を有する被検面を高精度に計測するのに有利な非球面形状計測装置を提供する。
【解決手段】光源1から射出された光を非球面形状を有する被検面14に照射する照明光学系7と、前記被検面に照射する光の一部を遮光する遮光板6と、前記照明光学系及び前記遮光板を介して光が照射された前記被検面の一部の領域から反射される光束を計測するセンサ10を有する撮像系と、前記センサにより計測されたデータから前記被検面の形状を算出する算出手段と、を有し、前記遮光板は、光軸に対し前記被検面の一部の領域の反対側が遮光されるように構成され、前記被検面の一部の領域から反射される光束と光軸との交点を複数の計測光交点とした場合、前記複数の計測光交点のうち前記被検面に最も近い計測光交点16と前記被検面との間に配置される。 (もっと読む)


【課題】 複数の3次元形状計測法、表面計測手法を相補的に組み合わせることで、測定対象の形状によらず高い計測精度を確保した3次元形状検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、検査対象の参照モデルの形状データである参照データを格納する格納部と、前記参照データから第1の形状データを取得する領域を特定する領域特定部と、前記領域特定部で特定した領域について前記第1の形状データを取得する第1の3次元形状センサと、前記領域特定部で特定した領域以外の領域について前記検査対象の前記第1の形状データとは異なる第2の形状データを取得する第2の3次元形状センサと、前記第1の形状データと前記第2の形状データとを統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする3次元形状検査装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】帯状体の走行を継続させながら省スペースでメンテナンスを行うことができるエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】帯状体10の一方の面側に、直線偏光を投射する投光器2と偏光フィルタを介して光を受光する受光器4とを配置し、帯状体10の他方の面側に、投光器2から投射される直線偏光が入射され、入射された直線偏光の偏光方向を偏光フィルタの透過軸に一致する方向に変化させて反射する偏光反射板3を配置する。そして、受光器4の各受光素子で得られた受光量が帯状体10の幅方向でする位置を検出し、その位置を帯状体10のエッジ位置として検出する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構造で、数十ナノラジアン以下の微小角変位を測定可能な微小角変位測定方法と装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源12と、レーザ光源12からのレーザ光Lを収束又は発散させるレンズ18と、レーザ光Lを分岐させる偏光ビームスプリッタ20と1/4波長板22を有する。測定対象面24で反射したレーザ光Lが、臨界角直前の角度で臨界面26aに入射する臨界角プリズム26を備える。臨界角プリズム26の臨界面26aで反射したレーザ光Lが入射する一方の画像センサ30と、臨界角プリズム26の臨界面26aを透過したレーザ光Lが入射する他方の画像センサ32とを備える。各画像センサ30,32の各画素の出力を基に、測定対象面24の微小角変位を演算する微小角変位演算手段であるコンピュータ34を備える。臨界角プリズム26に入射するレーザ光Lを分割するビームスプリッタを設けても良い。 (もっと読む)


【課題】透明体、半透明体、多孔性材料の様な、両面からレーザー光を厚み測定のために発射した場合に、一部のレーザー光が反対側のレーザー変位計に達する可能性のある測定対象や、測定対象端部等で一部のレーザー光が反対側のレーザー変位計に達する可能性のある場合であっても、正確に、しかも高速に測定対象の厚みを測定することができる厚さ測定方法及び測定装置が求められていた。
【解決手段】測定対象の両面から挟み込む方向に配置されたレーザー変位計により厚み測定等を行う場合であって、両レーザー変位計の発射レーザー光が互いに干渉しないレーザー光であり、レーザー受光部が各々のレーザーのみを選択的に受光することを特徴とする厚さ測定方法及び測定装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板9上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット2と、ガラス基板9を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット2は、光照射部21および受光部23を有し、光照射部21により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部23のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部23を回転することにより受光部23の光軸J2とガラス基板9の法線Nとのなす検出角θ2が変更される。撮像ユニット2は、光軸J2に沿って受光部23を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ2の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸J2上においてラインセンサの受光面と共役な位置Pがガラス基板9の表面に配置される。これにより、受光部23のフォーカス調整が容易に行われる。 (もっと読む)


【課題】反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】投射系は、第1反射面7b,7cを有する投射側プリズム部材7を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第2反射面8b,8cを有する受光側プリズム部材8を備えている。第1反射面および第2反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。 (もっと読む)


【課題】コントラストの高いパターン画像の表示を低コストにて実現する。
【解決手段】パターン画像表示装置の画像取得部13は、光照射部131、ラインセンサ132、角度変更機構、および、表示対象であるガラス基板9を移動する移動機構を備える。光照射部131からは、ガラス基板9の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部131からの光の照射角θ1およびラインセンサ132により撮像が行われる検出角θ2は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン画像表示装置では、予め画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてコントラストの高い画像をラインセンサ132により取得し、ディスプレイに表示することができ、パターン画像表示装置の製造コストも削減することができる。 (もっと読む)


