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Fターム[2F065HH13]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 入射光 (9,091) | 入射方向 (4,392) | 法線方向 (1,242)

Fターム[2F065HH13]に分類される特許

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【課題】整列状態にあることが要求される物品の列について、整列状態を乱す物品の位置ずれ、欠落、倒れなどの種々の整列不良を検出することを可能とする。
【解決手段】物品の列が整列状態にあるかどうかを検査する方法であって、準備工程では、整列状態にある物品a〜aの列Pに対しその物品の列を列方向の全幅にわたって切断するような帯状の光Rを照射して各物品a〜aの表面に各物品の輪郭に沿う光切断線Lを生成するとともに、その光切断線Lを撮像して基準となる画像を取得する。検査工程では、検査対象の物品b〜bの列Pに対し同じ帯状の光Rを照射するとともに、前記準備工程で撮像した光切断線の生成位置に対応する位置に生成された光切断線Lを撮像して検査対象画像を取得した後、その検査対象画像を前記基準となる画像と照合して、検査対象の物品b〜bの列Pが整列状態にあるかどうかを判別する。 (もっと読む)


【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置1〜4及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ6を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面7にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 (もっと読む)


【課題】波長差に起因する計測誤差を低減して高精度な位置検出を行う位置検出装置を提供する。
【解決手段】基準マークSMを利用して被検出体WMの位置を検出する位置検出装置であって、第1の波長帯域を有する計測光を用いて被検出体WMを照明する第1の照明光学系5と、第2の波長帯域を有する基準光を用いて基準マークSMを照明する第2の照明光学系13と、被検出体WMからの光束および基準マークSMからの光束を検出する検出光学系10と、検出光学系10で検出された光束に基づいて被検出体WMの位置を検出する位置検出部48とを有し、基準光の第2の波長帯域は、計測光の第1の波長帯域の上限と下限との間に設定されている。 (もっと読む)


【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源10と、光源10からの光を2つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Tに照射し、他方の光束を参照ミラー40に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ20と、スプリッタ20によって合波された光により得られる画像を撮像するCCD50と、2つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するDMDと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Tや参照ミラー40への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】リアルタイムコンテキスト生成機能を含むマシンビジョンシステムプログラム編集環境を提供する。
【解決手段】編集に現実的なコンテキストを生成するために、パートプログラムのすべての先行命令の実行を必要とせずに、前に保存されたデータを使用する代理データ動作が、特定の命令セットの実行に取って代わる。代理データは、パートプログラムに記録される動作の実際の実行中に保存し得る。実行の編集モードは、そのデータを代理と置換して、そのデータを生成するであろう動作を実行する。コンテキスト生成で大量の時間節約を達成し得、それにより、編集は動作コンテキスト内で行うことができ、動作コンテキストは略リアルタイムで正確性のために繰り返しリフレッシュし得る。これは、マシンビジョンシステムの固有のユーザインタフェースを使用して、比較的未熟なユーザによる都合のよいプログラム変更をサポートする。 (もっと読む)


【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するAD変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 (もっと読む)


【課題】撮像素子の受光面とその前方に配置されたカバーガラス等の透明体の前面及び背面のうちのいずれかの表面に存在する異物の位置、大きさ、形状を特定することができる撮像素子の異物検出方法及びその装置を提供する
【解決手段】本発明に係る異物検出装置は、撮像素子パッケージ2を装着部50に装着し、光源部60から照明光を照射して、撮像素子10の受光面の像を撮像する。光源部60から受光面10Aに照射する照明光は、例えば、平行光と、点光源からの拡散光とで切り替えられ、各々の照明光により照明している状態で撮像した撮影画像を制御・検査部80に取り込み、それらの画像を比較することによって、異物の3次元的な位置、大きさ、形状を特定する。 (もっと読む)


