【課題】ノイズ光が入射した場合に誤った計測が行われるのを防止して、計測の精度を確保する。
【解決手段】検出用の光を投光する投光部１０１と、投光された光に対する反射光を受光する受光部１０２と、変位を計測する計測処理部として機能するＣＰＵ１０とを具備するセンサ１のＣＰＵ１０に、受光量の変化を表すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段の機能を付与する。ＣＰＵ１０は、判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別した場合には、計測処理を行って結果を出力するが、判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱すると判別した場合には、計測結果が出力されないように制御する。 （もっと読む）

【課題】基板表面の高さレベルを決定する際のより多くの融通性及び／又は効率的レベルセンサ技術を提供する。
【解決手段】基板Ｗ表面の高さレベルを決定するように構成されたレベルセンサであって、基板Ｗ上の反射後に測定ビームを受光するように配置された検出ユニットを備え、検出ユニットは、各検出素子が測定エリア８１、８２、８３、８４の測定サブエリア８ａ上に反射した測定ビームの一部を受光するように配置された検出素子のアレイを備え、それぞれの検出素子によって受光された測定ビームの部分に基づいて測定信号を提供するように構成され、処理ユニットは、測定サブエリア８ａでの選択された解像度に応じて、測定サブエリア８ａの高さレベルを計算し、又は複数の測定サブエリア８ａの組合せの高さレベルを計算するように構成された、レベルセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】保持部材の第１の方向のたわみを検出する。
【解決手段】第１のイメージセンサは、中間転写ベルトの裏面に形成されたラダーパターンチャートの濃度を測定する。記憶部は、第１のイメージセンサと中間転写ベルトの裏面との間の距離と、この第１のイメージセンサの測定に係るラダーパターンチャートのコントラストとの対応関係を示す第１の関数を記憶する。制御部は、第１のイメージセンサにより測定されたラダーパターンチャートの濃度を用いて、ラダーパターンチャートにおいて隣り合う白領域と黒領域とのコントラストを算出する。制御部は、記憶部に記憶された第１の関数を用いて、算出されたコントラストに対応する距離を特定し、特定した距離を上述した白領域及び黒領域と中間転写ベルトの裏面との間の距離として用いて、中間転写ベルトの幅方向のたわみを検出する。 （もっと読む）

【課題】搬送される鋼管が跳ねた場合や楕円または外径の変動が鋼管に生じている場合も正確に測定できるとともに、工数を増大させることなく測定間隔を短くして定量的に測定できる外面曲がりの測定方法を提供する。
【解決手段】複数のローラ３１によって鋼管１１をその周方向に回転させつつ長手方向に搬送し、ローラ３１のうちで隣り合うローラ３１の間に鋼管外面の上端および下端の位置を検出する検出器２１を等間隔に３台配置し、検出器２１で検出した上端および下端の位置から鋼管外面の中心位置を３台の検出器についてそれぞれ求め、下記（１）式により振れｗを算出すること特徴とする鋼管の外面曲がり測定方法である。ここで、３台の検出器２１のうちで上流側（Ａ位置）での中心位置をＣＡ、中央（Ｂ位置）での中心位置をＣＢ、下流側（Ｃ位置）での中心位置をＣＣとする。
ｗ＝ＣＢ−（ＣＡ＋ＣＣ）／２ ・・・（１） （もっと読む）

【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面の反射の状態によって、変位センサの測定方式を切り換えたり、変位センサを交換したりすることを不要にする。
【解決手段】拡散反射板２１２は、レーザ光源２３１から出射され、ワーク１０２の加工面で正反射されたプローブ光が入射する位置に配置されている。リニアセンサ２３３は、拡散反射板２１２により拡散反射されたプローブ光がさらにワーク１０２の加工面で反射された第１の反射光、レーザ光源２３１から出射されたプローブ光がワーク１０２の加工面で拡散反射された第２の反射光を受光する。信号処理部２３４は、第１の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面を介して拡散反射板２１２に入射するまでの第１の距離を検出するか、または、第２の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面に入射するまでの第２の距離を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】毛髪表面の断面形状（表面輪郭形状）、毛髪表面の段差を高精度に測定できる形状測定装置の実現。
【解決手段】測定すべき毛髪に向けて走査ビームを投射する対物レンズ１３を含み、毛髪からの反射光を受光して毛髪表面の共焦点画像を撮像する共焦撮像装置と、複数の毛髪を、その長手軸線方向であるＸ軸方向に支持すると共にＸ軸と直交するＹ軸方向そって所定の間隔で整列支持する毛髪支持手段１５と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能で、前記毛髪支持手段を支持するステージ１４とその駆動手段と、対物レンズとステージとの間の相対距離を変化させる手段１６と、共焦点撮像装置から出力される画像信号に基づき、毛髪表面の断面画像情報及び／又は毛髪表面に存在する段差の大きさを示す段差情報を出力する信号処理装置１０とを有する。ステージは、測定される毛髪の本数及び測定点の座標情報に基づき、ジグザグ状に設定された移動経路に沿って移動する。 （もっと読む）

