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Fターム[2F065HH14]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 入射光 (9,091) | 入射方向 (4,392) | 複数方向 (691)

Fターム[2F065HH14]に分類される特許

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【課題】被計測物を精度よく計測することができる3次元計測装置およびそれに用いられる照明装置を提供する。
【解決手段】3次元計測装置1は、被計測物8に円偏光を照射する照明手段2と、照明手段2を移動させる移動手段3とを備える。また、3次元計測装置1は、被計測物8の被照射面からの反射光を受けて上記被照射面を撮像する撮像手段4と、撮像手段4で撮像された撮像画像を用いて反射光の偏光状態を検出し、被計測物8の被照射面の向きを求める演算手段5とをさらに備える。照明手段2は、円偏光を被計測物8の一部に照射する。移動手段3は、被計測物8において被照射面の位置が変わるように照明手段2を移動させる。 (もっと読む)


【課題】二股形状端子の側面の状態が変化した場合であっても高精度に先端部の間の隙間距離を測定することが可能な端子検査装置、及び端子検査方法を提供する。
【解決手段】二股形状端子の長手方向に対して平行となる軸方向から、該二股形状端子に向けて青色光を照射し、且つ、軸方向に対して所定角度傾斜した方向から二股形状端子に向けて赤色光を照射する。そして、二股形状端子に照射された青色光、及び赤色光をカメラ14にて撮影し、撮影した画像から青色光、赤色光を抽出する。この抽出結果に基づいて、二股形状端子の側面状態に応じた適切な隙間演算プログラムを選択し、この隙間演算プログラムを用いて二股形状端子の隙間距離dを求める。 (もっと読む)


【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測を実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板2に対し縞状の光パターンを照射する照射装置4A,4Bと、これを撮像するカメラ5と、撮像された画像データを基に三次元計測を行う制御装置6とを備えている。制御装置6は、第1照射装置4Aから第1光パターンを照射して得られた画像データを基に第1計測値を取得し、第2照射装置4Bから第2光パターンを照射して得られた画像データを基に第2計測値を取得する。そして、両光パターンが照射される全照射領域に関しては、両計測値から特定される値を当該領域の高さデータとし、いずれか一方のみ照射される一部照射領域に関しては、前記全照射領域の高さデータから算出した補完データを基に当該領域に係る計測値の縞次数を特定し、当該領域に係る高さデータを取得する。 (もっと読む)


【課題】リアルタイムコンテキスト生成機能を含むマシンビジョンシステムプログラム編集環境を提供する。
【解決手段】編集に現実的なコンテキストを生成するために、パートプログラムのすべての先行命令の実行を必要とせずに、前に保存されたデータを使用する代理データ動作が、特定の命令セットの実行に取って代わる。代理データは、パートプログラムに記録される動作の実際の実行中に保存し得る。実行の編集モードは、そのデータを代理と置換して、そのデータを生成するであろう動作を実行する。コンテキスト生成で大量の時間節約を達成し得、それにより、編集は動作コンテキスト内で行うことができ、動作コンテキストは略リアルタイムで正確性のために繰り返しリフレッシュし得る。これは、マシンビジョンシステムの固有のユーザインタフェースを使用して、比較的未熟なユーザによる都合のよいプログラム変更をサポートする。 (もっと読む)


【課題】保持部材の第1の方向のたわみを検出する。
【解決手段】第1のイメージセンサは、中間転写ベルトの裏面に形成されたラダーパターンチャートの濃度を測定する。記憶部は、第1のイメージセンサと中間転写ベルトの裏面との間の距離と、この第1のイメージセンサの測定に係るラダーパターンチャートのコントラストとの対応関係を示す第1の関数を記憶する。制御部は、第1のイメージセンサにより測定されたラダーパターンチャートの濃度を用いて、ラダーパターンチャートにおいて隣り合う白領域と黒領域とのコントラストを算出する。制御部は、記憶部に記憶された第1の関数を用いて、算出されたコントラストに対応する距離を特定し、特定した距離を上述した白領域及び黒領域と中間転写ベルトの裏面との間の距離として用いて、中間転写ベルトの幅方向のたわみを検出する。 (もっと読む)


【課題】レーザー走査装置により三次元測定対象物の形態を正しく測量し、調査する。
【解決手段】三次元測定対象物の形態調査方法であって、レーザー走査装置が調査範囲にレーザーを照射したとき、該レーザーの多数の反射点の各点を、三次元座標化された点として取得し、前記調査範囲の水平面上に多数のグリッドを派生させ、各グリッドの中にある点群の鉛直座標分布から標高値の最も低い低位点を抽出し、各グリッドで抽出された低位点を用いて調査範囲の地形モデルを作成する。 (もっと読む)