【課題】撮像領域内の各地点からの光に含まれる偏光成分間の大きさの違いを示す指標値に基づく画素値をもった偏光情報画像の高精度な解析処理を実現することを課題とする。
【解決手段】水平偏光成分P及び鉛直偏光成分Sの大きさの違いを示す差分偏光度(指標値)を算出し、算出した各指標値に基づく画素値をもった差分偏光度画像(偏光情報画像)を撮像するという撮像動作を連続して行うことで、露光量が互いに異なる例えば3種類の偏光情報画像を撮像する。そして、過去の撮像動作により撮像された3種類の偏光情報画像の中から、偏光成分間の大きさの違いが最大である特定の偏光情報画像を選定し、選定した特定の偏光情報画像に対応する露光量に基づいて後の撮像動作時の露光量を決定する。 (もっと読む)


【課題】偏光画像による車両位置検知方法及びシステムを提供する。
【解決手段】かかる方法は、偏光カメラにより路面の偏光画像を取得する段階と、取得された前記偏光画像中の路面及び路肩の違いに基づいて、前記偏光画像中の路肩を算出し、算出された路肩間の部分を路面部分と決定する段階と、前記偏光画像における車両の車輪の画素値と実際の路面の画素値との顕著な差に基づいて、決定された前記路面部分における少なくとも一つ以上の推定車両底部を識別する段階と、識別された前記推定車両底部の各々に対し、前記偏光画像における車両の輪郭の画素値と背景の画素値との差に基づいて、対応する推定車両底部による推定車両位置を取得する段階を含む。 (もっと読む)


【課題】対象物が太陽光で照らされた屋外のように、多様性や変化に富んだ環境下において、画像中の対象物を10画素以下の少ない画素から、誤認することなく検出することができるマーカ、マーカ検出方法および装置を提供する。
【解決手段】対象物1の表面に取り付けたマーカ10であって、乱反射材からなる内層12と、内層の外側に取り付けられた偏光フィルムからなる外層14とを有し、外光2を乱反射し、地表に対し水平、垂直、又は斜めの偏光3に変換して放射する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、取得したスペクトルから基板上に形成した膜の複数の測定点に対する光学定数を唯一の値として求めることができる光学特性測定装置および光学特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、光源10と、検出器40と、データ処理部50とを備えている。データ処理部50は、モデル化部と、解析部と、フィッティング部とを備えている。複数の膜モデル式を連立させ、複数の膜モデル式に含まれる光学定数が同一であるとして所定の演算を行ない、算出した膜の膜厚および光学定数を膜モデル式に代入して得られる波形と、検出器40で取得した波長分布特性の波形とのフィッティングを行なうことにより、複数の膜モデル式に含まれる光学定数が同一で、解析部で算出した膜の膜厚および光学定数が正しい値であることを判定する。 (もっと読む)


【課題】被加工物の厚みを正確に検出することができる非接触式の厚み検出装置および厚み検出装置を装備した研削機を提供する。
【解決手段】被加工物に対して透過性を有する所定の波長領域を有する発光体と、集光器とを備えた検出光照射手段と、検出光照射手段によって照射されチャックテーブルに保持された被加工物の上面および下面で反射した反射光を集光する集光レンズと、集光レンズによって集光された反射光の干渉を回折する回折格子と、回折格子によって回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーと、イメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、被加工物の上面で反射した反射光の光路長と被加工物の下面で反射した反射光の光路長との光路長差に基づいて被加工物の厚みを求める制御手段とを具備し、検出光照射手段は、P偏光を被加工物の上面に対して所定の入射角をもって照射する。 (もっと読む)


【課題】湾曲面からの反射光を適切にカットし又は湾曲面からの反射光を適切に選択して透過させることを課題とする。
【解決手段】湾曲したフロントガラス面に対する相対位置が一定となるように設置され、そのフロントガラス面からの反射光(水平偏光成分S)をカットする鉛直偏光領域を備えた偏光フィルタ層を介して、撮像領域からの光を画像センサ206上の各撮像画素で受光して撮像する撮像装置において、上記鉛直偏光領域は、透過軸方向が異なる複数のフィルタ領域部分から構成されており、各フィルタ領域部分の透過軸方向は、当該フィルタ領域部分へ入射してくるフロントガラス面上からの反射光の最大偏光成分の偏光方向に基づいて設定される。 (もっと読む)


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