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Fターム[2F065JJ01]の内容

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Fターム[2F065JJ01]に分類される特許

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【課題】1本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのFBGセンサを計測可能なFBGセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】FBGセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ4と、広帯域波長光源9と、この光源からの光のうち、光ファイバ4に入射する光の時間を制御する光源側光変調器10と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ4の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器12と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ4からの信号を分離する波長移動量算出器14と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器15と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部16とを有する。 (もっと読む)


【課題】光ファイバの素線に付されたマークの検出をインラインで実行可能とする光ファイバのマーク検出装置を提供する。
【解決手段】光ファイバの素線(21)に付与されたマーク(M)を検出する装置であって、レーザ光(LS1)を出光する出光部(11a)及びレーザ光(LS2)を受光する受光部(11b)を有し、受光部(11b)で受光したレーザ光(LS2)の強度に応じた信号を出力する検出部(11)と、レーザ光を反射する底面(12b)を有する溝部(12a)が設けられた素線案内部材(12)と、を備える。検出部(11)は、素線(21)を素線案内部材(12)の溝部(12a)内における底面(12b)に接触させた状態で、素線(21)を間にして素線案内部材(12)と対向すると共に出光部(11b)からのレーザ光(LS2)が少なくとも素線(21)に照射されるよう配置されている。 (もっと読む)


【課題】複数の検出用導光部材に光を好適に分配し得る光学式センサを提供する。
【解決手段】光学式センサは、光源10と、光源10に光学的に結合された光ファイバー20と、光ファイバー束40と、光ファイバー20から光ファイバー束40に光を分配する光分配部30と、光ファイバー束40によって導光された光を分離して検出する光分離検出器50を有している。光ファイバー束40は、複数の光ファイバー41A,41B,41C,41D,41E,41Fを有している。光ファイバー41A〜41Fは、それぞれ、物理化学状態に応じて光学特性が変化する特性検出部42A,42B,42C,42D,42E,42Fを有している。 (もっと読む)


【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するAD変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 (もっと読む)


【課題】回折格子を用いて計測を行う際に、相対位置を予め定められた相対位置からの絶対位置として容易に計測する。
【解決手段】エンコーダ10Xは、第1部材6に設けられ、格子パターン12Xa及び基準パターン13XAが形成された回折格子12Xと、計測光MX1,MX2を供給するレーザ光源16と、第2部材7に設けられ、計測光MX1,MX2を格子パターン面12Xbにθy方向(X方向)に対称な角度で傾斜させて入射させる傾斜ミラー32X,34Xと、計測光MX1,MX2の回折格子12Xによる回折光DX2,EX2を受光する光電センサ40XA,40XBと、を有する。 (もっと読む)


【課題】解体対象を固定している固定部材の位置の検出精度を高めること。
【解決手段】解体対象を撮像した撮像画像から、前記解体対象を固定している固定部材の画像として予め決められている固定部材画像を検出する固定部材画像検出部と、前記固定部材画像検出部により検出された前記固定部材画像の位置を示す位置情報を算出する位置情報取得部と、前記解体対象を固定している複数の前記固定部材の予め決められた位置関係を示す配置パターンと前記位置情報とに基づき、前記固定部材画像検出部によって検出された前記固定部材画像が前記配置パターンに含まれる前記複数の固定部材に対応するか否かを判定する配置パターン対応確認部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】コストの増加を抑えながら参照面と被検面との間の光路長差の変化に起因する計測誤差を低減し、参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置を提供する。
【解決手段】周波数を走査可能なn(n=2以上の整数)個の光源と、前記n個の光源からのそれぞれの光を分割し、参照面と被検面とに入射させる分割素子と、前記参照面で反射された光と、前記被検面で反射された光との干渉により形成されるn個の干渉光を検出して干渉信号を出力する検出部と、前記距離を求める処理部と、前記処理部は、前記n個の光源のうち1つの第1光源からの光の周波数を第1方向に第1走査速度で走査するように制御し、且つ、前記n個の光源のうち他の1つの第2光源からの光の周波数を第1方向とは逆の第2方向に前記第1走査速度とは異なる第2走査速度で走査するように制御し、前記n個の光源を制御している間の前記干渉信号に基づいて、前記距離を求める。 (もっと読む)


