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Fターム[2F065HH03]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 入射光 (9,091) | 強度分布 (4,196) | 平行光 (644)

Fターム[2F065HH03]に分類される特許

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【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 (もっと読む)


【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
20と、パターンで反射した照明光を検出する受光系30および撮像装置35と、撮像装
置35により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部42とを備えている。 (もっと読む)


【課題】搬送される鋼管が跳ねた場合や楕円または外径の変動が鋼管に生じている場合も正確に測定できるとともに、工数を増大させることなく測定間隔を短くして定量的に測定できる外面曲がりの測定方法を提供する。
【解決手段】複数のローラ31によって鋼管11をその周方向に回転させつつ長手方向に搬送し、ローラ31のうちで隣り合うローラ31の間に鋼管外面の上端および下端の位置を検出する検出器21を等間隔に3台配置し、検出器21で検出した上端および下端の位置から鋼管外面の中心位置を3台の検出器についてそれぞれ求め、下記(1)式により振れwを算出すること特徴とする鋼管の外面曲がり測定方法である。ここで、3台の検出器21のうちで上流側(A位置)での中心位置をCA、中央(B位置)での中心位置をCB、下流側(C位置)での中心位置をCCとする。
w=CB−(CA+CC)/2 ・・・(1) (もっと読む)


【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測を実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板2に対し縞状の光パターンを照射する照射装置4A,4Bと、これを撮像するカメラ5と、撮像された画像データを基に三次元計測を行う制御装置6とを備えている。制御装置6は、第1照射装置4Aから第1光パターンを照射して得られた画像データを基に第1計測値を取得し、第2照射装置4Bから第2光パターンを照射して得られた画像データを基に第2計測値を取得する。そして、両光パターンが照射される全照射領域に関しては、両計測値から特定される値を当該領域の高さデータとし、いずれか一方のみ照射される一部照射領域に関しては、前記全照射領域の高さデータから算出した補完データを基に当該領域に係る計測値の縞次数を特定し、当該領域に係る高さデータを取得する。 (もっと読む)


【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】エンコーダ本体2aに対する回転軸3の相対的な回転角を検出するロータリエンコーダ2と、エンコーダ本体2a及び回転軸3から切り離され、エンコーダ本体2aの回転角を検出する非接触角度検出手段20(レーザ干渉式検出手段)とを備える。これにより、ロータリエンコーダ2が検出した回転角を、非接触角度検出手段20で検出した回転角に基づいて補正することができ、回転角を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】撮像素子の受光面とその前方に配置されたカバーガラス等の透明体の前面及び背面のうちのいずれかの表面に存在する異物の位置、大きさ、形状を特定することができる撮像素子の異物検出方法及びその装置を提供する
【解決手段】本発明に係る異物検出装置は、撮像素子パッケージ2を装着部50に装着し、光源部60から照明光を照射して、撮像素子10の受光面の像を撮像する。光源部60から受光面10Aに照射する照明光は、例えば、平行光と、点光源からの拡散光とで切り替えられ、各々の照明光により照明している状態で撮像した撮影画像を制御・検査部80に取り込み、それらの画像を比較することによって、異物の3次元的な位置、大きさ、形状を特定する。 (もっと読む)


【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ100の表面の欠陥を検査する表面検査装置300と、この表面検査装置300に対するウェハ100の搬送路に設けたウェハステージ210と、このウェハステージ210上のウェハ100のエッジ部を検査するエッジ検査部530と、このエッジ検査部530を当該エッジ検査部530の光軸に沿って移動させる移動装置650とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】画像処理の負担を軽減し、容易かつ正確に切断面を区別することのできる、新規の切断面の検出方法を提供する。
【解決手段】第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aを所定の方向に向けて第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aと第2の偏光フィルタ4の偏光方向4aを直交させ、照明光1を第1の偏光フィルタ2を透過させ試料3の切断面3b,3cで反射させてから第2の偏光フィルタ4を透過させデジタルカメラ5により撮影して第1の画像を取得し、第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aを所定の方向から45度傾かせて第2の画像を取得し、第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aと第2の偏光フィルタ4の偏光方向4aを平行にして第3の画像を取得し、第1、第2、第3の画像を加算する。 (もっと読む)


