【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、ＬＥＤの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 （もっと読む）

【課題】製品に貼着されたラベルの位置ズレ等を光学的に検出する際に、ラベルの印字パターンや製品の色、材質が異なる生産ロットで検査を行う場合にも、容易に照明レベルを適切に設定できる光量設定方法を提供する。
【解決手段】同軸落射照明２２により、カメラ２１のレンズと同軸上から光を照射し、カメラ２１により、テープカートリッジ１１上に貼着されたラベル１２の貼着状態を検出する。光量設定部２５は、同軸落射照明２２の光量レベルを低光量レベルから高光量レベルに徐々に上昇させ、ラベル１２の外縁と浅溝の縁端により生じる２つのエッジを検出し、全ての部分で２つのエッジが判定できなくなったら、このときの光量に、１以下の実験係数を乗算することで、同軸落射照明２２の最適な光量を設定する。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップの尖端バンプの高さを測定する。
【解決手段】 尖端バンプを含む複数の半導体チップが形成された半導体ウェハ２１の上方に面照射装置３３が配置されて、面照射装置３３が半導体ウェハ２１の上面に光を照射する。一対の撮像装置３４，３５が、半導体ウェハの斜め上方に配置されて、半導体ウェハ２１上の尖端バンプを含む半導体チップを斜め上方から撮像する。コンピュータ３６は、一対の撮像装置３４，３５によって撮像された一対の画像に基づいて尖端バンプの底から先端までの長さをそれぞれ検出して、前記検出した一対の長さと、一対の撮像装置３４，３５の光軸が半導体ウェハ２１の上面となす角度を用いて尖端バンプの高さを計算する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置を正確に検出することができる高さ位置検出装置および高さ位置検出装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源８１と、強度分布を整形するNDフィルター８３と、集光して被加工物Ｗに照射する集光器７と、第１の経路と第２の経路に導く第1のビームスプリッター８４と、第３の経路と第４の経路に分光する第２のビームスプリッター８６と、第３の経路に分光された反射光を受光する第1のホトデテクター８８ａと、第４の経路の反射光を帯状に通過させるスリット８９１を備えたマスク８９と、マスクを通過した反射光を受光する第２のホトデテクター８８ｂと、第1のホトデテクターによって受光した光量と第２のホトデテクターによって受光した光量との比率を求め、比率に基づいてチャックテーブル３６に保持された被加工物の高さ位置を求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【解決手段】ボンディング装置を構成する物品認識装置は、基板のバンプに照明光を照射する第１照明と、該第１照明とは異なる角度から上記バンプに照明光を照射する第２照明と、上記バンプで反射した上記照明光の反射光を撮影する第１撮影手段とを備えている。上記第２照明の輝度を固定したまま、第１照明の輝度を変化させて（Ｓ３）、上記第１撮影手段が撮影した画像のうち、バンプが最も多く認識された画像を撮影した際における第１照明の輝度を記憶する（Ｓ７）。続いて第１照明の輝度を上記記憶した輝度で固定したまま、第２照明の輝度を変化させて（Ｓ９）、上記第１撮影手段が撮影した画像のうち、バンプが最も多く認識された画像を撮影した際における上記一方の照明の輝度を記憶する（Ｓ１３）。
【効果】照明の設定値の設定を容易にかつ安定して行うことができる。 （もっと読む）

