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Fターム[2F065GG13]の内容

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Fターム[2F065GG13]に分類される特許

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【課題】 被検面が傾いていても測定精度を悪化させることのない多波長干渉計を提供する。
【解決手段】 波長が互いに異なる少なくとも2つの光束を参照光と被検光とに分割し、分割された参照光の周波数と被検光の周波数とを異ならせ、被検光と参照光とを干渉させる干渉計において、干渉光を複数の光束に分割する分割部を有し、分割された複数の光束を各波長について検出する。 (もっと読む)


【課題】ピストンの傾斜のみならず偏心も監視することにある。
【解決手段】内部にガスを収容するために上下方向へ延在する筒状のホルダー本体と、そのホルダー本体内に昇降可能に配置された落し蓋状のピストンと、そのピストンの周縁部とホルダー本体の内周面との間の隙間を気密にシールするシール機構とを具える乾式ガスホルダーの、前記ピストンの監視方法において、前記ピストンの中心から等距離なそのピストン上の少なくとも3箇所の位置にそれぞれピストンの上面から所定高さ突出した所定の大きさの偏心量測定テーブルを設け、前記ホルダー本体の上端部に、前記偏心量測定テーブルまでの高さ方向距離を非接触で計測する距離計を設け、前記距離計で計測した当該距離計から前記少なくとも3箇所の偏心量測定テーブルまでの高さ方向距離に変化が生じた場合に、その変化が急激な場合は前記ピストンに偏心が生じたと判断し、その変化が穏やかな場合は前記ピストンに傾斜が生じたと判断することを特徴とするものである。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で参照面と被検面との間の絶対距離を高精度かつ高速に計測可能な計測装置を提供すること
【解決手段】波長走査干渉計は、複数の光源IL1〜IL3と、複数の光束を合成するビームスプリッタ103bと、ビームスプリッタ103bからの光を参照光束と被検光束に分割し、干渉計ユニット300によって検出された干渉信号に基づいて参照面と被検面との間の絶対距離を決定する処理部107と、を有する。干渉計ユニットは、複数の種類の光束に対応する複数の種類の干渉縞のそれぞれを、合成された干渉信号S100として検出する単一の光検出部106を有し、処理部は、合成された干渉信号に対してFFTを行って複数の種類の光束のそれぞれについて絶対距離L〜Lを取得し、取得した複数の絶対距離を演算して一つの絶対距離Lを出力する。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板の表面不良の判定時間を減らし、NGの可能性の高い表面不良のみを検査員に提供して検査の集中度を極大化させる。
【解決手段】表面不良検査装置は、ガラス基板1の上方にそれぞれ配置され、ガラス基板表面不良に対する第1イメージおよび第2イメージをそれぞれ撮影する撮像装置10および20と、ガラス基板1の下方に配置され、撮像装置10、20側にガラス基板1を透過する暗視野照明装置30と、第1イメージ上の不良の位置座標と、第2イメージ上の不良の位置座標とを演算する検出信号処理部40とを備えている。ガラス基板上面に対する撮像装置10、20の撮影領域P1は互いに重ね合わされ、ガラス基板下面に対する撮像装置10、20の撮影領域P2、P3は、互いに異なるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】搬送中の長尺材の長さを精度よく測定することができる長さ測定装置を提供する。
【解決手段】長さ検出装置1は、搬送ライン2の搬送方向上流側に設けられた通過検出部3と、搬送方向下流側に設けられた位置検出部4と、長尺材の長さを算出する算出部5と、演算部5等を制御する制御部6を備えている。通過検出部3は、搬送ライン2に向けて投光する複数の通過投光部31と、搬送ライン2を挟んで通過投光部31と対向して設けられた複数の通過受光部32とをセットで具備している。位置検出部4は、搬送方向にほぼ直交する光を搬送ライン2に向けて投光し、該光を該搬送方向に平行走査する投光部41と、該投光部41と搬送ライン2を挟んで対向し、該投光部41からの光を受光する受光部42とを具備している。 (もっと読む)


【課題】利用者による特別な動作が無くても利用者の位置を確認することが可能な位置確認システムを提供する。
【解決手段】位置確認システム1Aにおいて、発光装置20は、当該発光装置に固有の信号が含まれるように変調された光を発光し、受光装置30Aは、反射装置で反射した光を受光したときに、受光した光に含まれる信号を制御装置40へ出力し、制御装置40は、発光装置20に固有の信号と当該発光装置20の設置場所とが関連付けて記憶された記憶部41と、受光装置30Aから出力された信号を用いて記憶部41を参照することによって、信号に関連付けられた設置場所を記憶部41から読み出す位置確認部42と、を備える。 (もっと読む)