【課題】正確に調整可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第1の光を発する第1の発光部11、及び第2の光を発する第2の発光部12と、第1の光及び第2の光を受ける格子3と、平坦な基板が配置されるステージ14と、格子3を透過した第1の光を第1の入射角で基板表面に入射させ、格子3を透過した第2の光を第2の入射角で基板表面に入射させる投影光学系5と、第1の光による基板表面の格子3の第1の変形像、及び第2の光による基板表面の格子3の第2の変形像に基づき、基板表面の高さ方向の位置を算出する高さ算出部と、基板表面の高さ方向の位置が投影光学系5の焦点位置と一致するよう、ステージ14を移動させる移動装置15と、を備える、形状計測装置。 (もっと読む)


【課題】高感度の分光散乱計を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上の回折構造体からの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計または分光エリプソメータを使って構造体の下に位置する膜の膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体を測定して回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を得る。この署名をデータベース内の署名と適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 (もっと読む)


【課題】被測定対象物のレーザスペックル画像を得る装置において、被測定対象物の材質などに起因するスペックル画像の画質低下を可及的に抑制する。
【解決手段】被測定対象物(20)表面の観察領域(21)に向けてコヒーレント光を投光する投光部(10)と、被測定対象物表面の観察領域で拡散反射した上記コヒーレント光を受光する受光部(30)と、被測定対象物表面から受光部以外の方向に伝播するコヒーレント光を被測定対象物表面の観察領域に戻す反射部(41)と、受光部における受光状態に基づいて被測定対象物の状態を検出する検知部(50)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】低いコストで、広い高さ範囲を高精度に計測可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第1の光を発する第1の発光部11、及び第2の光を発する第2の発光部12と、第1の光及び第2の光を受ける格子3と、測定物4が配置されるステージ14と、格子3を透過した第1の光、及び格子3を透過した第2の光の両方が透過する投影光学系5であって、第1の光を第1の入射角で測定物4表面に入射させ、第2の光を第2の入射角で測定物4表面に入射させる投影光学系5と、第1の光による測定物4表面の格子3の第1の変形像、及び第2の光による測定物4表面の格子3の第2の変形像に基づき、測定物4表面の高さの分布を算出する高さ分布算出部と、を備える、形状計測装置。 (もっと読む)


【課題】屈折率が未知の誘電体薄膜の膜厚を正確に測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置は、第1の反射干渉光および第2の反射干渉光のそれぞれについて第1の波長分布および第2の波長分布を生成する波長分布生成部72と、第1の波長分布および第2の波長分布にもとづいて、それぞれ第1の入射角に対応する第1の光路差および第2の入射角に対応する第2の光路差を求める光路差算出部73と、入射角、膜厚および屈折率を変数とした関数として光路差を表した式を用いて、第1の入射角および第2の入射角ならびに光路差算出部73に算出された第1の光路差および第2の光路差を式に代入することにより、薄膜の膜厚および屈折率を求める膜厚屈折率算出部74と、を備える。 (もっと読む)


【課題】影の影響を除去し正確に位相シフト法による三次元データを高速に取得する。
【解決手段】直交する第一方向と第二方向とに撮像画素が行列状に並ぶエリアイメージセンサ111を有するカメラ101と、カメラ101と測定対象物200とを第一方向に相対的かつ連続的に移動させる移動手段102と、第一アングルで第一周期光を照射する第一照射手段131と、第二アングルで第二周期光を照射する第二照射手段132と、第一照射時間と第二照射時間とが重ならないように制御する照射制御手段104と、エリアイメージセンサ111の複数の第一ライン171を用い、第一照射手段131が照射する際の対象部分の像を取得し、複数の第二ライン172を用い、第二照射手段132が照射する際の像を取得する像取得手段105とを備える。 (もっと読む)


【解決手段】ボンディング装置を構成する物品認識装置は、基板のバンプに照明光を照射する第1照明と、該第1照明とは異なる角度から上記バンプに照明光を照射する第2照明と、上記バンプで反射した上記照明光の反射光を撮影する第1撮影手段とを備えている。上記第2照明の輝度を固定したまま、第1照明の輝度を変化させて(S3)、上記第1撮影手段が撮影した画像のうち、バンプが最も多く認識された画像を撮影した際における第1照明の輝度を記憶する(S7)。続いて第1照明の輝度を上記記憶した輝度で固定したまま、第2照明の輝度を変化させて(S9)、上記第1撮影手段が撮影した画像のうち、バンプが最も多く認識された画像を撮影した際における上記一方の照明の輝度を記憶する(S13)。
【効果】照明の設定値の設定を容易にかつ安定して行うことができる。 (もっと読む)