【課題】段差部を有する鏡面反射性物体の形状を高精度に測定することが可能な３次元形
状測定方法及び装置並びに３次元形状測定用顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】デフレクトメトリの手法を用いて被検面４の局所スロープ情報及び形状情報
を求めた後、投影光学系２による面光源１の共役位置３が記被検面４上に位置するように
設定するとともに、開口絞り２２の絞り半径を小さくして、面光源像を被検面４に投影す
る。観察光学系５により観察される面光源画像における歪情報と、先に求めた局所スロー
プ情報及び形状情報に基づき、被検面が有する段差部の段差量情報を求め、その段差量情
報に基づき形状情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】記録紙の種類を詳細に判別することのできる小型の光学センサを低コストで提供する。
【解決手段】第１の偏光方向の直線偏光の光を、記録媒体に照射する光照射系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において正反射された光を検出する正反射光検出系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において拡散反射された光を検出する前記第１の偏光方向に直交する第２の偏光方向の光を透過する光学素子を備えた拡散反射光検出系と、を有する測定系を複数有していることを特徴とする光学センサを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】均一な光量分布の回折パターンが得られる回折光学素子を提供する。
【解決手段】複数の基本ユニットが２次元的に配列されており、入射する光に対して２次元的な回折光を発生させる回折光学素子であって、前記回折光を平面上に投影させることにより、前記平面上の所定の範囲内に複数の光スポットを発生させるものであり、前記所定の範囲を４角形とした場合、前記所定の範囲を略同一形状となるＮ_ｘ×Ｎ_ｙ個以上の領域に均等に分割し、前記分割された領域のうち、前記所定の範囲の中心領域における領域の前記光スポットの数をＭ_ｃとし、前記所定の範囲の４隅における領域の前記光スポットの数の平均をＭ_ｏとし、前記所定の範囲に照射される最大の回折角度をθｄとした場合に、Ｎ_ｘ及びＮ_ｙはともに３以上の奇数であって、１５°≦θｄ、Ｍ_ｏ／Ｍ_ｃ＞−０．０２１７３×θｄ＋１．３１４であることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】切削部の境界が明確に検出できる溶接ビード切削幅測定方法を提供する。
【解決手段】溶接ビード切削部１１を照明装置で照射し、照射された領域をカメラ３で撮影し、その撮影画像を画像処理装置４で処理して溶接ビード切削幅を測定する溶接ビード切削幅測定方法において、前記照明装置として、溶接ビード切削部に対し左側から照射する左側照明装置１と右側から照射する右側照明装置２との２つを用い、左側からの照射と右側からの照射を交互に行う。 （もっと読む）

【課題】部品およびはんだに対する３次元計測結果に基づく検査の結果や検査対象部位の状態を、ユーザが容易に確認できるような表示を行い、検査結果の確認作業を支援する。
【解決手段】基板上の部品およびはんだに、それぞれ異なる手法の３次元計測を実施し、それぞれの計測により得た３次元情報をはんだ付け部毎および種別毎に読出可能に蓄積する。そして、これらの蓄積情報に基づき、はんだ付け部位毎に部品とはんだとの関係を表す画像を生成し、この画像を含む画面を検査結果の確認用の画面として表示する。好ましい確認用画面では、はんだの３次元情報が表す立体形状を部品のはんだへの接合面の近傍位置で切断した場合に得られるはんだの断面を正面として、このはんだの断面と部品との関係を示す画像（ＹＺ図またはＸＺ図）が表示される。 （もっと読む）

【課題】対象物の相対的な位置情報を短時間で精度良く検出することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 面発光レーザアレイを含む光源１１、非平行透明部材１２、コリメートレンズ１３、対物レンズ１４、及び処理装置などを備えている。面発光レーザアレイの複数の発光部から射出された複数の光束は、Ｚ軸方向に関して互いに異なる位置に集光される。そして、処理装置は、面発光レーザアレイの複数の発光部に一定の電圧を印加するとともに、発光部毎にセルフミキシング信号をプリンタ制御装置に出力する。プリンタ制御装置は、各発光部のセルフミキシング信号に基づいて、Ｚ軸方向に関する記録紙との距離を求める。 （もっと読む）