【課題】可及的にワークの移動が自由であり、後工程の作業の妨げともなりにくい簡易な構成のワーク位置の検出装置を提供する。
【解決手段】検出光(40)を投光する投光部(10)と、検出光を受光する受光部(20)と、投光部と受光部を所定の位置関係に保つ支持手段(30)と、を備え、受光部が一次元又は二次元に配置された複数の受光素子を含み、上記支持手段が、投光部と受光部との間に設けられる検出基準面に対して検出光(40)が斜めになるように投光部と受光部の位置を保持する。 (もっと読む)


【課題】画像の領域の大きさを使用者の操作精度によらず容易かつ均一に得ることが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】画像データに基づく初期画像IMにおいて抽出される領域A4が表示部260の画像表示領域261に表示される。表示された領域A4に外接する外接矩形Pが作成される。作成された外接矩形Pが表示部260の画像表示領域261に表示されるとともに、作成された外接矩形Pの予め定められた部分の寸法または面積を示す特徴量が算出される。使用者は、入力装置を用いて表示部260の画像表示領域261に表示された外接図形Pを回転させることができる。 (もっと読む)


【課題】正確に調整可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第1の光を発する第1の発光部11、及び第2の光を発する第2の発光部12と、第1の光及び第2の光を受ける格子3と、平坦な基板が配置されるステージ14と、格子3を透過した第1の光を第1の入射角で基板表面に入射させ、格子3を透過した第2の光を第2の入射角で基板表面に入射させる投影光学系5と、第1の光による基板表面の格子3の第1の変形像、及び第2の光による基板表面の格子3の第2の変形像に基づき、基板表面の高さ方向の位置を算出する高さ算出部と、基板表面の高さ方向の位置が投影光学系5の焦点位置と一致するよう、ステージ14を移動させる移動装置15と、を備える、形状計測装置。 (もっと読む)


【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転が一定範囲とされた支持基準体であるエンコーダ本体2aと、エンコーダ本体2aに対し全周回転自在に軸支された駆動する回転体である回転軸3とを有し、エンコーダ本体2aに対する回転軸3の相対的な回転角度を検出する相対的角度検出手段としてのロータリエンコーダ2と、エンコーダ本体2a及び回転軸3から切り離されて、エンコーダ本体2aの回転角度を光学式角度検出手段としての非接触角度検出手段20とを備える。これにより、ロータリエンコーダ2が検出した回転角度を、非接触角度検出手段20で検出した回転角度に基づいて補正することができ、回転角度を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 半導体チップの尖端バンプの高さを測定する。
【解決手段】 尖端バンプを含む複数の半導体チップが形成された半導体ウェハ21の上方に面照射装置33が配置されて、面照射装置33が半導体ウェハ21の上面に光を照射する。一対の撮像装置34,35が、半導体ウェハの斜め上方に配置されて、半導体ウェハ21上の尖端バンプを含む半導体チップを斜め上方から撮像する。コンピュータ36は、一対の撮像装置34,35によって撮像された一対の画像に基づいて尖端バンプの底から先端までの長さをそれぞれ検出して、前記検出した一対の長さと、一対の撮像装置34,35の光軸が半導体ウェハ21の上面となす角度を用いて尖端バンプの高さを計算する。 (もっと読む)


【課題】検査精度を上げて入味容量のバラツキを少なくできるようにする。
【解決手段】キャップ天面高さと満注容量との相関関係を予め測定して第1相関関係情報を取得すると共に、最低充填容量を設定し、満注容量よりも所定量減量した液状収容物をボトルに充填した場合の入味線高さとキャップ天面との高低差と、所定量との相関関係を求めて第2相関関係情報を取得しておいて、被検査用ボトルに対するキャップ天面高さを計測して第1相関関係情報から満注容量を決定すると共に、満注容量と最低充填容量との差に対応する差分高さを第2相関関係情報から算出して、被検査用ボトルに対応する許容最低入味線高さを求め、液状収容物の実入味線高さを計測し、許容最低入味線高さと実入味線高さとを比較して、実入味線高さが高ければ良品と判定し、実入味線高さが低ければ不良品と判定する。 (もっと読む)


【課題】パターンのムラ欠陥の生じない描画条件を導出し、製品の歩留まりを向上する。
【解決手段】基板上に描画するパターンのムラ欠陥が発生しない描画条件を導出する方法であって、基板上に形成するパターンを生成するパターン情報生成工程S1と、パターンに対して、複数の描画項目の組み合わせによる、2通り以上の描画条件を設定する描画条件設定工程S2と、前記生成されたパターンを抜き取り、補助基板上に、前記各描画条件のもとに、矩形領域をなす補助パターンを形成する補助パターン描画工程S3と、補助基板に対して照明光を入射し、補助パターンから生じる回折光を光電変換素子にて画像として取得し、ムラ欠陥に関するムラ評価値とムラ発生周期とを求めことにより、複数の描画条件の中からムラ欠陥が生じない描画条件を導出する描画条件判定工程S4とを含むパターンの描画条件導出方法である。 (もっと読む)