【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも1つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも1つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。 (もっと読む)


【課題】多方向の動き検出機能を有する近接センサーを提供する。
【解決手段】近接センサーは、ASIC(特定用途向け集積回路)チップ104、特定のシーケンスで光を放射するように構成された少なくとも3つの光源102、及び、光を受光して出力信号を生成するように構成された光検出器106を備える。多方向近接センサーは、少なくとも1つの側面を有する第1の近接センサーと100、第1の近接センサーの該少なくとも1つの側面にほぼ平行な面の上における物体の動きを検出するように構成された第2の近接センサーを備え、この場合、該第2の近接センサーは第1の近接センサー100に接続される。多方向動き検出近接センサーはPCBを有し、その場合、2以上の近接センサーを、PCBに配置して、多方向における動きを検出できるように一体化する。 (もっと読む)


【課題】広い範囲にわたって対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置10の検出対象空間10Rは、受発光ユニット15Aおよび受発光ユニット15Bによる検出対象空間10Rabと、受発光ユニット15Cおよび受発光ユニット15Dによる検出対象空間10Rcdとに分割されている。受発光ユニット15B、15CはZ軸方向で重なっており、受発光ユニット15Bの受光素子13Bと受発光ユニット15Cの受光素子13Cは、受光面を異なる方向に向けてZ軸方向で重なるように配置されている。 (もっと読む)


【課題】照度の低い環境において、コントラストが低い移動面上を移動する移動体の位置及び姿勢、並びにその移動面の形状を検出する。
【解決手段】移動体及び移動面検出システム1は、移動体3と、移動体3上に配置された発光部4と、移動体3を俯瞰する位置に設けられたステレオカメラ5及び測距センサ6と、ステレオカメラ5及び測距センサ6の出力を処理する処理部7と、処理部7の出力を表示する表示部8とを備える。ステレオカメラ5は、発光部4のステレオ画像を撮像する。測距センサ6は、移動面に光を出射し、移動面で反射されて戻ってくる光の飛行時間に基づいて移動面を測距する。処理部7は、ステレオカメラ5が撮像したステレオ画像に基づいて移動体3の位置及び姿勢を検出するとともに、測距センサ6の出力に基づいて移動面の形状を検出し、移動体3の位置及び姿勢と、移動面の形状とを表示部8に表示する。 (もっと読む)


【課題】検出空間を拡張した場合でも、装置を大型化せずに対象物体の位置を精度よく検出することができる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置10では、光源部12から検出光を出射した際、受光部13は対象物体Obからの反射光を第1受光素子131および第2受光素子132で受光する。第1受光素子131および第2受光素子132は、第1受光素子131の受光面131aに対する法線方向と第2受光素子132の受光面132aに対する法線方向との交差角度θcが90°を超え、180°未満となる値、好ましくは、120°を超え、140°未満となる値に設定されている。 (もっと読む)


【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ6により砥石3の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部123により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部124の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石3の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石3の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 (もっと読む)


【課題】光軸方向に交差する方向に配列した複数の発光素子から光軸方向と配列方向とによって規定される仮想面に沿って光を出射した場合でも、発光素子の配列方向で光強度が急激に変化しない光源装置、光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置10に用いた光源部12(光源装置)では、複数の発光素子120を発光素子120の光軸に交差する方向に配列したため、光軸方向と配列方向とによって規定されるXY面(仮想面)に沿う広い範囲にわたって検出光L2を十分な強度をもって出射することができる。複数の発光素子120の光軸方向の出射側には、レンズフィルム190(シート状光学部材)が配置されており、かかるレンズフィルム190は、XY面内方向における発光素子120からの出射光L1の発散角を拡大させるパワーを備え、Z軸方向には光を拡散させるパワーを有していない。 (もっと読む)


【課題】ボトル缶のねじ部を正確かつ短時間で検査する。
【解決手段】ライナー付キャップを被嵌するために開口端を外方へ向かってカールさせたカール部1とカール部1の下方でキャップをねじ嵌合するねじ部2とからなる口金部3を有するボトル缶4を缶軸Xまわりに回転させながら、口金部3の一部を含むように設定された撮像エリアを撮像して口金部3におけるねじ部2の形状を検査する装置であって、ボトル缶4を保持して缶軸まわりに回転させる回転手段21と、撮像エリア内のボトル缶4のねじ部2に半径方向外方かつ缶軸方向下方から斜め上向きに照明光Aを照射するねじ部照明手段22と、撮像エリアにおける照明光Aの反射光A´を含む検査画像を連続的に取得する撮像手段24と、反射光A´の撮像結果に基づきねじ部2のねじ始まり部を検出し、ねじ始まり部を含むねじ部2の検査を行うねじ部検査手段25とを備える。 (もっと読む)


