【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、ＬＥＤの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 （もっと読む）

【課題】 表示面における遮光物の座標位置を取得するまでの処理時間が短く、かつ表示面に接触した遮光物が検出光を遮光したことを適切に判断することができないことで発生する誤検出を防止することができる座標検出装置を提供する。
【解決手段】 座標検出装置１０は、矩形状の表示面５を有する表示部５ａと、複数の発光素子６ａと、複数の受光素子６ｂと、座標位置検出部とを備える。表示面５は、第１側辺１ａと、第２側辺２ａと、第３側辺３ａと、第４側辺４ａとによって形成される。第１側辺１ａと第２側辺２ａとが接続された第１接続部１ｂ、および第３側辺３ａと第４側辺４ａとが接続された第３接続部３ｂのそれぞれ近傍において発光素子６ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】より小型または簡単な構成で、より精度よく、半導体ウェハの表面に存在するソーマークの検出又は大きさの測定を行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハＷの表面に対して斜め方向から、入射面において平行光である光を照射し、ラインセンサカメラ３、４で半導体ウェハＷの表面におけるライン状の領域３ａを撮影する。このことで、半導体ウェハＷの表面からの照射光の反射光または散乱光を検出し、この強度に基づいて、半導体ウェハＷの表面における線状の凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。光源装置１、２によって、ラインセンサカメラ３、４によって撮影されるライン状の領域３ａのラインに平行な方向から光を照射し、線状の凹凸の方向がラインの方向に直交するように配置された状態で、半導体ウェハＷの線状の凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】コントラストの高いパターン画像の表示を低コストにて実現する。
【解決手段】パターン画像表示装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、表示対象であるガラス基板９を移動する移動機構を備える。光照射部１３１からは、ガラス基板９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン画像表示装置では、予め画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてコントラストの高い画像をラインセンサ１３２により取得し、ディスプレイに表示することができ、パターン画像表示装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】物体の形状計測を非接触且つ高精度で行い得る形状計測装置及び形状計測方法を提供する。
【解決手段】 本発明の形状計測装置１は、少なくとも５つの光源を等間隔に直線状に配列した光源アレイ１１、１次元格子の格子面を有する格子プレート１２、１次元格子が投影される計測対象物体２１を撮影するカメラ１３及び制御ユニット５０を備える。制御ユニット５０は、少なくとも５つの光源のうち隣接配置の少なくとも４つの光源からなる光源組を２組設定し、この２組の光源組における各光源を順次点灯するよう光源アレイ１１を制御するとともに、それぞれ計測対象物体２１に投影される１次元格子を撮影するようカメラ１３を制御し、撮影された画像から２組の光源組による計測対象物体２１上に投影された１次元格子の位相をそれぞれ算出し、当該２つの位相の差を位相シフト量として予め定めた換算式に基づいて計測対象物体２１に関する高さ座標を求める。 （もっと読む）

【課題】安定した３次元認識画像を形成して正しい部品認識結果を得ることができる画像形成装置および画像形成方法ならびに部品実装装置を提供する。
【解決手段】計測対象面への入射方向を挟んで対称に配置され受光面の計測対象面に対する傾斜角度が各対毎に相異なる２対の位置検出素子群２５Ａ，２５Ｂを有し、走査光の計測対象面からの反射光の受光位置を検出する位置検出部２５と、各位置検出素子が受光する光量が所定の範囲内にあるか否かを判定する受光量判定部３４と、同一の位置検出素子群に属する位置検出素子による反射光の受光位置検出結果の差異の大きさが所定の基準値以下であるか否かを判定する受光位置検出結果判定部３５とを備え、位置検出部２５の受光位置検出結果に基づき受光量判定部３４および受光位置検出結果判定部３５の判定結果を加味して計測対象面の３次元認識画像を形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】トロリ線以外の構造物の影響を無くしトロリ線の摩耗量や偏位量を正確に測定する。
【解決手段】架線検測車屋根上にトロリ線へ投光する光を照射する投光ユニットを設け、トロリ線より反射した光を受光する受光ユニットを設ける。受光ユニットより受光した信号を二値化回路によってある閾値で二値化し、エッジ検出回路でパルス波形の立ち下がりから次の立ち上がりまでの距離に基づいて、剛体やイヤーなどのノイズ信号とトロリ線の信号を判別し、トロリ線摺面の検出信号を得る。エッジ検出回路から得られた検出信号は、演算装置によって前回の偏位データと今回の偏位データが比較され、前回のものと最も近い信号をトロリ線データとして検出し、トロリ線摩耗量（残存直径）に変換される。これによって、ノイズによる誤検出を低減させ、トロリ線の外形を正確に求める。 （もっと読む）