【課題】計測対象の回転体の回転角度を、計測センサが非接触で、計算コストを抑え且つ高精度で計測する。
【解決手段】回転体１の回転角度と一意的に対応するマーカ模様の境界線を有する螺旋状マーカ２を回転体１に設置し、ラインセンサ４で螺旋状マーカ２を撮影し、解析装置５によって、予め求めておいたマーカ模様の境界線位置から回転体１の回転角度を計算する式を基に、ラインセンサ４で撮影した画像から回転体１の回転角度を計測する。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１００の表面の欠陥を検査する表面検査装置３００と、この表面検査装置３００に対するウェハ１００の搬送路に設けたウェハステージ２１０と、このウェハステージ２１０上のウェハ１００のエッジ部を検査するエッジ検査部５３０と、このエッジ検査部５３０を当該エッジ検査部５３０の光軸に沿って移動させる移動装置６５０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】帯状体の走行を継続させながら省スペースでメンテナンスを行うことができるエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】帯状体１０の一方の面側に製造ラインに存在しない色を着色したカラー板２を配置し、帯状体１０を挟んでカラー板２と対向配置したカラーＣＣＤカメラ３によって、カラー板２と帯状体１０のエッジ部とを撮像する。そして、カラーＣＣＤカメラ３で撮像したカラー画像の各画素の色情報と、カラー板２の着色面と同一色の色情報との類似度をそれぞれ算出し、帯状体１０の幅方向で上記類似度が低下する位置を帯状体１０のエッジ位置として検出する。 （もっと読む）

【課題】従来の標高計算は局所領域のミスマッチングによる誤差が生じ、精度の高い標高情報が得られず、多大な処理時間がかかるという問題点がある。
【解決手段】カラーフィルタ基板上の局所領域の標高をステレオ方式で算出し欠陥判定をする欠陥検査方法において、ステレオ画像の一方の撮像画像である基本画像から局所領域を検出する工程、ステレオ画像の他方の撮像画像であって局所領域を含む参照画像を取得する工程、局所領域を含むマッチング領域をステレオ画像から選定する工程、マッチング領域から基準マークとなる部位を選定する工程、局所領域を鮮明化する工程、鮮明化された局所領域の中心座標を求め、基準マークからの距離を算出する工程、基本画像と参照画像における局所領域間の視差を求める工程、局所領域の標高を算出する工程、とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】オンライン測定において安定した測定ができる干渉式膜厚計を提供する。
【解決手段】投受光プローブ５から照射される光の焦点位置であり、かつ投受光プローブ５に入射する光の焦点位置である共通焦点位置を所定範囲内で走査させる焦点位置走査部７が設けられている。演算部１３は、投受光プローブ５が受光した光の分光スペクトルデータを取得する分光データ取得部１５と、分光スペクトルデータに基づいてパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出部１７と、パワースペクトルのデータに基づいて測定対象膜２３の膜厚を算出する膜厚算出部１９と、分光スペクトルデータもしくはパワースペクトルのデータ又はそれらの両方にしきい値を設け、しきい値以上のデータを抽出するデータ抽出部２１と、を備えている。膜厚算出部１９はデータ抽出部２１が抽出したデータに対応する膜厚データを出力する。 （もっと読む）

【課題】帯状体の走行を継続させながら省スペースでメンテナンスを行うことができるエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】帯状体１０の一方の面側に、直線偏光を投射する投光器２と偏光フィルタを介して光を受光する受光器４とを配置し、帯状体１０の他方の面側に、投光器２から投射される直線偏光が入射され、入射された直線偏光の偏光方向を偏光フィルタの透過軸に一致する方向に変化させて反射する偏光反射板３を配置する。そして、受光器４の各受光素子で得られた受光量が帯状体１０の幅方向でする位置を検出し、その位置を帯状体１０のエッジ位置として検出する。 （もっと読む）

【課題】可及的にワークの移動が自由であり、後工程の作業の妨げともなりにくい簡易な構成のワーク位置の検出装置を提供する。
【解決手段】検出光(40)を投光する投光部(10)と、検出光を受光する受光部(20)と、投光部と受光部を所定の位置関係に保つ支持手段(30)と、を備え、受光部が一次元又は二次元に配置された複数の受光素子を含み、上記支持手段が、投光部と受光部との間に設けられる検出基準面に対して検出光(40)が斜めになるように投光部と受光部の位置を保持する。 （もっと読む）