【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】エンコーダ本体２ａに対する回転軸３の相対的な回転角を検出するロータリエンコーダ２と、エンコーダ本体２ａ及び回転軸３から切り離され、エンコーダ本体２ａの回転角を検出する非接触角度検出手段２０（レーザ干渉式検出手段）とを備える。これにより、ロータリエンコーダ２が検出した回転角を、非接触角度検出手段２０で検出した回転角に基づいて補正することができ、回転角を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】帯状体の走行を継続させながら省スペースでメンテナンスを行うことができるエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】帯状体１０の一方の面側に製造ラインに存在しない色を着色したカラー板２を配置し、帯状体１０を挟んでカラー板２と対向配置したカラーＣＣＤカメラ３によって、カラー板２と帯状体１０のエッジ部とを撮像する。そして、カラーＣＣＤカメラ３で撮像したカラー画像の各画素の色情報と、カラー板２の着色面と同一色の色情報との類似度をそれぞれ算出し、帯状体１０の幅方向で上記類似度が低下する位置を帯状体１０のエッジ位置として検出する。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを連続して搬送される開口を塞ぐシール部を有する被検査物に対して、特殊領域特定のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査性能に優れた検査装置を提供する。
【解決手段】容器を搬送する手段と、第一の光学手段と、第一の光学手段の容器搬送方向の下流に設けられた第二光学手段と、第一の特殊領域特定手段と、第一の特殊領域に基づいてシール部の液漏れ欠陥を検出する第一の検査手段と、前記エッジ座標と、第一の撮像手段と第二の撮像手段の取り付け角度の角度差と、第一の撮像手段と第二の撮像手段から得られた撮像画像における検査領域の中心座標から、第二の撮像手段によって得られた画像の第二の特殊領域を特定する第二の特殊領域特定手段と、第二の撮像手段によって撮像した画像の第二の特殊領域に基づいて容器の異物欠陥を検出する第二の検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】加工面と加工工具のように、対象物体面に目的物体の先端を精度良く位置決めする位置検出装置を提供する。
【解決手段】対象物体面上の所望の位置に光源光束を合焦させて、その合焦点に目的物体先端を近づけたときに生じる反射光の強度変化と反射光束の光線方向分布の変化を検出し、目的物体を対象物体面に関して高い分解能で接近させ位置決めする。 （もっと読む）

【課題】振動の測定および解析を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】高速度カメラ４の撮像部４ａは、ケーブル１０の各実測点に設けられたマーカーシール５が正反射する光を撮像する。高速度カメラ４の計算処理部４ｂは、撮像部４ａによる撮像と並行して、撮像部４ａが撮像した画像毎に各実測点の座標を求める。高速度カメラ４のメモリ４ｃは、各実測点の座標に係るデータを記憶する。コンピュータ６は、メモリ４ｃに記憶された各実測点の座標に係るデータを用いてケーブル１０の振動分析を行う。 （もっと読む）

【課題】投影面傾き計測装置、プロジェクタを小型化する。
【解決手段】投影面傾き計測装置１１は、投光ユニットと、入射角センサと、を備える。入射角センサは、水平方向、垂直方向にそれぞれ、２つずつ配置される。投光ユニットは、スクリーンＳ上の水平方向、垂直方向に、それぞれ、設定された２つの測距点に光を投光して投光スポットを形成する。入射角センサは、投光スポットからの反射光を受光して、その入射角を検出する。この入射角センサは、２分割受光素子からなり、２つの受光素子に入射した光の受光割合に基づいて、反射光の入射角を検出する。このような構成により、位相センサで必須のレンズが不要となり、レンズの焦点距離を確保する必要もないので、小型化も可能となる。 （もっと読む）

【課題】薄型化したチップをダイボンディングする工程において、ウエハシートからチップをピックアップする際に、ピックアップ対象のチップを正確に認識できる技術を提供する。
【解決手段】カメラＣＡＭ１は鏡筒ＫＴ１の一端と接続され、鏡筒ＫＴ１の他端には対物レンズが取り付けられ、この対物レンズを通してチップ１Ｃの主面の画像を撮影する構成とし、鏡筒ＫＴ１とチップ１Ｃとの間には、面発光照明ＳＳＬ１、拡散板ＫＢ１およびハーフミラーＴＫ１を内部に備え、カメラＣＡＭ１と同じ光軸でチップ１Ｃの主面に光を照射する同軸落射照明の機能を有する鏡筒ＫＴ２を配置する。 （もっと読む）