【課題】作業者に負担をかけることなく、比較的安価な構成で透明で且つ膜厚が薄い紙材料からなる印刷物の膜厚測定を正確に行うことができる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置1は、大略、光源2、受光サンサ3及び受光センサ3と電気的に接続された演算処理部4を備えてなり、紙材料からなる基材6上に形成された塗布膜8の表面に所定波長の光を出射し、該塗布膜8から反射した反射光の光量、すなわち電圧を測定し、塗布膜8の厚みに対応する電圧と塗布材の膜厚とが関連付けられた検量線に基づき膜厚を演算する。光源2として波長が570nm〜592nmにピークを有する光を用いると共に、塗布膜8に入射する入射光と該入射光の入射点における塗布膜8に垂直な仮想垂線14とでなす角度を0度〜10度としたので、透明で且つ膜厚が0.5μm〜2.0μm以下の印刷物を測定した場合でも、正確な膜厚の値を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】立体構造を有する物体の厚み分布を、短時間に、かつ容易に測定する。
【解決手段】厚み測定方法は、測定対象物6に光を照射する光照射工程(S1)と、測定対象物6に照射された光が、測定対象物6を透過しているときに、測定対象物6への光の照射方向とは異なる所定の方向から、測定対象物6を撮像する撮像工程(S2)と、その撮像画像に基づいて、測定対象物6の厚み分布を測定する測定工程(S3)と、を含む。 (もっと読む)


【課題】スペックルパターンの明暗模様の時間変化の測定に基づくひび割れの検出方法において、その検出感度を向上する。
【解決手段】検査対象物Mの表面で反射されて位相変調された信号光2と、この検査対象物Mの表面で位相変調されていない参照光3との干渉によってフォトリフラクティブ結晶4中に生じたダイナミックホログラムで参照光3を回折し、この回折した参照光3を複数の検出チャンネル5を備えたマルチチャンネル検出器6で受光する。複数の検出チャンネル5のうち受光強度が最も高い受光強度を検出した検出チャンネル5から、予め決めた順番に相当する受光強度を検出した検出チャンネル5をディスクリミネータ7で弁別し、この弁別された検出チャンネル5の受光強度をマルチプレクサ8で積分してノイズを除去する。このノイズ除去によって位相変調を明確にとらえることができ、深いひび割れを高感度に検出できる。 (もっと読む)


【課題】光ファイバの長手方向の曲率変動を容易かつ高精度に測定する方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ1の一端を回転可能に把持し、該光ファイバ1の軸方向側面上の所定長離れた2点に対して、該軸方向にほぼ垂直かつ互いに平行な2本のビーム光線6を照射し、前記側面上で散乱した2つの散乱反射光7のそれぞれの代表位置を、該光ファイバ軸と平行な軸上の座標位置として計測し、得られた2つの座標位置の差分を求め、次いで、該光ファイバ1を所定角度回転させ、同様の操作を行って2つの座標位置の差分を求める操作を複数回繰返し、得られたそれぞれの角度での差分から正の値を取る振幅SAの代表値を求め、さらに振幅SAから曲率を求め、これを第1の光ファイバ長手位置の第1の曲率とし、さらに、光ファイバ1の長手方向にビーム光線を照射する位置を変え、同様の処理を複数回繰り返して前記第1から第mまでの曲率を求める。 (もっと読む)


【課題】スポット溶接部の有無及び位置を精度良く計測することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】取得画像上のスポット溶接部を抽出する溶接部抽出部と、抽出したスポット溶接部の座標を算出する座標算出部9と、光線によって計測対象物上に指し示された3点以上の基準点を取得画像から抽出する基準点抽出部20と、抽出した取得画像上の基準点の座標を基に正対対象物に対する計測対象物の傾斜及び倍率のずれに起因する誤差を補正する補正値を算出する第1の補正値算出部21と、取得画像上の計測対象物の特徴量を抽出する特徴量抽出部22と、抽出した特徴量から計測対象物の蛇行及び撮像軸周りの回転に起因する誤差を補正する補正値を算出する第2の補正値算出部23と、補正値算出部21,23で算出した補正値によりスポット溶接部の座標を補正する座標補正部24とを備えている。 (もっと読む)


