【課題】 対象物への反射部材の装着や取付けを行うことなく、撮影により、対象物を検出できる物体検出装置を提供することである。
【解決手段】 スクリーン１５に取付けられ、受けた光を再帰反射する再帰反射シート１７−１〜１７−３，１９−１，１９−２と、これら再帰反射シートを撮像する撮像ユニット７と、撮像により得られた差分画像を解析するＭＣＵ３３と、を備える。ＭＣＵ３３は、差分画像から、プレイヤ２５の足により再帰反射シートが遮蔽された部分に対応する遮蔽領域を検出する。遮蔽領域の検出は、プレイヤ２５の足を検出することに相当する。足が再帰反射シート上に位置する場合、その部分は差分画像に現れず、遮蔽領域となって現れるからである。足への再帰反射シートの装着や取付けを行うことなく、撮影により、足を検出できる。 （もっと読む）

【課題】偏光イメージングの精度を向上させる算出装置、撮像装置、算出方法、方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】偏光状態が異なる光をそれぞれ透過する複数の偏光フィルタをそれぞれ含む複数の偏光フィルタユニットを有する偏光パタニング素子と、前記偏光パタニング素子の前記複数の偏光フィルタを透過した光をそれぞれ受光する複数の画素を有する撮像素子とが重ね合わされた受光部に、所定の偏光状態の光を照射する照射工程と、前記所定の偏光状態の光が照射された場合の前記撮像素子の画素の画素値から、前記偏光パタニング素子と前記撮像素子との重ね合わせのズレ量を示すズレ量情報を算出するズレ量算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光源の光軸を正確に調整しなくても、第ｎ次の回折光強度を検出することができる粒子径測定装置を提供すること。
【解決手段】 検出器５１で検出された第ｎ次の回折光強度の時間変化に基づいて、被測定粒子群の拡散係数を算出して、粒子径を算出する粒子径算出部３５を備える粒子径測定装置１０であって、検出器５１は、２次元的に配列された複数の受光素子５１ａからなり、粒子径算出部３５は、電源３から電極２に印加する電圧を停止する前に得られた複数の受光素子５１ａからの回折光強度のうちから、最大の回折光強度を検出した受光素子５１ａ’又は受光素子５１ａ’を含む周辺の受光素子群５１ａ’、５１ａを選択し、選択した受光素子５１ａ’又は受光素子群５１ａ’、５１ａを用いて、第ｎ次の回折光強度の時間変化を得る。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維にマトリックス樹脂を含浸させたプリプレグ表面の欠点検査方法。特に、一方向に引き揃えたプリプレグ表面に対して、高精度で信頼性高く検査できる光学的手段を用いた欠点検査方法を提供する。
【解決手段】欠点候補領域の矩形率、最大径角度、凹凸度を求め、ワレ欠点を検出後、ワレ欠点検出領域をマスクした画像から、1画素列毎に閾値を算出し、その閾値により2値化して毛羽欠点を検出する。 （もっと読む）

【課題】計測対象物を撮像した画像に固有の特徴量情報に基づいて計測条件を特定することができる画像計測装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】計測対象物が載置されるステージ上に照射した光の透過光又は反射光を撮像素子に結像させて得られる画像に基づいて、計測対象物の形状を計測する。計測対象物の計測条件に関する情報に対応付けて、該計測対象物の形状に固有の特徴量情報を記憶しておく。撮像素子にて結像して得られた計測対象物の画像を視野の範囲内で表示し、計測対象物の画像に基づいて特徴量情報を抽出する。抽出された特徴量情報と略一致する特徴量情報が記憶されているか否かを判断し、略一致する特徴量情報が記憶されていると判断した場合、該特徴量情報に対応付けて記憶されている計測条件に関する情報に基づいて計測対象物の形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】歯車形軸継手を稼動中に開放することなく、内部の歯車の摩耗量を検知し、歯車形軸継手の使用限界の判定を行う
【解決手段】 内歯車５を有する外筒６と、外歯車４を有する内筒３とを備える歯車形軸継手に外筒６に連動して回転する第１反射体１１、および、内筒３に連動して回転する第２反射体１０を設置し、駆動側軸１ｂの回転数と同調して発光させた光を第１反射体１１および第２反射体１０に照射し、反射光から把握される第１反射体１１および第２反射体１０の相対的な位置関係により歯車の摩耗量を検知し、歯車形軸継手の使用限界を判定する。 （もっと読む）

