【課題】より広範囲かつ高速に対象を検出することが可能な対象検出装置および対象検出方法を提供する。
【解決手段】対象検出装置１０１は、検出対象の物性に応じて予め選択された複数の波長帯について、２次元画像を撮像するための撮像部１１と、２次元画像の各画素における物質を検出するための検出部１２とを備え、撮像部１１は、設定されたラインごとに２次元画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】特異な輝度を持つ画素に影響されない重心位置算出を行い、変位測定の精度を向上する変位測定方法および変位測定装置を得る。
【解決手段】計測対象１にスリット光３を照射するスリット光照射装置２と、スリット光３を計測対象１に照射することによって生成される光切断線４を撮影するカメラ５と、カメラ５により得られた光切断線像から計測対象１の変位を求める画像処理装置７と、を備え、画像処理装置７は、カメラ５により得られた光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から光切断線像の重心位置を算出して計測対象１の変位を求める。 （もっと読む）

【課題】基板表面の高さレベルを決定する際のより多くの融通性及び／又は効率的レベルセンサ技術を提供する。
【解決手段】基板Ｗ表面の高さレベルを決定するように構成されたレベルセンサであって、基板Ｗ上の反射後に測定ビームを受光するように配置された検出ユニットを備え、検出ユニットは、各検出素子が測定エリア８１、８２、８３、８４の測定サブエリア８ａ上に反射した測定ビームの一部を受光するように配置された検出素子のアレイを備え、それぞれの検出素子によって受光された測定ビームの部分に基づいて測定信号を提供するように構成され、処理ユニットは、測定サブエリア８ａでの選択された解像度に応じて、測定サブエリア８ａの高さレベルを計算し、又は複数の測定サブエリア８ａの組合せの高さレベルを計算するように構成された、レベルセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】マシンビジョンシステムのパートプログラム編集環境内で編集初期化ブロックを利用するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】パートプログラムの編集初期化ブロックを定義及び利用する方法が提供される。パートプログラムは、一部を測定するための複数のステップを備え、編集インタフェースに表示される。編集インタフェースに、編集初期化ブロックに含めるステップを選択する選択肢が提供される。パートプログラムが保存された後に、編集のためにパートプログラムが呼び出されると、追加のステップがパートプログラムに追加される前に編集初期化ブロックが実行され得る。編集初期化ブロックにない初期パートプログラムステップによって取得されたデータの少なくともいくつかは、編集初期化ブロックを実行して決定されたデータに関連する推定データに基づいてもよい（例えば、基づいて変更されてもよい）。 （もっと読む）

【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源１０と、光源１０からの光を２つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Ｔに照射し、他方の光束を参照ミラー４０に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ２０と、スプリッタ２０によって合波された光により得られる画像を撮像するＣＣＤ５０と、２つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するＤＭＤと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Ｔや参照ミラー４０への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】撮像素子の受光面とその前方に配置されたカバーガラス等の透明体の前面及び背面のうちのいずれかの表面に存在する異物の位置、大きさ、形状を特定することができる撮像素子の異物検出方法及びその装置を提供する
【解決手段】本発明に係る異物検出装置は、撮像素子パッケージ２を装着部５０に装着し、光源部６０から照明光を照射して、撮像素子１０の受光面の像を撮像する。光源部６０から受光面１０Ａに照射する照明光は、例えば、平行光と、点光源からの拡散光とで切り替えられ、各々の照明光により照明している状態で撮像した撮影画像を制御・検査部８０に取り込み、それらの画像を比較することによって、異物の３次元的な位置、大きさ、形状を特定する。 （もっと読む）

【課題】計測精度を向上させることができる画像処理装置、画像処理方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】モニタ２２は、計測対象物の画像と、計測対象物に対応する物体であって予め算出された３次元形状を有する物体の画像とを表示する。ＣＰＵ３４ｃは、計測対象物を撮像したカメラの姿勢と、物体を撮像した仮想的なカメラの姿勢とが近づくように、計測対象物の画像と物体の画像との少なくとも一方の姿勢を調整する。また、ＣＰＵ３４ｃは、これら２種類のカメラの光学系または撮像素子の特性が互いに近づくように、計測対象物の画像と物体の画像との少なくとも一方の姿勢を調整する。ＣＰＵ３４ｃは、これらの調整を行った後、リモコン２３を介して入力される指示に基づいて指定された計測位置に対応する物体上の空間座標を算出し、算出した空間座標に基づいて、物体のサイズを算出する。 （もっと読む）

【課題】毛髪表面の断面形状（表面輪郭形状）、毛髪表面の段差を高精度に測定できる形状測定装置の実現。
【解決手段】測定すべき毛髪に向けて走査ビームを投射する対物レンズ１３を含み、毛髪からの反射光を受光して毛髪表面の共焦点画像を撮像する共焦撮像装置と、複数の毛髪を、その長手軸線方向であるＸ軸方向に支持すると共にＸ軸と直交するＹ軸方向そって所定の間隔で整列支持する毛髪支持手段１５と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能で、前記毛髪支持手段を支持するステージ１４とその駆動手段と、対物レンズとステージとの間の相対距離を変化させる手段１６と、共焦点撮像装置から出力される画像信号に基づき、毛髪表面の断面画像情報及び／又は毛髪表面に存在する段差の大きさを示す段差情報を出力する信号処理装置１０とを有する。ステージは、測定される毛髪の本数及び測定点の座標情報に基づき、ジグザグ状に設定された移動経路に沿って移動する。 （もっと読む）

