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Fターム[2F065GG24]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 光源 (11,799) | 波長 (2,573) | 白色;連続波長 (785)

Fターム[2F065GG24]に分類される特許

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【課題】1本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのFBGセンサを計測可能なFBGセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】FBGセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ4と、広帯域波長光源9と、この光源からの光のうち、光ファイバ4に入射する光の時間を制御する光源側光変調器10と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ4の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器12と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ4からの信号を分離する波長移動量算出器14と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器15と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部16とを有する。 (もっと読む)


【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源10と、光源10からの光を2つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Tに照射し、他方の光束を参照ミラー40に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ20と、スプリッタ20によって合波された光により得られる画像を撮像するCCD50と、2つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するDMDと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Tや参照ミラー40への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】オンライン測定において安定した測定ができる干渉式膜厚計を提供する。
【解決手段】投受光プローブ5から照射される光の焦点位置であり、かつ投受光プローブ5に入射する光の焦点位置である共通焦点位置を所定範囲内で走査させる焦点位置走査部7が設けられている。演算部13は、投受光プローブ5が受光した光の分光スペクトルデータを取得する分光データ取得部15と、分光スペクトルデータに基づいてパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出部17と、パワースペクトルのデータに基づいて測定対象膜23の膜厚を算出する膜厚算出部19と、分光スペクトルデータもしくはパワースペクトルのデータ又はそれらの両方にしきい値を設け、しきい値以上のデータを抽出するデータ抽出部21と、を備えている。膜厚算出部19はデータ抽出部21が抽出したデータに対応する膜厚データを出力する。 (もっと読む)


【課題】画像の領域の大きさを使用者の操作精度によらず容易かつ均一に得ることが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】画像データに基づく初期画像IMにおいて抽出される領域A4が表示部260の画像表示領域261に表示される。表示された領域A4に外接する外接矩形Pが作成される。作成された外接矩形Pが表示部260の画像表示領域261に表示されるとともに、作成された外接矩形Pの予め定められた部分の寸法または面積を示す特徴量が算出される。使用者は、入力装置を用いて表示部260の画像表示領域261に表示された外接図形Pを回転させることができる。 (もっと読む)


【課題】参照面と被検面との間の距離の計測において、計測範囲の広範囲化の技術を提供する。
【解決手段】光源からの第1光を参照面に入射させ第2光を被検面に入射させる分割素子と、前記参照面で反射された前記第1光と前記被検面で反射された前記第2光との干渉光の位相をシフトさせる位相シフト部と、前記干渉光の強度を検出する検出部と、前記光源からの光の周波数を連続的に3つ以上の周波数に設定し前記3つ以上の周波数のそれぞれについて前記干渉光の位相をシフトさせながら前記干渉光の強度を検出するように前記検出部を制御し検出される前記干渉光の強度及び前記位相シフト部による前記干渉光の位相のシフト量に基づいて、前記参照面と前記被検面との間の光路長に相当する位相を特定し前記参照面と前記被検面との距離を求める処理部と前記処理部は前記3つ以上の周波数のそれぞれの間の周波数差が互いに異なるように前記3つ以上の周波数を設定する。 (もっと読む)


【課題】低コストで広い温度範囲に対応させることを実現したFBGひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ひずみ量計測システム10は、計測用FBG21が設けられた第1の光ファイバ11と基準波長反射用FBG22が設けられた第2の光ファイバ12とを備えており、第1の光ファイバ11と第2の光ファイバ12とは、被計測部Waに固定された計測用FBG21の反射光を、固定用治具部材Wbに固定された基準波長反射用FBG22に入射可能となるように接続されている。計測用FBG21と基準波長反射用FBG22とは同様の格子間隔に加工されており、被計測部Waと固定用治具部材Wbとは、同じ材料から形成されている。また、光源13は広帯域の光を計測用FBG21に入射し、計測機15は、基準波長反射用FBG22の反射光の総光量に基づいて被計測部Waのひずみ量を計測する。 (もっと読む)


【課題】高感度の分光散乱計を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上の回折構造体からの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計または分光エリプソメータを使って構造体の下に位置する膜の膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体を測定して回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を得る。この署名をデータベース内の署名と適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 (もっと読む)


【課題】屈折率が未知の誘電体薄膜の膜厚を正確に測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置は、第1の反射干渉光および第2の反射干渉光のそれぞれについて第1の波長分布および第2の波長分布を生成する波長分布生成部72と、第1の波長分布および第2の波長分布にもとづいて、それぞれ第1の入射角に対応する第1の光路差および第2の入射角に対応する第2の光路差を求める光路差算出部73と、入射角、膜厚および屈折率を変数とした関数として光路差を表した式を用いて、第1の入射角および第2の入射角ならびに光路差算出部73に算出された第1の光路差および第2の光路差を式に代入することにより、薄膜の膜厚および屈折率を求める膜厚屈折率算出部74と、を備える。 (もっと読む)


【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板9上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット2と、ガラス基板9を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット2は、光照射部21および受光部23を有し、光照射部21により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部23のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部23を回転することにより受光部23の光軸J2とガラス基板9の法線Nとのなす検出角θ2が変更される。撮像ユニット2は、光軸J2に沿って受光部23を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ2の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸J2上においてラインセンサの受光面と共役な位置Pがガラス基板9の表面に配置される。これにより、受光部23のフォーカス調整が容易に行われる。 (もっと読む)