【課題】、オイルミストや塵などの付着から装置を保護して測定精度の劣化を防止し、加工機械のそばでも測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物Ｍの形状情報を採取する検出手段（形状センサ２０、投影ユニット２１、撮像ユニット２２）と、前記計測部の周囲に気体流を形成する気体流形成手段（エアーポンプ３０、エアーホース３１、エアーダクト２１ｄ、２２ｃ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定レンジの異なるリニアゲージを小型かつ簡易に構成可能とする。
【解決手段】シャフト３３をボールスプライン３４で直動可能にフレーム３１に支持した可動機構アッセンブリ３のスリット板ホルダ３８にスリット板５を固定した上で、可動機構アッセンブリ３と、スリット板５の変位を非接触で検出するための光学、電気部材を固定した変位検出アッセンブリ１とを連結部材６を用いて連結しケース７に収容してリニアゲージを構成する。連結部材６とスリット板５の長さは、構成するリニアゲージの測定レンジに応じたスリット板５のストローク量が確保され、かつ、変位検出ブロックの変位検出範囲内にスリット板５が位置するように設定する。 （もっと読む）

【課題】ケーブル外観のうねりを数値化して判断基準の明確化を図ることが可能な構成を含むケーブル外観のうねり測定装置を提供する。
【解決手段】ケーブル外観のうねり測定装置１は、ケーブル製造ラインにより製造されたケーブルから所定の長さで検査用サンプルを採取して、この検査用サンプルのケーブル２の側面に生じるうねりを撮影するとともに測定して数値化するための画像処理装置３と、ケーブル２を移動させるケーブル移動装置４とを備えて構成されている。ケーブル移動装置４は、台１０と、一対の直動案内部材１１と、第一ケーブル固定部１２と、第二ケーブル固定部１３と、ギヤードモータ１４と、錘１５と、複数の滑車１６と、カメラ支持部１７、１８と、二つの光源１９とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】線形状物の反射光を取り込んで作成した画像データから背景の影響を受けずに線形状物のみを正確に検出する線形状物検出装置を提供する。
【解決手段】照明１２の光源により線形状物１１に照明光（入射光ｉ）が照射され、線形状物１１で反射された反射光ｊをカメラ１３で取り込んで画像データｖｄが生成される。画像データｖｄは、濃淡値で表した濃淡画像データｖｅとして濃淡画像データ記憶部１５に記憶され、濃淡画像データｖｅに基づいて濃淡プロファイル作成部１６で濃淡プロファイルｖｐが作成され、濃淡プロファイルｖｐに基づいて、線形状物検出部１７で線形状物１１の特徴ｖｃを持つ部分が線形状物１１として検出される。線形状物１１は、検出結果結合部１８で結合され、線形状物１１が軌跡として検出される。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された多層膜の界面のナノスケールの粗さを光学的に非破壊・非接触で観察すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る多層膜構造観察装置１００は、基板上に形成された多層膜の観察対象界面を観察するための多層膜構造観察装置であって、多層膜の観察対象界面以外の界面からの反射光と、当該反射光により生じる干渉光とが打ち消しあう波長の光を選択する波長選択部２２と、波長選択部２２で選択された波長の光を、多層膜に出射する光源１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】筒状成形体に生じた傷、歪みその他の異常を、高い精度で、かつ、効率よく検査することのできる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】樹脂の成形により成形した筒状成形体に対して検査光を照射する光源と、筒状成形体の内部に配置した第１偏光手段と、筒状成形体の外部であって、検査光の進行方向上に配置した第２偏光手段と、検査光が第１偏光手段及び第２偏光手段を通ることによって生ずる干渉模様を撮像する撮像手段と、干渉模様に基づいて筒状成形体の、歪み、形状及び外観のうち少なくとも一つを解析する解析手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハを基板検査装置に取り付ける際の偏心等に影響されることなく、ウェハの外周端部が検査できる基板検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る基板検査装置１は、ウェハ２を保持するウェハ支持部１０と、ウェハ２の端部を観察するラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４と、ウェハ支持部１０とラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４とを相対移動させる移動部と、相対移動中にラインセンサカメラ２１、２次元カメラ２２、２３、２４がウェハ２の端部を観察できるように移動部を制御する制御部とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】設計情報を基に無駄な走査を防止しするとともに、走査中であっても部分的にでも早く検査を開始する技術の提供である。
【解決手段】
走査ルート形成手段３６が、予め、測定対象とする前記プリント板について、該プリント板内で前記はんだ印刷された領域及び基準位置を示す複数のマークが付された領域をＸ−Ｙ直交座表系で表した基板設計情報を受けて、主走査すべき測定領域を決定するとともに、その測定領域の全部を走査する走査ルートを決定し、走査ルート情報を形成しておいて、測定時に、走査制御部２５ａが生成された走査ルート情報に基づいて主走査機構及び副走査機構を制御し、検知手段２５ｃは主走査機構が少なくとも２つのマークが付された領域を走査したことを検知して検査部に対して通知して走査制御部による残りの主走査に拘わらず検査部に検査動作を開始させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】 ２点同時入力の検出を可能とする光学式センサを使用した座標入力装置において、２点が重なるような動作を行っても交差および折り返し動作を識別することを可能とすること。
【解決手段】 四角形状の座標入力面を照射光によって走査し、照射方向の対向する位置に設置された再帰反射材によって反射された光を受光する光学式センサを有し、前記座標入力面に挿入された座標指示物による遮光タイミングに基づき前記座標入力面に挿入された座標指示物の座標位置を検出する座標検出装置において、前記照射光の走査によって順次に検出した座標位置を記憶する位置座標記憶手段と、記憶した座標位置と新たに検出した座標位置とに基づき前記座標指示物による指示座標の移動に伴う速度ベクトルを順次算出し、算出した速度ベクトルに基づき、前記座標入力面に挿入された２つの座標指示物による座標指示の交差動作と折り返し動作の座標位置を識別する演算手段を備える。 （もっと読む）