【課題】 被検面が傾いていても測定精度を悪化させることのない多波長干渉計を提供する。
【解決手段】 波長が互いに異なる少なくとも2つの光束を参照光と被検光とに分割し、分割された参照光の周波数と被検光の周波数とを異ならせ、被検光と参照光とを干渉させる干渉計において、干渉光を複数の光束に分割する分割部を有し、分割された複数の光束を各波長について検出する。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で広い計測レンジと高い計測精度とを実現した計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、第1光源、第2光源、第1検出器、第2検出器及び算出部を備える。第1光源は第1波長と第2波長との間で波長が走査された走査区間を含む第1光を生成する。第2光源は第3波長の第2光を生成する。第1検出器は第1光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第1干渉縞を検出する。第2検出器は第2光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第2干渉縞を検出する。第3波長は第1波長及び第2波長の合成波長より短い。算出部は第1時刻において第2干渉縞の位相のデータから第2干渉縞の次数が算出できなくなった場合に、第1時刻より後の走査区間における第1干渉縞の位相の変化に基づいて第1時刻以降における第2干渉縞の次数を算出し、該算出された第2干渉縞の次数を用いて第1時刻以降における被検面の形状を算出する。 (もっと読む)


【課題】低コストで広い温度範囲に対応させることを実現したFBGひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ひずみ量計測システム10は、計測用FBG21が設けられた第1の光ファイバ11と基準波長反射用FBG22が設けられた第2の光ファイバ12とを備えており、第1の光ファイバ11と第2の光ファイバ12とは、被計測部Waに固定された計測用FBG21の反射光を、固定用治具部材Wbに固定された基準波長反射用FBG22に入射可能となるように接続されている。計測用FBG21と基準波長反射用FBG22とは同様の格子間隔に加工されており、被計測部Waと固定用治具部材Wbとは、同じ材料から形成されている。また、光源13は広帯域の光を計測用FBG21に入射し、計測機15は、基準波長反射用FBG22の反射光の総光量に基づいて被計測部Waのひずみ量を計測する。 (もっと読む)


【課題】高精度な位置検出に基づく高精度な移動および位置決めが可能な精密送り装置および精密移動装置を提供すること。
【解決手段】ベース2に支持されたテーブル31を所定の移動方向へ駆動する精密送り装置9は、テーブル31に接続されたロッド41と、ロッド41を移動方向に進退駆動する駆動機構4と、ベース2に対するロッド41の変位を検出するレーザ干渉計5とを有し、駆動機構4は、ロッド41への駆動力が移動方向の軸線に対して対称に作用するリニアモータ44を有し、レーザ干渉計5のレーザ光路56はロッド41を貫通して移動方向に延びており、ロッド41の移動軸線と駆動機構4の推力軸線とレーザ干渉計5の検出軸線とが一致している。 (もっと読む)


【課題】測定対象物の表面の平面度を精度良く求めることができる平面度測定方法を提供する。
【解決手段】平面度測定方法は、レーザ変位計を含むレーザ測定装置が、レーザ光を走査しながら、複数の位置における前記測定対象物の表面と測定基準面とする液面との間の、前記レーザ光の照射方向における距離の情報を測定して取り込む。この後、前記レーザ変位計が測定した複数の位置における前記距離の情報と、前記レーザ変位計が走査した前記複数の位置の位置情報をコンピュータが取り込む。前記コンピュータは、測定した前記位置それぞれにおける前記位置情報と前記距離の情報を座標として表した測定データを、座標空間上の点で表したとき、前記点すべてが2つの平行平面の間に挟まれ、かつ前記2つの平行平面の間の距離が最小となる目標平行平面を、前記2つの平行平面の傾きを変えながら探索することにより、前記平面度を算出する。 (もっと読む)