【課題】盗撮防止用の妨害画像としての非可視光を含む映像から該非可視光を除去して盗撮しようとする者を容易に検出する技術を提供する。
【解決手段】映像表示システム１は、映像を表示する映像表示部と、映像と共に、可視光以外の光を観察者に対して照射する非可視光発光部と、観察者が有する撮影装置から反射された非可視光を受けて、フレーム画像データを生成する非可視光受光部と、前記画像データを処理することにより、前記撮影装置の存在を検出する画像処理部１４３とを備える。画像処理部１４３は、背景画像を表すリファレンス画像データを参照し、前記フレーム画像データから前記背景画像の成分を除去する背景削除部１５０と、背景削除部１５０の処理後のフレーム画像データを、複数フレームにわたって平均化処理を行うことにより、フリッカを除去するフリッカ除去部１５１とを備える。 （もっと読む）

【課題】油田における坑井ボアの内部寸法を計測するための装置において、過酷な環境（高温または高圧）でも、使用に耐えられるものを提供する。
【解決手段】坑井ボアＷＢの内部寸法を計測するための検層システムＬＳは、坑井ボアＷＢの内部に配置されるようになされた検層工具１を備える。検層工具１はセントラライザー５を含み、全体として、検層工具１および下ノーズ５’に連結された複数の機械式アーム６、７等を含む。機械式アーム６、７等は、坑井ボア壁ＷＢＷと接触し、検層工具１が正しく位置決めされるように、半径方向に展開するとともに、坑井ボアＷＢの内部寸法を計測するために使用される光学式センサのカリパーアームを形成する。また、検層工具１は、光ファイバライン２に連結されており、適合した地表ユニット（例えば、車輛３および対応するシステム４）によって坑井ボアＷＢの内部へ展開される。 （もっと読む）

【課題】 従来、建築作業などにおいて分銅と糸や紐を利用した下げ振りにおいては、下げ振りの糸の位置を測定する際に、下げ振りの振幅が収まるまで待つ必要があり、手動で停止させるのも煩雑であった。またスケールを使用して下げ振りに触れないように目視で測定する為に、測定された数値は正確なものではなかった。
【解決手段】 光電的位置検出装置により、下げ振りの糸の位置を非接触で高速に測定する装置と、測定範囲内にある下げ振りの糸の位置を、下げ振りが振幅している場合であっても、位置を算出するソフトウェアにより求めた下げ振り糸の鉛直位置から、鉛直線からの測定箇所の変位を短時間に精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる高さ位置計測装置を提供する。
【解決手段】高さ位置計測装置は、発光源からの光を第１の偏波保持ファイバーと第２の偏波保持ファイバーに導く光分岐手段と、光照射光路に導かれた光を平行光に形成する第１のコリメーションレンズと、平行光に形成された光を偏光する１／４波長板と、対物レンズと、第１の反射光と第２の反射光とを平行光に形成する第２のコリメーションレンズと、第１の反射光と第２の反射光との光路長を調整する光路長調整手段と、第１の反射光と第２の反射光との干渉を回折する回折格子と、回折格子によって回折した第１の反射光と第２の反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーと、検出信号に基づいて分光干渉波形を求め分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】高い空間分解能を維持しつつ、歪み又は温度を高感度且つ高精度に計測することができる分布型光ファイバセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、光ファイバ１０と、レイリー散乱現象を利用して光ファイバ１０の歪み又は温度に基づくレイリー周波数シフト量Δνｒを計測するレイリー計測手段１１と、レイリー周波数シフト量Δνｒから光ファイバ１０の歪み又は温度を算出する算出手段とを備え、レイリー計測手段１１は、スペクトル拡散方式を用いた光パルスを生成してこの光パルスを光ファイバ１０内に入射させる光パルス出射手段１３と、光ファイバ１０から射出される光に対してスペクトル拡散方式に対応したパルス圧縮を行う整合フィルタ５５１と、整合フィルタ５５１で圧縮された光に基づいてレイリー散乱現象に係る光を検出する検出手段５６０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体ウェハにおける表面形状の測定に適した精度で、そして、より短時間でその表面形状を測定し得る表面形状測定装置および半導体ウェハ検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面形状測定装置Ｓａは、測定対象である半導体ウェハＳＷの表面に所定の波面を持つ測定光を照射するための光源部１と、半導体ウェハＳＷの表面で反射した測定光の反射光における波面の形状を測定する波面センサ４と、波面センサ４で測定した反射光における波面の形状に基づいて半導体ウェハＳＷにおける表面の形状を求める演算制御部７ａとを備える。そして、半導体ウェハ検査装置は、このような表面形状測定装置Ｓａを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】計測対象孔の傾斜状態を計測する場合に、計測対象孔の加工作業の効率低下を防止すると共に、計測対象孔の細径化にも対応することが可能な孔傾斜計測治具を提供する。
【解決手段】孔傾斜計測治具の構成として、平面に形成された計測対象孔に挿入自在な棒状部材と、該棒状部材の中心軸線に直交するように当該棒状部材に設けられた直交部材と、該直交部材において前記中心軸線から離間した位置に設けられた光反射部材とを具備するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】皮革に摩擦力がかからず、皮革に形成された溝の深さを高精度に測定することができる皮革残膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】スリットＳＷが形成されている皮革Ｗ１の部位における残膜の厚さを測定する皮革残膜厚測定装置１において、皮革Ｗ１のスリット形成部ＳＷ１の裏面に線状の先端部１１を接触させて、皮革Ｗ１を支持する基台１０と、基台１０で支持されている皮革Ｗ１の両端部側の部位が基台１０から離れて延出し、基台１０で支持されている皮革Ｗ１のスリットＳＷが開口するように、皮革Ｗ１の両端部を引っ張る皮革引っ張り手段２０と、皮革引っ張り手段２０で引っ張られている皮革Ｗ１のスリット形成部ＳＷ１における残膜の厚さを測定する残膜厚測定手段２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー変位計を用い、予めの測定情報の設定を行うことなく、簡便且つ精度高く測定物の表面状態を検査できるようにすることにある。
【解決手段】 測定物１の表面状態を検査するレーザー変位計による計測方法であって、レーザー変位計３をリニアエンコーダー５を実装したＺ方向への移動ステージ４に装着し、測長範囲ｄのｄ／２の位置レベルの電圧出力が常に０Ｖとなるようにリニアエンコーダー５を介して移動ステージ４をＺ方向に移動させることにより、測定物１の表面とレーザー変位計３との距離Ｄを一定に維持することを特徴とするレーザー変位計による計測方法とその制御回路である。 （もっと読む）