【課題】垂直、水平及びその他の角度のクラック（亀裂）を膨れから区別することができるガラス容器の検査装置を提供すること。
【解決手段】ガラス容器の口部の“膨れ”を“亀裂”から区別するための装置。複数の隣接する帯内の対象物中心を判定する制御装置によって、１つの列内の対象物の各々の中心が判定される。対象物中心を最も多く有する帯が判定され、最も多くの対象物中心を有する帯内の対象物が、残りの帯から削除される。当該制御装置は、各帯内の対象物が特有のものとなるまで、対象物中心を最も多く有する帯の残りの部分を繰り返し判定し且つ残りの帯から対象物中心を最も多く有する帯の残りの部分内の対象物を削除する。各帯内の対象物の最大離隔距離が規定され、この離隔距離に基づいて、“亀裂”が“膨れ”から区別されるであろう。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表面特性の定量測定のための方法を提供し、解析されるべき表面（８）の、多数の測定値を含んでいる空間的に分解された画像が評価される。
【解決手段】方法は、測定値によって特徴付けられ得る特定の物理的な特性を表す画像の表面積（Ａ）を決定するために、測定値を解析するステップと、物理的な特性の結果値（Ｉ）を決定するステップであって、この結果値は、測定値を解析することによって決定された表面積（Ａ）全体の物理的な特性の測定値に特有のものである、ステップと、を包含し、結果値に加えて、表面に特有のさらなる値（Ｂ）が決定され、このさらなる特徴値（Ｂ）は、結果値（Ｉ）またはこの結果値に依存する値と共に表示されることを特徴とする、方法。 （もっと読む）

【課題】上下方向の変動による基準マークの位置検出誤差を、スループットを低下させずに補正する。
【解決手段】アライメントユニット２４のカメラ２５に、基板上面の合焦位置からの変動量Δを計測するＺ方向センサ２６を設ける。基準マークの撮影画像を補正する歪み補正部５８として、上記合焦位置からの変動量Δに対応する歪み補正データを、複数の変動量Δについて記憶した補正データ記憶部５９と、Ｚ方向センサ２６の計測値に応じて適した歪み補正データを選択もしくは算出して決定する補正データ決定部６０と、補正データ決定部６０によって決定された歪み補正データを用い、撮影画像の歪みを補正する画像補正処理部６１とを設ける。これにより、上下方向の変動による基準マークの位置検出誤差を、基板を上下動させずに補正することができる。 （もっと読む）

歪測定及び検査システムが提供される。一実施形態において、ビジョンシステムが実装される。ビジョンシステムは、歪を決定するために２つの焦平面の同時結像が試料基板上及び基準基板上で同時に実施される、二重焦平面結像を行う。さらに、歪測定中の分解能を高めるために高反射背景が実装される。
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【課題】測定ヘッドの軸ストロークおよび測定時における測定ヘッドの移動に要する時間を短縮できる非接触３次元座標測定装置の測定ヘッド保持機構を提供する。
【解決手段】３次元直交座標系７２中の被測定物７３における座標を、光を用いて非接触で測定する装置の測定ヘッド７１を、位置、姿勢を制御可能に保持する機構において、３次元直交座標系７２の各軸上を移動可能な基台１１と、第１，第２アーム１２，１３を設ける。第１アーム１２は、基台１１の下面に一端側を軸支してその軸周り方向に回転自在とし、他端側を下方側に曲げ形成する。第２アーム１３は、第１アーム１２の他端側の下面に一端側を軸支してその軸周り方向に回転自在とし、他端側を下方側に曲げ形成し、その下面に測定ヘッド７１を下方側に向けて取り付ける。第２アーム１３が軸周りに回転したとき、測定ヘッド７１の投射光軸が逆円錐状の軌跡を描くようにする。 （もっと読む）