【課題】サーチ動作又はボンディング前のボンディング点の高さ測定を行うことなしに、高速でボンディングが可能なボンディング装置を提供すること。
【解決手段】上下方向に揺動可能なボンディングアームに搭載されて、被ボンディング部品の表面に位置するボンディング点の合焦点の検出を行う共焦点光学系と、前記ボンディングアームと一体に可動してボンディングを行うボンディングツールと、前記ボンディングツールの位置を検出する位置検出手段と、を有し、ボンディングツールのボンディング点への下降中に、共焦点光学系による合焦点検出により位置検出手段で検出したボンディングツールの位置から、前もって設定したボンディング点までの所定の距離(合焦点基準下降量)をボンディングツールが下降して、ボンディング点上で停止するように制御する。 (もっと読む)


【課題】高精度に調整可能な露光装置の調整方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の露光装置の調整方法は、鏡面部に光散乱部位を有する鏡面部材を有する露光装置の上記鏡面部に対し、レーザー光を照射する工程と、上記鏡面部の上記光散乱部位からの上記レーザー光の散乱光に基づき、上記光散乱部位までの距離を演算する工程と、上記演算工程に基づき上記鏡面部の形状を判定する工程と、上記判定結果に基づき、上記鏡面部の形状を調整する工程と、を有する。かかる方法によれば、鏡面部であっても光散乱により鏡面部の形状認識が可能となり、これに基づき、鏡面部の表面形状を調整することで、露光光の平行度の補正を効果的に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 板状体の正面を塞がずに、かつ光源と受光素子とを備えている投受光センサを用いて、板状体を確実に検出する。
【構成】 検出装置は板状体が所定位置に存在するか否かを検出する。検出装置は、板状体の一側面へ向けて斜めにスポット状の検出光を投光する光源と反射光を受光する受光素子とを備えている投受光センサと、投受光センサから見て板状体よりも遠方にあり、かつ板状体が存在しない場合、検出光を拡散反射する拡散反射部と、投受光センサへ入射する反射光の所定の強度以下であることから、板状体を検出する検出部、とを備えている。板状体の側面が透明の場合、板状体の側面へ入射した検出光は板状体の内部で複数回反射し投受光センサとは異なる方向へ出射し、板状体の側面が鏡面状の反射面の場合、板状体の側面へ検出光は斜めに入射して投受光センサとは異なる方向へ正反射する。 (もっと読む)


【課題】FBGファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、FBGファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、FBGセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、FBGセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で参照面と被検面との間の絶対距離を高精度かつ高速に計測可能な計測装置を提供すること
【解決手段】波長走査干渉計は、複数の光源IL1〜IL3と、複数の光束を合成するビームスプリッタ103bと、ビームスプリッタ103bからの光を参照光束と被検光束に分割し、干渉計ユニット300によって検出された干渉信号に基づいて参照面と被検面との間の絶対距離を決定する処理部107と、を有する。干渉計ユニットは、複数の種類の光束に対応する複数の種類の干渉縞のそれぞれを、合成された干渉信号S100として検出する単一の光検出部106を有し、処理部は、合成された干渉信号に対してFFTを行って複数の種類の光束のそれぞれについて絶対距離L〜Lを取得し、取得した複数の絶対距離を演算して一つの絶対距離Lを出力する。 (もっと読む)


【課題】複数のZヘッドを切り換えながら、移動体の高さと傾斜を継続的に計測することにより、移動体を高精度で駆動する。
【解決手段】制御装置は、テーブルWTBの±X端部に設置された反射面39Y1,39Y2上に位置する2つのZヘッドZsR,ZsLを用いて、テーブルWTBの高さと傾斜を計測する。テーブルWTBのXY位置に従って、使用するZヘッドをZsR,ZsLからZsR’,ZsL(あるいはZsR,ZsL’)に切り換える。制御装置は、切り換えの際、座標つなぎ法を適用して、新たに使用するZヘッドZsR’(あるいはZsL’)の初期値を設定する。これにより、テーブルのXY位置に応じて使用するZヘッドが逐次切り換えられるにもかかわらず、切り換えの前後でテーブルの高さと傾斜の計測結果が保存され、テーブルを高精度で駆動することが可能になる。 (もっと読む)


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