【課題】
簡易に、かつ、精度良く被検体の姿勢を検出する。
【解決手段】
頭部に装着された個別光発生部１２１Ａ_j（ｊ＝１，２，３）のそれぞれが、波長λ_jのビーム光を射出している間、処理部は、第１光検出部１３０Ａ及び第２光検出部１４０Ａの両方の検出部からのビーム光の到達検出結果を得るため、透過設定指令及び不透過設定指令を第１光検出部１３０Ａへ送る。第１及び第２光検出部１３０Ａ，１４０Ａは、個別光発生部１２１Ａ_jのそれぞれから射出された光の到達を検出すると、検出結果を処理部へ送る。そして、処理部は、第１及び第２光検出部１３０Ａ，１４０Ａのそれぞれにおいて、いずれの個別光検出部が波長λ_jの光を検出したかに基づき、頭部の位置及び姿勢を特定する。 （もっと読む）

【課題】小径の管体にも使用可能で、内径寸法が軸方向で変化する管体でも簡単に内径を測定できるレーザ方式の内径測定装置を提供することである。
【解決手段】先端側が管体２０に挿入されるアーム１の基端側に、周方向の３箇所でレーザ光を管体２０の軸方向に管体内へ向けて発射する発光部２ａと、管体内から戻る反射光を受光する受光部２ｂを備えたレーザ変位センサ２を取り付け、アーム１の先端側に、各レーザ変位センサ２と同じ周方向で、各発光部２ａから発射されたレーザ光を、外方の管体２０の内径面に向けて直角に方向転換し、外方に向けられたレーザ光の管体２０の内径面での反射光の一部をアーム１の基端側へ向けて方向転換するプリズム３を取り付け、各レーザ変位センサ２の検出値から管体２０の内径面でのレーザ光の反射位置を求め、求めた３点の反射位置から管体２０の内径を演算する演算手段を設けたものとした。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の外形の検出精度を悪化させることなく、載置台から検査対象物にかかる応力を軽減できる外形検出装置および外形検出方法を提供する。
【解決手段】太陽電池セル７を載置面３ａの外周１７よりも内側に載置するステージ２ａと、載置面３ａ上に設置された金属箔テープ６と、太陽電池セル７および金属箔テープ６に照明光８を照射する同軸落射照明装置１１と、照明光８の反射光９を受光するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２の出力信号から、太陽電池セルの外形を検出する画像処理装置１３と、を備え、載置面３ａ上に設置された金属箔テープ６が、太陽電池セル７の照明光８が照射される面２３と金属箔テープ６の照明光８が照射される面２６とが、照明光８が出射する側から見て光学的に連続するように設置する。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価に回転軸体の軸線方向、径方向の軸振れ量を非接触にて測定できる軸振れ計測装置を提供する。
【解決手段】 幅変化部を有し、被計測対象である回転軸体またはこれとは同心の大径円筒状体の外周面にその軸線方向と前記一方向とが平行になるように配置されて当該回転軸体とともに回転運動する平行ターゲット体と、前記幅変化部に向けた光線照射源としての発光部と、回転中の前記幅変化部からの反射光またはこれを透過する透過光を受光して受光時間の変化を検出し、この検出結果に基づいて前記回転軸体の軸線方向における軸振れ量を計測する受光・演算表示部とを含む軸振れ計測装置。さらに、幅変化部を有し、前記回転軸体の外周面からその径方向と前記一方向とが平行になるように当該外周面に外側に向けて立設された直立ターゲット体を備えることができる。 （もっと読む）