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Fターム[2F065FF67]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 測定方法 (22,691) | 非光学的手段との組合せ (1,677) | 位置;移動量 (715)

Fターム[2F065FF67]に分類される特許

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【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置1〜4及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ6を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面7にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 (もっと読む)


【課題】複雑で時間のかかるキャリブレーションを必要とせずに、高精度の路面の縦断プロファイルを作成できる移動式の三次元レーザ計測システムを提供する。
【解決手段】本発明の計測システムでは、以下の3段階のステップで路面の縦断プロファイルを作成する。最初に、計測車2に搭載されたレーザスキャナ21を用いて、走行しながら道路の路面の平面位置と高さを計測して第1の三次元点群データG1を取得する。次に、第1の三次元点群データG1を、計測車2に搭載されたGPS受信機22および慣性計測装置23を用いて取得したデータに基づいて修正して、地理座標系で表示された第2の三次元点群データG2を作成する。最後に、第2の三次元点群データG2から計測車2のいずれかのタイヤの軌跡に対応する第3の三次元点群データG3を切り出し、この第3の三次元点群データG3に基づいて、路面の縦断プロファイルを作成する。 (もっと読む)


【課題】通常のカメラによっては鮮明な環境情報を取得することが困難な環境に無人走行体が投入された場合にも、無人走行体を正確、容易かつ高能率に遠隔操縦可能な遠隔操縦システムを提供する。
【解決手段】無線無人走行体5に、レーザ光走査式三次元測距装置106と、往路前方カメラ112と、メインカメラ113と、復路前方カメラ115と、俯瞰カメラ118とを搭載する。安全な場所に設置された表示装置に、レーザ光走査式三次元測距装置106により検出された三次元画像と、各カメラ112,113,118により撮影された映像を表示する。オペレータはこれらの三次元画像及びカメラ画像を参照しながら、無線無人走行体5の遠隔操縦を行う。 (もっと読む)


【課題】計測精度を向上する。
【解決手段】形状測定装置は、光源からの光に照らされている被検物を撮像する撮像素子と、撮像素子の受光面(A17)と共役な共役面(A0)を受光面と非平行になるように形成する結像光学系と、撮像素子による撮像の結果から光に照らされている部分の像の位置を検出することにより、被検物の形状に関する情報を取得する形状情報取得部と、を備える。結像光学系は、像を形成する光束が通る範囲において、受光面を含む面と共役面を含む面との交線に直交する直交面上の像面の略中心と物体面の略中心とを直線で結んだときの軸に関して断面形状が非対称であり、かつ交線から最も遠い部分と、交線から最も近い部分とについて、遠い部分から近い部分に向うにつれて直交面上の断面形状の寸法が縮小又は拡大するレンズ要素(52、53)を含むレンズ群(50)を有する。 (もっと読む)


【課題】夜間でも複数の目標対象物の捜索が可能な目標位置検出装置を提供する。
【解決手段】目標対象物位置特定手段(画像処理・座標演算装置21)により、画像記録部33に記録されている赤外画像iu、及びデータ記録部34に記録されているGPS/姿勢データfdが解析され、発熱物体が存在する位置が目標対象物の位置として特定される。この場合、画像処理・座標演算装置21により、赤外画像iu及びGPS/姿勢データfdに基づいて、各赤外画像iu上の発熱物体の座標位置を、赤外カメラ13の位置を基準とする方位ベクトル線に対応付けることにより、発熱物体に対して時系列の方位ベクトル線群が生成され、方位ベクトル線群を構成する各方位ベクトル線の共通部分が目標対象物の絶対座標(緯度、経度、及び高さ)として特定されて対象地点座標データedが出力される。 (もっと読む)


【課題】車両が走行しようとする路面を分析し、車両の安全性および制御を向上させる。
【解決手段】システム10は、シリコン網膜11のようなAERカメラを用いる。このシリコン網膜11を用いて、走行しようとする路面をモニタリングする。そして、処理ユニット12が、そのシリコン網膜によって提供された信号に基づいて、路面を分析する。路面分析方法は、上記のシステム10によって実行され、従来の分析方法を凌駕するものである。 (もっと読む)