【課題】トロリ線以外の構造物の影響を無くしトロリ線の偏位量を正確に測定する。
【解決手段】トロリ線測定装置は、トロリ線に向けて光を投光し、その反射光を受光することによってトロリ線の外形を測定する。このトロリ線の外形を測定する際に、剛体電車線区間では剛体部やイヤー部からのノイズが多く正確に測定することが困難である。そこで、このトロリ線測定装置は、剛体電車線区間でトロリ線及びその近傍の電車線設備（剛体部及びイヤー部）の画像を撮影し、撮影された画像に基づいて電車線設備の偏位を測定し、その測定結果をトロリ線の外形の測定に反映させるようにした。 （もっと読む）

【課題】計測対象物体の形状を高速かつ高精度に計測する装置を提供する。
【解決手段】計測対象物体２１の形状を計測する装置であって、光源用基板３２と、該光源用基板３２上に配置された複数の格子投影用ＬＥＤ３３とを有する格子投影用光源３１と、１次元格子が描かれた格子面を含む、光源用基板３２に平行に配置された格子プレート３４とを有する格子投影部３０と、１次元格子が投影された計測対象物体２１を撮影する撮影部１１と、撮影された画像に対して位相解析処理を施して、計測対象物体２１の形状を求める解析制御装置１２とを備え、複数の格子投影用ＬＥＤ３２の各々の光軸が、光源用基板３２の法線に対して、計測対象物体２１側に傾斜していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査に適切な明るさやコントラストの画像を取得し、膜厚むら検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された基板を一方向に移動させながら、基板に形成された皮膜の膜厚むらを検査する装置及び方法であって、皮膜の厚みを検出する膜厚検出部を備え、光源部は、撮像部側に配置された反射照明部３ａと、基板を挟んで撮像部に対向する位置に配置された透過照明部３ｂを備え、撮像部４は基板との相対角度を調節する撮像部角度調整手段を備え、反射照明部は反射照明部と基板との相対角度を調節する反射照明角度調整手段を備え、透過照明部は透過照明部と基板との相対角度を調節する透過照明角度調整手段を備え、膜厚検出部からの膜厚情報に基づき、反射照明角度調節手段及び透過照明角度調整手段を制御し、反射照明の光量及び透過照明の光量を調節する制御部を備えたことを特徴とする膜厚むら検査装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】。
【解決手段】照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印の深さに応じて、確実に照射光によって前記刻印の端部により影ができるような傾斜した照射光となるように照射して、印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、チップ部品Ａの向きを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置に応じて効率良く位置検出ができる光学式位置検出装置、電子機器及び表示装置等を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に沿って設定される検出エリアＲＤＥＴに照射光ＬＴを射出する光射出部３と、検出エリアＲＤＥＴにおいて照射光ＬＴが対象物ＯＢに反射したことによる反射光ＬＲを受光する受光部４と、受光部４の受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部５０とを含む。光射出部３は、Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸での対象物ＯＢのＺ座標位置に応じて、受光部４が検出する位置情報の検出精度を異ならせるように照射光ＬＴを射出する。 （もっと読む）

【課題】先行する無札者に続く後続の利用者の磁気媒体の投入及び無線媒体の受付を確実に禁止できるようにする。
【解決手段】通路内に第１の無札予備判定ポイントとこの第１の無札予備判定ポイントの通行方向上流側に第２の無札予備判定ポイントを設定し、先行する利用者が無線媒体を翳していないと判別されて前記通路内の第１の無札予備判定ポイントに到達したことが検出されるのに基づいて後続の利用者の無線媒体の受付を禁止し、先行する利用者が磁気媒体を投入していないと判別されて前記通路内の第２の無札予備判定ポイントに到達したことが検出されるのに基づいて後続の利用者の磁気媒体の投入を禁止するように制御する制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 シャフトの変形を測定するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】 デバイスによってシャフト２の変形を測定するための方法が、変形が加えられる前に、シャフト２に付加されたパターン３を照明するステップと、パターン３によって反射された放射線を検出することによって第１基準位置を検出するステップとから成り、変形が加えられた後に、パターン３を照明するステップと、パターン３によって反射された放射線を検出することによって第２基準位置を検出するステップとから成る。これにより、第１基準位置と第２基準位置との間の距離に基づいて、シャフトの円周方向の変形及び／又はトルクが求められる。 （もっと読む）