【課題】画像の領域の大きさを使用者の操作精度によらず容易かつ均一に得ることが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】画像データに基づく初期画像ＩＭにおいて抽出される領域Ａ４が表示部２６０の画像表示領域２６１に表示される。表示された領域Ａ４に外接する外接矩形Ｐが作成される。作成された外接矩形Ｐが表示部２６０の画像表示領域２６１に表示されるとともに、作成された外接矩形Ｐの予め定められた部分の寸法または面積を示す特徴量が算出される。使用者は、入力装置を用いて表示部２６０の画像表示領域２６１に表示された外接図形Ｐを回転させることができる。 （もっと読む）

【課題】 複数の３次元形状計測法、表面計測手法を相補的に組み合わせることで、測定対象の形状によらず高い計測精度を確保した３次元形状検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、検査対象の参照モデルの形状データである参照データを格納する格納部と、前記参照データから第１の形状データを取得する領域を特定する領域特定部と、前記領域特定部で特定した領域について前記第１の形状データを取得する第１の３次元形状センサと、前記領域特定部で特定した領域以外の領域について前記検査対象の前記第１の形状データとは異なる第２の形状データを取得する第２の３次元形状センサと、前記第１の形状データと前記第２の形状データとを統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする３次元形状検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】画像処理の負担を軽減し、容易かつ正確に切断面を区別することのできる、新規の切断面の検出方法を提供する。
【解決手段】第１の偏光フィルタ２の偏光方向２ａを所定の方向に向けて第１の偏光フィルタ２の偏光方向２ａと第２の偏光フィルタ４の偏光方向４ａを直交させ、照明光１を第１の偏光フィルタ２を透過させ試料３の切断面３ｂ，３ｃで反射させてから第２の偏光フィルタ４を透過させデジタルカメラ５により撮影して第１の画像を取得し、第１の偏光フィルタ２の偏光方向２ａを所定の方向から４５度傾かせて第２の画像を取得し、第１の偏光フィルタ２の偏光方向２ａと第２の偏光フィルタ４の偏光方向４ａを平行にして第３の画像を取得し、第１、第２、第３の画像を加算する。 （もっと読む）

【課題】対移動する摩耗側部品と対向側部品を配線等で接続することなく、対向側部品に設置された制御装置により摩耗側部品の摩耗状態を適切に検知する。
【解決手段】本発明の摩耗検知装置は、摩耗側部品２に設けられ、摩耗側部品２の摺動面２１に沿って配置された先端部４１に摩耗検知用ライン４３が設けられた摩耗ゲージ４と、摩耗側部品２に設けられ、摩耗検知用ライン４３に接続される摩耗側発光素子６と、対向側部品３において、摩耗側部品２の摺動中に摩耗側発光素子６と対向可能な位置に設けられた受光素子８と、対向側部品３に設けられ、受光素子８による受光状態に基づいて摩耗ゲージ４の摩耗状態を検知する制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】所望の計測部分の幾何的な物理量を選択的にかつ容易に取得することが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】対象物画像データに基づいて対象物画像ＯＩが表示されるとともに、指定画像データに基づいて対象物画像の特定部分に対応する計測部分指定画像ＡＩが表示される。使用者による操作部の操作により、表示される計測部分指定画像ＡＩが対象物画像ＯＩに相対的に移動される。計測部分指定画像ＡＩが対象物画像ＯＩの特定部分に移動された場合、その特定部分に対応するように予め設定された計測対象物の計測部分の物理量が計測される。 （もっと読む）

【課題】屈折率が未知の誘電体薄膜の膜厚を正確に測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置は、第１の反射干渉光および第２の反射干渉光のそれぞれについて第１の波長分布および第２の波長分布を生成する波長分布生成部７２と、第１の波長分布および第２の波長分布にもとづいて、それぞれ第１の入射角に対応する第１の光路差および第２の入射角に対応する第２の光路差を求める光路差算出部７３と、入射角、膜厚および屈折率を変数とした関数として光路差を表した式を用いて、第１の入射角および第２の入射角ならびに光路差算出部７３に算出された第１の光路差および第２の光路差を式に代入することにより、薄膜の膜厚および屈折率を求める膜厚屈折率算出部７４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】画像から所望の領域を容易に抽出可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】画像データに基づく初期画像ＩＭが表示部２６０に表示される。使用者が初期画像ＩＭにおいて抽出すべき領域を含む抽出範囲を指定することにより、抽出範囲内で設定された抽出条件に基づいて一または複数の領域が抽出される。抽出された一または複数の領域から、領域に関する特徴情報に基づいて特徴領域が選択される。選択された特徴領域が抽出領域として決定される。使用者が初期画像ＩＭにおいて抽出すべき他の領域を含む抽出範囲を指定することにより、抽出範囲内で設定された抽出条件に基づいて一または複数の領域が抽出される。抽出された一または複数の領域から、領域に関する特徴情報に基づいて特徴領域が選択される。選択された特徴領域は、既に決定された抽出領域に加えられる。 （もっと読む）