【課題】対象物体の2次元的な位置を1台の装置で光学的に検出することは困難であること。
【解決手段】光学的位置検出装置は、光を照射する光照射部と、対象物体からの反射光を受光する受光部とを有する。受光部は、受光面が2次元に分割された分割フォトダイオードと、対象物体からの反射光を集光し分割フォトダイオードの受光面に対象物体の像を結像する受光レンズと、分割フォトダイオードの分割された受光面の各々に対応するフォトダイオードの出力信号電流に基づいて、受光レンズの光軸と直交する2次元方向における対象物体の位置を検出する演算部とを有する。 (もっと読む)


【課題】所望の計測部分の幾何的な物理量を選択的にかつ容易に取得することが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】対象物画像データに基づいて対象物画像OIが表示されるとともに、指定画像データに基づいて対象物画像の特定部分に対応する計測部分指定画像AIが表示される。使用者による操作部の操作により、表示される計測部分指定画像AIが対象物画像OIに相対的に移動される。計測部分指定画像AIが対象物画像OIの特定部分に移動された場合、その特定部分に対応するように予め設定された計測対象物の計測部分の物理量が計測される。 (もっと読む)


【課題】画像の領域の大きさを使用者の操作精度によらず容易かつ均一に得ることが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】画像データに基づく初期画像IMにおいて抽出される領域A4が表示部260の画像表示領域261に表示される。表示された領域A4に外接する外接矩形Pが作成される。作成された外接矩形Pが表示部260の画像表示領域261に表示されるとともに、作成された外接矩形Pの予め定められた部分の寸法または面積を示す特徴量が算出される。使用者は、入力装置を用いて表示部260の画像表示領域261に表示された外接図形Pを回転させることができる。 (もっと読む)


【課題】可及的にワークの移動が自由であり、後工程の作業の妨げともなりにくい簡易な構成のワーク位置の検出装置を提供する。
【解決手段】検出光(40)を投光する投光部(10)と、検出光を受光する受光部(20)と、投光部と受光部を所定の位置関係に保つ支持手段(30)と、を備え、受光部が一次元又は二次元に配置された複数の受光素子を含み、上記支持手段が、投光部と受光部との間に設けられる検出基準面に対して検出光(40)が斜めになるように投光部と受光部の位置を保持する。 (もっと読む)


【課題】乾式ガスホルダーに関し、ピストンの傾斜のみならず偏心も監視するための方法および装置を提供する。
【解決手段】筒状のホルダー本体2と、ホルダー本体内に配置された落し蓋状のピストン3と、ピストンとホルダー本体との隙間のシール機構4を具える乾式ガスホルダー1の、ピストンの監視方法において、ピストンの中心位置に偏心量測定テーブル5を設け、ホルダー本体の上端部に、偏心量測定テーブルおよびその近傍並びにその中心位置を含みまたは含まずに互いに多角形を形成する他の複数位置までの高さ方向距離を非接触でそれぞれ計測する距離計6を設け、中心位置の偏心量測定テーブルまでの高さ方向距離に急激な変化が生じた場合にピストンに偏心が生じたと判断し、その高さ方向距離の変化がないか穏やかな場合は、距離計で計測した多角形を形成する複数位置までの高さ方向距離に基づきピストンに傾斜が生じたか否かを判断する。 (もっと読む)


【課題】生地などのシート体の縁部を正確に検出することができる。
【解決手段】当接部材20と、当接部材20に面当接しているシート体Wへ向けて検出光を投光する投光部2と、投光部2が投光した検出光を受光する受光部3と、受光部3の受光量を基にシート体Wを検出する検出部35とを備え、投光部2は、シート体Wとその縁部Waから外れた外領域とにわたって検出光を投光できるように並設された複数の投光口2aを有し、受光部3は投光口2aに個別に対応する受光口3aを有し、検出部35は受光口3aに個別に対応する判断部を有している。 (もっと読む)


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