【課題】大塊搬送物を好適に検知することが可能な大塊搬送物検知システムを提供する。
【解決手段】大塊ずり検知システム1は、ずり2を搬送するベルト12を有するベルトコンベア10と、ベルト12上のずり2に光を照射する照明部30と、光が照射されたずりを時間を空けて複数回撮影する撮影部40と、ずりに一方から光が照射された時刻tに撮影された第一の画像とベルト12の走行によってずりに他方から光が照射された時刻t(>t)に撮影された第二の画像とに基づいて、大塊ずりを検知する大塊ずり検知部53bと、を備え、大塊ずり検知部53bは、ベルト12の速度をvとしたとき、v・(t−t)に基づいて第一の画像及び第二の画像の位置合わせを行って第一の画像及び第二の画像の論理積画像を生成し、論理積画像から大塊ずりを検知する。 (もっと読む)


【課題】測定対象物が明るさ(色)の異なる複数の領域を有している場合に、適切にその測定対象物を3次元測定することができる3次元測定装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術の一形態に係る3次元測定装置は、投影部と、撮像部と、制御部とを具備する。前記投影部は、照度を変化可能な照明を有し、前記照明からの光により測定対象物に縞を投影する。前記制御部は、前記撮像部により前記測定対象物の画像を撮像させ、撮像された前記測定対象物の画像から輝度値を取得し、取得された前記輝度値に基づいて、前記測定対象物に対して複数の検査ブロックを割り当て、割り当てられた前記検査ブロック毎に、前記照明の測定照度を決定し、決定された前記測定照度で、それぞれ、前記投影部により前記検査ブロックに対して縞を投影し、前記縞が投影された前記検査ブロックの縞画像を前記撮像部により撮像し、撮像された前記縞画像に基づいて前記測定対象物を3次元測定する。 (もっと読む)


【課題】ワークピース内の接合領域を監視する光学測定装置を提供する。
【解決手段】光学測定装置100は、接合対象であるワークピース16の方向に光扇22を投射して、前記接合対象であるワークピースの接合領域10内に、その接合領域内の接合継ぎ目14と交差する三角測量光ライン24を生成するのに適した第1光源20を備える少なくとも一つの光切断装置18と、前記接合対象であるワークピースの接合領域を均一に照光する第2光源28を備える照光装置26と、接合継ぎ目上に投影された三角測量光ラインの空間分解画像を生成する、第1測定ビーム経路32を有する第1光センサ30と、接合継ぎ目の空間分解画像を生成する、第2測定ビーム経路36を有する第2光センサ34とを含み、第2測定ビーム経路は、第1測定ビーム経路内に同軸結合され、第1光センサの読み取り速度は1kHzを上回り、第2光センサの読み取り速度は500Hz未満である。 (もっと読む)


【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも1つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも1つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。 (もっと読む)


【課題】高密度かつ高速に運動する物体の形状計測を可能にするための画像処理方法および装置を提供する。
【解決手段】投影装置により観測対象上に投影される、周期パターンからなる投影パターンを撮影装置により撮影し、投影パターンを含む入力画像から形状復元を行う画像処理方法において、投影装置より投影された投影パターンを撮影装置により撮影された入力画像から検出するステップと、検出された投影パターンの相対位相を検出するステップと、検出された投影パターンの絶対位相を、基準位置からの相対的な位相と、基準位置の絶対的な位相との和により表すと、複数の投影パターンの絶対位相により計算した奥行きが一致するという第1条件が検出された投影パターンの各画素について成立することに基づき基準位置の絶対的な位相を計算するステップとを備える。 (もっと読む)


【課題】ベルトの深さ方向の傷の検出精度を向上させるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】所定方向に形成された内側平坦部20及び外側平坦部22と、湾曲側部29a、29bとを輪郭とする略矩形断面を呈する薄型金属ベルト18の表面に存在する傷を検査するベルト検査装置30であって、内側平坦部20側から照明光を湾曲側部29a、29bに出力する赤色光源48、50と、外側平坦部22側から、前記湾曲側部によって反射された照明光を撮影するカラーカメラ40、42と、カラーカメラ40、42が照明光を撮影した画像に基づいて薄型金属ベルト18の表面状態を判定する表面状態判定部78とを備え、表面状態判定部78は、撮影された照明光の幅を計測し、該照明光の幅に基づいて、薄型金属ベルト18に、所定方向を深さ方向とする傷があるか否かを判定する。 (もっと読む)


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