【課題】3次元形状に対応するデータファイルのサイズを小さく、転送や取り扱いを容易とする。
【解決手段】レーザ光200の走査によって構成される面(走査面)と3次元形状をもつ対象物300との交線上に、各測定点は離散的に存在する。この3次元形状データ処理方法においては、データとして、3次元空間座標の点群データの代わりに、各走査面上における各測定点の平均位置Gの空間的位置、走査面における座標軸U、V軸の方向、各測定点Pn,i(1≦i≦k)についての、走査面での2次元座標(un,i、vn,i)を記録する。ただし、この2次元座標を記録する代わりに、後述する符号化された値を記録することもできる。 (もっと読む)


【課題】測定対象物の表面の平面度を精度良く求めることができる平面度測定方法を提供する。
【解決手段】平面度測定方法は、レーザ変位計を含むレーザ測定装置が、レーザ光を走査しながら、複数の位置における前記測定対象物の表面と測定基準面とする液面との間の、前記レーザ光の照射方向における距離の情報を測定して取り込む。この後、前記レーザ変位計が測定した複数の位置における前記距離の情報と、前記レーザ変位計が走査した前記複数の位置の位置情報をコンピュータが取り込む。前記コンピュータは、測定した前記位置それぞれにおける前記位置情報と前記距離の情報を座標として表した測定データを、座標空間上の点で表したとき、前記点すべてが2つの平行平面の間に挟まれ、かつ前記2つの平行平面の間の距離が最小となる目標平行平面を、前記2つの平行平面の傾きを変えながら探索することにより、前記平面度を算出する。 (もっと読む)


【課題】コンクリート壁等測定対象面の状態(凹凸量)を装置により自動的に、かつ精度良く測定できるようにする。
【解決手段】回転式レーザー測定装置は、レーザー光によって距離を測定する距離センサと、該距離センサを軸方向に駆動する第1の駆動手段と、同距離センサを軸周り方向に駆動する第2の駆動手段と、これら第1,第2の駆動手段を駆動制御する駆動制御手段とを備え、上記距離センサを測定対象面の長手方向と直交する面に沿って回転可能に支持するとともに、上記測定対象面の長手方向に沿って所定ピッチ毎に移動可能とし、該所定ピッチ毎に上記距離センサを移動させ、かつ所定の角度回転させながら、測定対象面の状態を自動的に測定して行くようにした。このような構成によると、自動的かつ容易に、しかも正確に凹凸その他の表面状態を測定して行くことができるようになる。 (もっと読む)


【課題】着用物の種別に関わらず身体との間の空隙量を正確に測定することのできる空隙量測定装置及び空隙量測定方法を提供すること。
【解決手段】空隙量測定装置1は、人体模型20を載置する台座部12及び測定対象物に対してレーザー光を投光することで当該測定対象物までの距離を測定するセンサ部11を備える距離測定装置10と、センサ部11のレーザー光を透過する部材で構成され、上部が開口するとともにその内部が空洞状に形成された人体模型20と、距離測定装置10が測定した距離から着用物と人体模型との間の空隙量を算出する演算装置30と、を備える。このとき、センサ部11は、人体模型20の内部から当該人体模型20に着用された着用物の着用面に対してレーザー光を投光することで着用面までの距離を測定し、演算装置30は、着用物の着用面までの距離から空隙量を算出する。 (もっと読む)


【課題】影の影響を除去し正確に位相シフト法による三次元データを高速に取得する。
【解決手段】直交する第一方向と第二方向とに撮像画素が行列状に並ぶエリアイメージセンサ111を有するカメラ101と、カメラ101と測定対象物200とを第一方向に相対的かつ連続的に移動させる移動手段102と、第一アングルで第一周期光を照射する第一照射手段131と、第二アングルで第二周期光を照射する第二照射手段132と、第一照射時間と第二照射時間とが重ならないように制御する照射制御手段104と、エリアイメージセンサ111の複数の第一ライン171を用い、第一照射手段131が照射する際の対象部分の像を取得し、複数の第二ライン172を用い、第二照射手段132が照射する際の像を取得する像取得手段105とを備える。 (もっと読む)