【課題】タイヤが走行しているときの接地形状及び接地面近傍を含むタイヤの表面形状を精度よく計測する。
【解決手段】タイヤＴを路面１１の走行路１１ａを構成する透明な強化ガラス板Ｇ上に接地させるとともに、強化ガラス板Ｇの表面に設けられた路面プールに白色の液体Ｌを投入し、移動機構１６３のボールねじ１６３ａを回転させて路面１１を保持するガイド部材１６２をガイドレール１６１に沿って前後方向に移動させながら、強化ガラス板ＧのタイヤＴが接地する側とは反対側に設けられたＣＣＤカメラ１４により液体Ｌ中を走行するタイヤＴの形状を撮影し、この撮影された画像からタイヤＴの形状を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】照明光を機械的に走査せずに測定対象物の表面形状を精度良く求める。
【解決手段】点灯制御部３１は、光源ＬＥを順次に１個ずつ点灯させる。撮像制御部３２は、各光源ＬＥが点灯される毎に、測定対象物の画像データを撮像部２０に取得させる。画像データ特定部３３は、画像データを構成する各画素について、輝度値が最大となる画像データを、撮像部２０により取得された全画像データ中から特定する。傾き算出部３４は、画像データ特定部３３により特定された各画像データにつき、各画像データを取得する際に点灯された光源ＬＥの位置を特定し、特定した各光源ＬＥの位置を基に、各画素に対応する測定対象物の各測定位置の傾きを算出する。表面形状算出部３５は、傾き算出部３４により算出された各測定位置ＡＰの傾きを基に、各測定位置ＡＰの高さを算出し、測定対象物ＯＢの表面形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】計測対象物体の形状を高速かつ高精度に計測する方法を提供する。
【解決手段】４つ以上の光源からなる格子投影用光源１１と、１次元格子が描かれた格子面１２ａを含む、格子投影用光源１１に平行に配置された格子プレート１２とを備える形状計測装置１を用いて計測対象物体２１の形状を計測する方法であって、４つ以上の光源を順次点灯させて計測対象物体２１に投影される１次元格子の位相をシフトさせながら計測対象物体２１を撮影するステップと、撮影された画像に対して位相解析処理を施して、計測対象物体２１の形状を求めるステップとを含み、４つ以上の光源は１次元格子を構成する直線に垂直な方向に等間隔に配置されており、格子投影用光源１１を含み格子プレート１２に平行な光源面からの距離は、１次元格子の位相シフト量または位相に依存することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数及び製造工程数を削減する。
【解決手段】各々所定方向に配列された複数の発光素子１８を備えた一対の発光素子列２０,２２と、各々所定方向に配列された複数の受光素子２４を備え、一方が一対の発光素子列２０,２２の一方から発光された赤外線ＩＲ１を受光し、かつ他方が一対の発光素子列２０,２２の他方から発光された赤外線ＩＲ２を受光する一対の受光素子列２６,２８と、一対の発光素子列２０,２２の各々の発光素子１８に接続された発光素子用配線３０と、一対の受光素子列２６,２８の各々の受光素子２４に接続された受光素子用配線３２と、を絶縁性を有する透明な単一の基板１２の一方の主面に設けた。 （もっと読む）

【課題】対象物の相対的な位置情報を短時間で精度良く検出することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 面発光レーザアレイを含む光源１１、非平行透明部材１２、コリメートレンズ１３、対物レンズ１４、及び処理装置などを備えている。面発光レーザアレイの複数の発光部から射出された複数の光束は、Ｚ軸方向に関して互いに異なる位置に集光される。そして、処理装置は、面発光レーザアレイの複数の発光部に一定の電圧を印加するとともに、発光部毎にセルフミキシング信号をプリンタ制御装置に出力する。プリンタ制御装置は、各発光部のセルフミキシング信号に基づいて、Ｚ軸方向に関する記録紙との距離を求める。 （もっと読む）