【課題】レールの凹凸をレール長手方向に連続測定するレール凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】測定レール(R1)上を走行可能な測定車両(10)と、測定車両(10)の進行距離を測定する距離センサ(31)と、測定車両(10)に取り付けられると共に測定レールの長手方向に不均等な間隔で順に直列に配置された第1、第2および第3の変位センサ(21、22、23)からなる変位センサ群(20)を有し、第1、第2および第3の変位センサ(21、22、23)のうち少なくとも1つの変位センサは位置について変更可能である。 (もっと読む)


【課題】同じ測定箇所で位相差値と厚みデータとを測定することで、複屈折や厚み方向位相差値Rthをより精度よく得ることができる光学測定装置を提供する。
【解決手段】光学測定装置Mは、光学フィルムSに光L1を入射する投光器30と、投光器30から光学フィルムSに入射された入射光L1を受光する受光器34と、受光器34によって受光された透過光L1から光学フィルムSの面内位相差値R0を算出する位相差R0算出部11と、位相差R0算出部11で面内位相差値R0を算出するのに用いた入射光L1と同じ入射光L1を用いて光学フィルムSの厚みデータdを算出する厚み算出部12とを備えている。受光器34は、2つのファイバ部8a,8bに分岐される光ファイバ8を含んでおり、一方のファイバ部8aが位相差R0算出部11に接続され、他方のファイバ部8bが厚み算出部12に接続されている。 (もっと読む)


【課題】移動する被検体までの絶対距離を高精度に計測する。
【解決手段】第1光源からの第1光束によって形成される被検体の位置情報を含む第1干渉信号と、第2光源からの第2光束によって形成される前記被検体の位置情報を含む第2干渉信号と、前記第1光束の波長を走査しながらの前記第1干渉信号と前記第2光束の波長を走査しながらの前記第2干渉信号とに基づいて前記被検体までの絶対距離を算出する処理部とを備え、前記処理部は第1時刻から第2時刻までの時間間隔における前記第1干渉信号の位相と前記第2干渉信号の位相との差分の変化量によって得られる前記被検体の速度によって、前記第1干渉信号および前記第2干渉信号の少なくとも一方に基づいて算出される誤差を有する絶対距離を補正し、誤差が補正された絶対距離を算出する。前記第1時刻および前記第2時刻は前記第1光束の波長と前記第2光束の波長との差分が互いに等しい時刻である。 (もっと読む)


【課題】距離検出器の設定位置に変位があっても、短時間で、測定誤差の補正が可能な厚さ測定装置、及び厚さ測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基準厚さを有する第1の厚さ部と第2の厚さ部を備える校正板3と、検出部1を移動させる移動機構部2と、検出部を予め定める一定長さの「校正位置」、及び予め定められる「測定位置」に、移動を指令する位置設定部4と、を備え、位置設定部は、「校正」指令を移動機構部に送り、検出部を「測定位置」から「校正位置」に移動させ、予め設定された第1の厚さ部と第2の厚さ部との校正位置信号を厚さ演算部5に送り、厚さ演算部は、第1の厚さ部及び第2の厚さ部の厚さを求め、夫々の基準厚さとの差を求めて、「測定位置」で求めた厚さを補正し、厚さ校正板を固定し、検出部を移動させて、予め設定された第1及び第2の距離検出器の設定位置の変位による測定誤差を補正するようにしたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】受光素子が指向性を有している場合でも、検出範囲を広く設定することのできる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置において、受光部13は、受光素子130と、受光素子130に対する反射光L3の入射角度範囲を狭める入射角変換部14とを備え、入射角変換部14は、入射部148、第1反射面141、第2反射面142、および第3反射面143を備えた入射角変換用導光路140を有している。このため、対象物体Obで反射した検出光L2(反射光L3)は、入射部148から入射した後、第1反射面141と第2反射面142との間で反射を繰り返しながらXY平面に沿って第1反射面141と第2反射面142との間で進行し、その後、第3反射面143でZ軸方向に反射して、受光素子130の受光面131に入射する。このため、受光面131に対する入射角度が狭い。 (もっと読む)


【課題】広い範囲にわたって対象物体の三次元的な位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、光学式位置検出システム、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置10において、第1光源モジュール126および第2光源モジュール127によって、検出光L2の放射角度範囲において強度が変化する光強度分布を形成した際の受光部13の受光強度に基づいて対象物体ObのXY座標を検出する。第1光源モジュール126および第2光源モジュール127は、Z軸方向で離間しており、検出光L2の放射角度範囲において強度が一定の光強度分布を形成した際の受光部13の受光強度に基づいてZ軸方向における対象物体Obの位置を検出する。 (もっと読む)


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