【課題】人物にマーカーを設置することなく、人物の姿勢を高精度で検出する。
【解決手段】各画素における輝度値がカメラから物体までの距離を示す距離画像を取得する距離画像取得部１０と、前記距離画像取得部１０が取得した前記距離画像に基づいて、三次元空間中での物体の座標を計算する座標計算部２０と、前記座標計算部２０が計算した物体の座標に基づいて、三次元空間中で所定の体積しきい値以上の体積を占める物体の領域である人物領域を決定する人物領域決定部３０と、前記人物領域決定部３０が決定した前記人物領域に、人体の骨格をモデル化した骨格モデルを当てはめることにより被写体人物の姿勢を検出する姿勢検出部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被験者の姿勢を示す値を正確に算出する。
【解決手段】各画素における輝度値がカメラから被験者までの距離を示す距離画像を取得する距離画像取得部１０２と、距離画像取得部１０２が取得した距離画像に基づいて、被験者に貼付された複数のマーカーの三次元空間中での座標を算出する座標算出部１０４と、座標算出部１０４が算出した複数のマーカーの座標から、被験者の姿勢を示す値を算出する姿勢算出部１０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】部品実装機を評価するためのデータを軽量な装置で正確に取得する。
【解決手段】部品実装機により部品が実装された評価用基板２００を用い、前記部品実装機の実装精度を評価するためのデータを取得する可搬型データ取得装置１００であって、デジタルカメラ１０１と、評価用基板２００を保持し、光を拡散状に透過させる保持板１０２と、デジタルカメラ１０１と保持板１０２とを一定の距離を維持して保持する剛性を備えた基体１０３と、基体１０３に保持板１０２が取り付けられた状態において、保持板１０２に対しデジタルカメラ１０１と反対側に取り付けられる、複数の発光源を有する照明手段１０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】監視対象領域の位置変動の測定精度を高める。
【解決手段】位置変動監視システム１は、予め決められた監視対象領域に設置された複数の監視指標２と、複数の監視指標２が撮像された撮像画像を用いて監視対象領域の位置変動を検出する位置変動監視装置３とを備える。位置変動監視装置３は、複数の監視指標２を予め設定された時間間隔で撮像する撮像部５１と、撮像部５１により時系列で得られる撮像画像を用いて複数の監視指標２の位置変位を求める画像解析部６１と、複数の監視指標２の位置変位があった場合に警告を報知するように報知装置４を制御する報知制御部６３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面や欠陥の形状に関わらず、欠陥を精度良く検出できるようにする。
【解決手段】検査対象物の表面に生成される照射パターンが少なくとも十字形状及びリング形状となる２種類以上のパターン光を発光部６０１から検査対象物の表面に照射する。そして、所定の方向に走査しながら前記検査対象物の表面にパターン光を照射するようにする。一方、撮像部６０２は、照射されたパターン光により生成される照射パターンを含む画像を撮影し、画像処理部６０３は、前記撮影された画像に含まれる照射パターンの形状の変化に基づいて前記検査対象物の表面の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】分散型の光スポットを生成することのできる回折光学素子および計測装置を提供する。
【解決手段】凹凸を有し、入射した光を２次元的に回折して、回折光を発生させる回折光学素子であって、前記回折光により形成される一部または全部の光スポットの個数をｎとした場合、前記光スポットが照射される領域の面積により規格化された前記光スポットにおける平均最近隣距離Ｗは、１／（２×ｎ^１／２）＜Ｗ＜１／（ｎ^１／２）の範囲内であることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】角度検出感度を向上させるとともに、検出可能な角度範囲を広くする。
【解決手段】波長域が互いに異なる山形輝度分布が互いに重なり合うように帯状面光源を構成し、各波長域の撮影画像の該山形輝度分布に対応する画素値分布に基づいて検査面の角度を２段階で検出する。第１段階では、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素値間の大小関係と曲線近似情報とに基づいて、光源面上周期内参照光位置ｘを決定し、第２段階では、明度の値と曲線近似情報とに基づいて、周期内参照光位置ｘがどの周期ｉに属するか、すなわち、周期始点位置Ｘｉを求める。次いで参照光位置Ｘ＝Ｘｉ＋ｘを検査ラインでの検出角に変換する。 （もっと読む）

【課題】測定ポイントの探索を短時間で行うことができ、尚かつ、エアギャップ画像と透明部材画像との間のコントラストを改善して、エアギャップを高精度で測定できるエアギャップ測定装置を提供する。
【解決手段】エアギャップ測定装置は、測定対象物ＯＢＪが、対向配置された一対の透明部材の間のエアギャップであって、前記一対の透明部材を前記エアギャップの厚さ方向に交差する方向から拡散光で照明するための面発光光源１０と、面発光光源１０と透明部材との間に設けられ、開口形状が可変である絞り部材２０と、透明部材およびエアギャップの透過画像を撮像するための撮像ユニット３０と、同軸落射照明用光源５０などで構成され、同軸落射照明用光源５０と撮像ユニット３０の結像光学系３１とによる同軸落射照明光が、その中心部に非照明部が存在するスポット光である。 （もっと読む）

【課題】 表示領域の端部近傍に線欠陥が生じている平面表示パネルであっても、表示領域の端部の位置を誤って検出してしまうことを防止する。
【解決手段】 表示領域検出装置は、予め定める複数種類の表示パターンを平面表示パネルにそれぞれ表示させる表示パターン指定部と、各表示パターンを表示させたときの平面表示パネルを撮像した画像の画像データを取得する撮像画像取得部と、撮像画像取得部によって取得された画像データと該画像データに対応する表示パターンとに基づいて、表示領域の端部の位置の座標を推定する端部位置座標推定部と、端部位置座標推定部によって表示パターンごとに個別に推定された各座標を比較して、表示領域の端部の位置の座標を決定する端部位置座標決定部とを含む。 （もっと読む）