【課題】ステージを正確に2次元駆動する。
【解決手段】 XエンコーダとYエンコーダとを少なくとも各1つ含む3つのエンコーダを用いて、ステージWSTの移動面内の位置情報を計測する。ステージWSTの位置計測値に基づいて、位置計測に用いるエンコーダを、エンコーダEnc1,Enc2及びEnc3から、エンコーダEnc4,Enc2及びEnc3に切り換える。切り換えの際、座標つなぎ法又は位相つなぎ法を適宜切り換えて適用して、新たに使用するエンコーダEnc4の初期値を設定する。それにより、ステージWSTの位置計測に用いるエンコーダが逐次切り換えられるにもかかわらず、切り換えの前後でステージの位置計測値が保存され、ステージを正確に2次元駆動することができる。 (もっと読む)


【課題】基板の一面を複数のショットに分けて露光する際、ショット毎に、マスクと基板とがより平行な状態でギャップ合わせを行って、露光精度を向上させる。
【解決手段】マスクホルダ20とチャック10とを相対的にZ方向へ移動及びチルトする複数のZ−チルト機構30と、マスク2と基板1とのギャップを複数箇所で測定する複数のギャップセンサー30とを設ける。予め露光した基板のパターンを測定して、各ギャップセンサー40の測定点におけるショット毎のオフセット値を決める。ショット毎に、各ギャップセンサー40の測定値を、各測定点におけるショット毎のオフセット値で補正し、補正後の補正値に基づいて、複数のZ−チルト機構30によりマスク2と基板1とのギャップ合わせを行う。 (もっと読む)


【課題】物体表面の反射特性に鏡面反射成分を含むことを必要とせず、物体表面までの距離の計測も必要とせずに面法線を計測する。
【解決手段】面法線計測システム1は、ガイドレールRx,Ryに沿って、互いに直行する平面内を移動して物体OBJに対する照明方向を変化させる照明装置30と、物体OBJを撮影する撮影装置40と、撮影装置40によって撮影された画像に基づいて物体OBJの表面の面法線を計測する面法線計測装置10とを備える。面法線計測装置10は、物体OBJの画像を2値化し、画素ごとに、照明方向と明暗とが対応付けられた陰影ベクトルを作成し、予め形状が既知の参照物体について作成した参照陰影ベクトルと面法線とが対応付けられたデータベースを参照して、物体OBJの陰影ベクトルと最も類似する参照陰影ベクトルに対応付けられた面法線を、その画素における面法線と推定する。 (もっと読む)


【課題】ステレオカメラを自動車等に取り付ける際に、該ステレオカメラの校正距離方向と目的距離方向の調整を容易に行えるようにする。
【解決手段】ステレオカメラ10を自動車40に取り付けて、自動車の直進方向の距離を測定するものとする。ステレオカメラ10は複数の単眼カメラを筐体内に備え、筐体前面を筐体基準面とし、該筐体基準面は反射面を有している。車外に設置されたレーザ光源50の出射光軸と自動車40の直進方向が平行になるように調整した後、レーザ光源50からの出射光をステレオカメラ10の筐体基準面で反射させて、反射光が出射光位置に戻るように、ステレオカメラ10の取り付け姿勢を調整する。 (もっと読む)


【課題】検査作業者の技量にかかわらず、圧着端子を精度よく検査できる、圧着端子検査装置および圧着端子検査方法を提供する。
【解決手段】圧着端子3の検査時には、検査作業者により、圧着端子検査装置1の端子配置部に圧着端子3が配置されて、圧着端子3が延伸方向に延びる軸線を中心に揺動される。この揺動中に、ハイト測定用エリアイメージセンサ14の撮像面141への圧着端子3の投影における第1測定位置Piおよび第2測定位置PwでのY軸方向寸法Yi,Ywが測定される。そして、Y軸方向寸法Ywの極小値Ywminが圧着端子3のワイヤバレル部32のクリンプハイトHwとして取得される。 (もっと読む)


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