【課題】FBGファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、FBGファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、FBGセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、FBGセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ヘッド部を大型化することなく、コントローラ部に対してヘッド部を交換することが可能なように互換性を持たせることができる光学計測装置を提供する。
【解決手段】本発明に従った光学計測装置では、計測対象物200に対して光を用いて計測を行ない、ヘッド部10と、コントローラ部20と、光ファイバ11と、記憶部40とを備えている。本発明に従った光学計測装置では、ヘッド部10とコントローラ部20とを光ファイバ11で接続する。記憶部40は、製造されるヘッド部10のそれぞれの個体に対して関係付けられ、コントローラ部20で行なう演算に必要な情報をヘッド部10の個体情報として記憶する。コントローラ部20は、コントローラ部20に対して物理的に独立して存在する記憶部40から個体情報を読出し、読出した個体情報を用いて演算を行なう。 (もっと読む)


【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン3が形成されている側に粘着シート4を貼り付けたうえで透明なステージ7に固定し、ステージ7の上方から同軸透過照明光L1と斜光透過照明光L2とを重畳的に照射するとともに、ステージ7の下方側からステージ7を介して裏面観察手段6で観察することで、観察像においては、デバイスパターン3に対応して、暗い(黒色の)デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像IP1以外の部分は明るく観察される。また、気泡5に対応する部分IB1についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン3の形状を明確に特定することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】コントラストの高いパターン画像の表示を低コストにて実現する。
【解決手段】パターン画像表示装置の画像取得部13は、光照射部131、ラインセンサ132、角度変更機構、および、表示対象であるガラス基板9を移動する移動機構を備える。光照射部131からは、ガラス基板9の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部131からの光の照射角θ1およびラインセンサ132により撮像が行われる検出角θ2は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン画像表示装置では、予め画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてコントラストの高い画像をラインセンサ132により取得し、ディスプレイに表示することができ、パターン画像表示装置の製造コストも削減することができる。 (もっと読む)


【課題】パターンのムラ欠陥の生じない描画条件を導出し、製品の歩留まりを向上する。
【解決手段】基板上に描画するパターンのムラ欠陥が発生しない描画条件を導出する方法であって、基板上に形成するパターンを生成するパターン情報生成工程S1と、パターンに対して、複数の描画項目の組み合わせによる、2通り以上の描画条件を設定する描画条件設定工程S2と、前記生成されたパターンを抜き取り、補助基板上に、前記各描画条件のもとに、矩形領域をなす補助パターンを形成する補助パターン描画工程S3と、補助基板に対して照明光を入射し、補助パターンから生じる回折光を光電変換素子にて画像として取得し、ムラ欠陥に関するムラ評価値とムラ発生周期とを求めことにより、複数の描画条件の中からムラ欠陥が生じない描画条件を導出する描画条件判定工程S4とを含むパターンの描画条件導出方法である。 (もっと読む)


【課題】清掃用シート等の衛生物品に係るウエブ部材の起毛状態を検査する検査装置などを提供する。
【解決手段】衛生物品に係るウエブ部材の起毛状態の検査装置である。前記ウエブ部材は、少なくとも片面に、該片面から剥がれて起毛可能な部分を所定の配置パターンで離散的に有し、前記起毛可能な部分が剥がれて起毛した際には前記片面上に新たな露出部分を生じる。前記検査装置は、前記片面を撮像して前記片面の平面画像のデータを平面画像データとして生成する撮像処理部と、前記平面画像データに基づいて二値化画像を生成する際に、前記二値化画像において二値のうちの一方の値によって特定される画像に、前記平面画像のうちで前記新たな露出部分が撮像されている領域が含まれるように二値化処理を行う二値化処理部と、前記画像の大きさを示す値に基づいて、前記起毛状態の良否判定を行う良否判定処理部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】足型測定器において、撮像手段により足の側方を撮影する場合、撮像手段と足の距離を正確に測定できないことから足背部の高さの正確な測定ができないという不都合を解決し、足背高の正確な測定を含む足型測定器を提供すること。
【解決手段】足型測定器の撮像手段で取得した足裏画像において、第2足指の先端と踵の最後端を結ぶ線上の各点と撮像手段の光学的中心との距離を測ることにより、撮像手段と足との間の距離を特定できる。撮像装置と種々の距離での既知高の物体の画素単位での測定値と物体の実寸法との関係から変換式を事前に求めておくことにより、足の側方画像から求めた画素単位での足背高を実寸法に変換することができる。この手法により、足背高の測定を含む足型測定器を提供する。 (もっと読む)


【課題】広帯域光源またはレーザ光でひずみ信号及びAE信号を計測し得るFBGセンサの計測方法及び計測装置を提供する。
【解決手段】FBGセンサ11に光を入力する広帯域光源13及び光ファイバアンプ14と、FBGセンサ11からの光を切替可能にする第一の光スイッチ16と、一方の光を光ファイバアンプ14に戻すアンプ側の光カプラ17と、第一の光スイッチ16の光とアンプ側の光カプラ17の光とを選択的に入射させる第二の光スイッチ18と、第二の光スイッチ18からの光を分割する計測側の光カプラ20と、計測側の光カプラ20で分割した一方の光を計測するブラッグ波長計測手段21と、計測側の光カプラ20で分割した他方の光を計測するAE計測用の光電変換器22とを備え、広帯域光源13と、光ファイバアンプ14のファイバリングレーザを選択可能にする。 (もっと読む)


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