【課題】 遮光位置のずれを低減する技術の提供。
【解決手段】 原版を光で照明する照明系、前記原版のパターンの像を基板に投影する投影系を有する光学系を備える露光装置で、前記光学系の光路上の前記投影系の物体面と共役な面かその近傍に配置され、前記像が前記基板上に投影される領域の外縁の一部を円弧状に規定する円弧状部を有する遮光板と、前記光学系の光路に沿った回転軸まわりに前記遮光板を回転駆動する回転駆動部と、前記回転軸と交わる方向に前記遮光板をシフトするシフト駆動部と、前記回転駆動部により前記遮光板を回転駆動させ、前記光学系により前記像を前記基板に投影する際の基準となる基準軸と前記回転軸との相対位置の情報を取得する取得部と、前記基板の周辺部に対して前記像を投影する場合、取得した前記相対位置に関する情報に基づき、前記遮光板が所定の位置になるように前記回転駆動部と前記シフト駆動部を制御する制御部を有する。 (もっと読む)


【課題】測定対象物の形状を高精度で測定できる形状測定装置、形状測定方法、及び構造物の製造方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に所定の光量分布を有するパターン光を形成する照明部と、光が被測定物に照射される照射方向と異なる方向から被測定物に照射されたパターン光の像を撮像する撮像素子を含む撮像部と、像の撮像信号を評価する評価部と、評価部の評価結果に基づき撮像部の撮像結果に対して所定の処理を行うことで被測定物の位置情報を算出する処理部と、を備える形状測定装置に関する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、誤差の累積を抑制し、目標物になりそうなものがない単調な道路でも適切に真の現在位置を算出できる現在位置算出装置および現在位置算出方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明にかかる現在位置算出装置は、自車17の現在位置における2次元画像である観測画像が入力される観測画像入力部1と、所定の地点に関連して予め用意された2次元画像である参照画像を管理する、参照画像管理部9と、観測画像と、記憶されている現在位置である仮現在位置に対応する参照画像とを、画像マッチングにより照合する照合部としてのピクセルパターン照合部5と、ピクセルパターン照合部5における照合結果に基づいて、自車17の真の現在位置を算出する現在位置算出部6とを備える。 (もっと読む)


【課題】透明体であるワークの安定的な位置を検出することができるワーク位置検出システムを提供する。
【解決手段】透明体であるワークの端面が発光するように光を照射する少なくとも一つの投光部(21a〜21c)と、光によってワークの端面に生じた発光箇所を撮像する撮像部(22a、22b)と、撮像部による撮像結果に基づいてワークの位置を検出する検出部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】鏡面反射面の形状を測定する方法が提供される。
【解決手段】ターゲット面142に配置されたターゲット140の表面144に表示されたパターンを測定面122に配置された鏡面反射面124から反射させる。反射の画像が撮像面154において記録される。撮像面154に対する鏡面反射面124上の複数の点の位置が決定される。反射の画像上の複数のフィーチャ位置とパターン上の複数のフィーチャ位置との間の第1の関係が決定される。複数の点の位置を初期状態として用いて、鏡面反射面の表面プロファイル及び第1の関係を含む第2の関係から鏡面反射面の形状が決定される。 (もっと読む)


【課題】被計測物が様々な屈折率で、かつ様々な厚さの透明媒質の下に配置されていても、その被計測物の高さを容易に計測する。
【解決手段】高さ計測装置1は、照明光から分岐された第1照明光を被計測物6に導く対物レンズ24と、照明光から分岐された第2照明光を参照ミラー28に導く対物レンズ26と、第2照明光の光路長を調整する移動部36と、被計測物6及び参照ミラー28で反射される2つの照明光の干渉像を撮像する高速度カメラ12と、対物レンズ24と被計測物6とを光軸方向に相対移動するピエゾ駆動装置18と、を備える。 (もっと読む)


【課題】計測装置と計測対象物体との間の位置または/及び姿勢の関係があいまい性を含んだ場合であっても、高精度に物体の位置姿勢を計測できるようにする。
【解決手段】撮像時刻におけるロボットのモーション情報から、撮像装置と対象物体の位置姿勢移動量に変換して計測データとして位置姿勢更新に用いる。ロボットのモーション差分という確度の高い情報を計測データとして加えることにより、精度および安定性を向上させるようにする。また、撮像時刻の異なる距離画像と濃淡画像の幾何的関係を、ロボットアームの軌跡情報を用いて求めることで、両者の情報を同時に利用して位置姿勢推定を行うようにすることにより、全体のデータを同時に用いることを可能にする。 (もっと読む)


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